2025无尘室节约能源技术手册

2025一、前 二、无尘室简 三、无尘室验证测 四、无尘室的能源消 五、无尘室节能措 六、无尘室节能范 七、结 室使用楼板面积的61%。此处的半导体制造包含了晶圆代工、TFT-LCD、通讯及深此如何在产品制程良率的要求下又能降低无尘室的耗能便成为一个需要正视的问ISMI节能措施，则每年约可节电48亿千瓦，足够17.7万个家庭使用。所以，如何降低1FederalStandard209EISO14644、JISB9920VDI2083Gost-R50766FederalStandard209E准ISO14644。FederalStandard209E(Fed-Std-209E)采用的是英制单位。美国虽然已于2001所以这个标准仍然普遍适用在产业界。表1所列出的是Fed-Std-209E的洁净度定Class1、Class10、Class100、Class1,000、Class10,000Class100,000Class100100Class10001000Class9。其中，ISOClass10.110ISOClass2100Fed-Std-209E102，ISOClass5其实相当于Fed-Std-209E的Class100。我们可以从表1和表2中找出Standard209E和ISO14644互相对应的地方。基本上，ISO14644将FederalStandard209E所定义的都包含了，而且范围还更广，是比较完整的定义。2ISO14644微米，灰尘的如果有99.99%的去除效率的话，如此才能称为高效率过滤器。是从哪里来的？如图323无尘室的污染源(1)传统型(Conventionalflowtype)─又称乱流型(turbulentflowtype)，气流型态Class100,000~Class1,000层流型(Laminarflowtype)─气流呈现单一方向运动，藉由气流将室内微粒带走。适用于Class100或更高等级的洁净度要求，因此通常较耗能。混合型(Mixedflowtype)─将乱流型与层流型混合使用。在需要较高洁净度的局范。目前常见的有IEST-RP-CC006.2、NEBB无尘室测试规范第二版及ISO14698FederalStandard209EIEST-RP-CC006.23IEST-RP-CC006.26.16.141As-built2At-rest3OperationalOPT表选择性适用，而N/A代表不适用。与IESTNEBB Level1─主要测试，无尘室最低限度应做的测试。包含风量与均匀度、风速、表Level2─选择性测试，特定状况下需执行的测试。例如平行度测试只适用于Level3─与洁净度控制无关，属环境控制测试。例如照度与均匀度、噪音、ISO146984是无尘室的能源消约占了全厂总耗能的一半。所以，如何降低无尘室的空调耗能将是节能的最主要关4无尘室耗能比重示意图(1)22~2440~45%。过冰水主机来控制，而冰水主机的耗能大约占了全厂耗能的22%。换言之，无尘室空调耗能的45%在冰水机上。另外，洁净度的控制则是透过新鲜无尘空气的引入，过滤器除去污染物。总计风扇和气流的耗能大约占了全厂耗能的20%，亦即无尘室空调耗能的40%是用在风机和滤网上。因此，想要降低无尘室的空调耗能，应该从采用高效率冰水主机及节能锅炉─高效率冰水机比一般冰水机可节省约20%的耗能，节能锅炉亦比一般锅炉节能10%左右。306050 Mini-environment之运用─仅在需要高洁净制程的机台以微环境的概念塑造出 Clean-bench与Air-curtain之运用─与微环境概念相似。不同之处在于mini-environmentclean-benchair-curtain 泄漏、减少燃烧器的沉积物及做好保温工作皆有助于使锅炉在高效率状态下运转，达成锅炉节能之目的。某厂调降其FFU(Fan-FilterUnit)的风机转速15%，使其由1300rpm降至1100rpm。结果使得风机耗电量由354kW降为214kW，节电约40%。某厂藉由调低MAU的风机转速将无尘室的正压值由45Pa降为35Pa，风机马7