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文档简介

一、清洗前的准备工作1.安全防护

-穿戴耐高温手套、防护眼镜和防尘口罩，避免接触溶剂（丙酮、酒精）或高温部件。

-关闭设备电源、冷却水及气源，悬挂警示牌防止误启动。2.设备状态确认

-检查真空系统密封性（如阀门、法兰密封圈），若泄漏需先更换老化密封圈。

-排空炉内残留气体，确保压力恢复常压。3.炉膛检查与预处理

-清除松散污染物：用吸尘器或软毛刷清理金属粉尘、残渣，避免堵塞真空管道。

-识别污染类型：油污（扩散泵返油）需重点清洁反射板夹层；金属粉末（锡、铜）需喷淋清洗。

二、清洗方法选择与应用热氮气循环法（推荐清除冷区油污）-适用场景：扩散泵返油导致的炉壁、反射板油污。-操作步骤：①钎焊后关闭炉壁冷却水，保留炉内余热（400℃→200℃）；②充入氮气至设定压力，自然冷却使冷区升温至200℃以上，蒸发油污；③启动旋片泵抽真空至10Pa以下，排出油蒸汽。-优势：无需拆卸设备，高效清除夹层油污。2.手工擦洗法-适用场景：局部油污或氧化物，如加热元件表面、炉门密封槽。-溶剂选择：丙酮、酒精或异丙醇（禁用易燃溶剂）。-工具：无纺布、细长刷或棉签清洁死角（如多层反射板夹缝）。3喷淋/浸渍法-适用场景：金属粉末（锡、铅）或烧结残留物。-操作：高压喷淋清洁液（含悬浮剂）冲击污染物，或注入清洁液搅拌混合后排出。4.吸尘辅助法-作为补充手段，清除沉积在炉底的松散粉尘。方法对比与选择建议策略建议：日常维护以吸尘+手工擦拭为主；深度清洗（每300小时）优先用热氮气法；严重污染需拆卸部件喷淋清洗。

三、关键注意事项1.温度与冷却控制

-热氮气清洗时需关闭冷却水，确保冷区升温至200℃以上。

-铝钎焊后需快速降温至400℃以减少硅扩散，再转入慢冷阶段。2.抽真空处理

-蒸发后的油污需通过粗真空（≤10Pa）彻底排出，防止二次吸附。

-扩散泵每年拆卸清洗，使用硅基油（如SW1-ZKY）减少返油。3.污染预防措施

-工件预处理：入炉前需脱脂、超声波清洗或干打磨，避免带入碳氢化合物、锌/镉等高蒸气压元素。

-材料限制：禁用含锌、镉、铅的钎料；铸件需预先除气。

-夹具管理：同步清洁夹具并选用耐高温材料（如石墨），避免青铜、铝件高温熔化污染炉膛。4.冷却系统维护

-水压保持0.15~0.3MPa，定期清理蛇形管（用稀醋酸防矿物质沉积）。

-每月检测水质pH值，防止管路堵塞导致扩散泵过热。

四、安全与维护规范1.定期检漏

-每月测压升率（常温关闭阀门，10分钟与60分钟后压差≤0.5Pa·m³/s）。

-用氦质谱仪或丙酮喷射法定位漏点，重点检查馈电插座密封圈。2.停电应急

-备发电机或氮气冷却系统，防止超温损坏密封圈。

-真空系统需联锁自动阀门，停电时关闭抽气管路防逆流。3.加热元件维护

-钼加热带损坏可局部更换（钼片夹接+螺栓固定），避免飞溅金属粘附。

-石墨加热元件需防脆裂，定期检查变形。

总结-日常保养：吸尘清洁+密封性检查，每月测压升率。-深度清洗：优先热氮气循环

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