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两探针法检测主讲教师:目录CONTENTS01.查询国家检测标准02.检测原理及方案03.检测组织实施04.检测结果分析查询国家检测标准PART01一、查询国家检测标准检测原理及方案PART02二、检测原理及方案(一)电阻率测量的基本方法电阻率是半导体单晶重要电学参数之一,它反映了补偿后的杂质浓度,与半导体中的载流子浓度有直接关系。例如,N型材料的室温电阻率可以表示如下:式中:ND是施主杂质浓度。NA是受主杂质浓度。μn是电子迁移率。q是电子电荷量。
二、检测原理及方案(二)两探针法基本原理金属材料测电阻方法。
式中S是样品的截面积。L是样品的长度。二、检测原理及方案(二)两探针法基本原理由于金属与半导体相接触的地方有很大的接触电阻。u表=uc1+uc2+ub=uc+ub因为uc>>ub所以u表>>ub二、检测原理及方案(二)两探针法基本原理只能用体电阻上的压降Ub才能计算出半导体样品的电阻率,如果用U表来计算样品的电阻率,结果就要偏高很多。所以不能直接测量半导体的电阻率,在测量中必须抵销或避免接触电阻。检测组织实施PART03三、检测组织实施半导体两端引线只作为接通电流之用,另用一对探针压在样品表面上测量电压降。两根探针测所在的两个垂直于电流方向的横截面之间的电压降。这时两根探针与半导体样品之间的接触电阻仍然存在,但由于应用了电位差计,避免了接触电阻引起的问题。三、检测组织实施两探针法测量图及等效电路三、检测组织实施于是可以得到等效电路,由于外电路的分流作用,样品中的电流在流过探针A所在的截面后,分别为I1和I2,I1继续通过样品,I2分流到外电路中,并且:I=I1+I2
三、检测组织实施当电位差计处于平衡的时候,流经电位差计被测电路接线端的电流为零。即:I2=0所以:V=ub
样品表面要经过喷砂或研磨处理。通电流的两个端面接触应为欧姆接触,为此可镀镍、镀铜或用超声焊接。样品电流不宜太大,应保证样品中电场强度不大于1V/cm,测低阻单晶时,更应注意用尽量小的电流,避免电流的热效应。检测结果分析PART04四、检测结果分析撰写检测报告书小结SUMMARY01金属材料电阻检测的基本原理;02两探针改进测试的基本原理。思考
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