厂务系统运维管理

半导体厂务系统运维管理一、半导体厂务运维概要半导体芯片生产运行当中存在设备老化、备用状况不佳、人员技能或责任心不可靠、管理制度缺失及维护与管理水平不高存在运行稳定性差，系统受控状况不良急需改善提高二、动力运行现状分析外网波动、设备故障、技改施工管理缺失、系统设备备用缺失等三、风险分析按系统、主设备、附属设备运行及和维护状况进行A/B/C风险分级其中：A为高风险，须马上排除；B为一般风险须尽快解决；C为轻度风险可安排时机解决。单击此处添加标题1、主动安全类别:预防性维护(定期定期维护、定期巡检)、运行参数偏差分析与识别进行计划性停机检修等,其中,科学的进行预防性维护为主动2、被动安全类别:系统冗余N+1/+2运行或Backup(后备)运行,同时具备一定的flexibility灵活性和弹性。当系统或设备运行故障或突然中断时,备用设备或系统自动快速投切,以保障系统运行供给不中3、人员培训:严格进行操作规程培训,特殊设备(如,配电、高压气体、压力容器、化学品等)操作严格操作流程、严格监护制度、倒闸切换操作票4、规范设计:有毒有害气体及气瓶柜、化学品(氧化剂/还原剂)等物理隔离,严格按规范设计,从物理空间、间距、排风、防泄漏装置、池等设施5、智能化及自动化系统:涉及电器倒闸操作、有毒气体瓶更换等阀门倒换操作,机械连锁、电器连锁、CCTV监控、自动报警系统等齐全,缺一不6、数据采集及分析系统:FMCS覆盖厂务各个系统、设备。实施数据进行科学分析,如有异常趋势及时进行报7、强调以人为本,但运维安全不可完全依赖于厂务运行安全与预防性维护（范围））；5、设备维护保养管理系统的建立：设备购置/调试/安装/备件及维修保养系统，SI计划在智能化，）A、设备前期管理；B、设备资产管理；C、设备从设备资产价值属性、设备物理属性、设备能效预防维护保养四步骤：厂务运行安全与预防性维护（设备））；2、稳定期（维修保养升级改造）；）；）；LCC成本/EM能效/LCC成本/EM能效/SM安全三方面权衡和管理（措施有效性）。维护保养策略评估/性能管理与测量。运维异常排查涵盖人、机、料、法、环1、人：运维计划：含项目、执行人、责任人、培训、计划时间、完成时间、确认人、费用、审批等内容。2、机：依据厂务供给标准（技术标准）及维护标准（设备手册保养规程或要求）或系统及设备异常参数提示或报警的信息组织进行检修。3、料：备品备件、材料与辅材准备及质量、数量把控，包括备品备件采购、管理、数字化表格化管理控制（耗材、备件、易损件、油脂等）。4、法：制度管人，流程管事的原则。一是完善管理制度，包括绩效考核与评价等；二是完善做事流程，包括作业指导书等。5、环：动力系统及设备运行环境检查，如，温度，灰尘控制，物理空间十否符合安全要求，化学品存放、固体废物存放是否满足法律法规等。预防维护保养预防计划编制四步骤1、排查/措施：点检（运行数据采集、看、听、测发现异常及历史波动分析等）。2、记录/历史记录：查看设备资料及历史运行记录、异常频次、出现原因等异常情况整理出来。3、分析原因：对记录及数据进行分析，预判系统及设备运行现状及其在生命周期中的节点位置，预估及策划维修保养计划。4、依据上述的分析结果制定计划及实施措施（方法）。按上述预防性维护保养计划编制实施方案、费用计划、实施人员、实施时间、审批及执行。厂务系统年度检修计划编制按此方案（每年下半年制定编制来年的春节检修计划）。厂务运行稳态的突破（异常产生）厂务动力系统维护常规检查技术与手段厂务系统构成无尘室相关系统主要功能：1、无尘室（洁净室提供洁净的生产环境。2、厂务空调系统：提供洁净室稳定的空调环境。3、超纯水系统：供应WET湿法清洗工艺所需要的超纯水。4、气体供应系统：提供高品质大宗气体及安全的特殊气体。5、化学品供应系统：供应大宗高品质的化学品。6、电力系统：供应稳定的全厂电源。半导体厂务系统的需求与设计特点1、半导体厂工艺设备投资高、生产投入速度要快。以6寸线为例，投入2-4亿，建厂工期12≤工期≤24月。2、停产损失巨大。以12寸成熟工艺芯片为例，日产出≥1千万元。3、生产工艺变化大。1-2年升级一个世代。4、工艺线宽越来越小，质量要求越来越高。（0.1mm-90nm-85nm-65nm-45nm-28nm-14nm-10nm）。5、市场需求变化大，运营成本压力大，每年成本需降低10%或以上。6、特殊气体多，危险性高，超过30种特殊气体。且气体为：可燃性/腐蚀性/毒性。7、用水量大，水回收越来越重要。6寸片用水0.8吨/片以上。8、无尘室等级放宽（Class1-Class10-Class100-Class1000微环境受重视。9、产线及厂务自动化要求越来越高(人是不可靠的）。9、环保要求越来越高，同时，政府碳排放控制要求。厂务保障功能区及边界（功能及区域全图）P半导体厂务供给运维策略（Non-Shutdown）指标控制：1、供给标准（偏差范围）2、流程。2、维护。3、检测。4、偏差计算（曲线与趋势）5、调整与纠正。6、PDCA循环。系统运行参数要点：1、输出指标。2、关键运行参数。3、系统设备运行支持系统。4、偏差识别。5、纠正。组参数。组参数。厂务系统指标（SI为例）技术经济指标表序号厂务系统供给质量指标单位数量备注1洁净室正压新风量调整2光刻区温度(℃)22±2湿度（%）42±5%防静电3刻蚀区/清洗区/薄膜/区炉管区防静电4工艺真空（PV）mbar8UPS供电/冗余运行5清扫真空（HV）mbar300一用一备6氮气(GN2）≧99.9995%供气压力≧7kg/cm2UPS供电/冗余运行7高纯氮气(PN2）ppb≦5供气压力≧6kg/cm2UPS供电/冗余运行8高纯氧气(PO2）ppb≦5供气压力≧6kg/cm2UPS供电/冗余运行9高纯氧气(PH2）ppb≦5供气压力≧4kg/cm2UPS供电/冗余运行无油压缩空气（CDA）kg/cm27.5-8.5/露点温度≤-75°C，≤0.0026g/m3冗余运行工艺冷却循环水（PCW）进（IN）、出水(OUT温度25-20C°/供水压力≧4kg/cm2不间断/UPS供电超纯水（DIW）MΩ.cm其余指标参见标准工艺机台供电不间断（电压跌落时间）ms≦20UPS冗余供电洁净室基本概念洁净室参数控制（黄光）：）：厂务运行维护指标的制定（洁净室）洁净室运维指标：1、洁净室：温度/湿度/洁净度。洁净室运维指标：1、洁净室：温度/湿度/洁净度。2、洁净室1：高效风量/风速。3、洁净室2：颗粒测量。4、洁净室3、高效阻力测量。5、洁净室4、洁净室正压测量。6、洁净室5、物流通道管控。7、洁净室6、人员管控数量。8、洁净室7、卫生清洁制度。9、洁净室8、气流分析调整。10、洁净室9、清洗台排风。1、洁净度控制（FFU调速/新风正压/FFU阻力控制）。2、温湿度控制1（干盘管温度调整/MAU加热控制）。3、温湿度控制2（新风露点温度控制/MAU加热控制）.4、温湿度控制3（MAU加湿器加湿量控制）。5、温湿度控制4（净化区域热回风调整及控制）。7、净化间FFU/高效过滤器阻力控制与更换。8、MAU低温盘管清洗：定期清洗，阻力检查与控制。9、机器露点温度≤MAU低温盘管进水温度+3C°。10、冷冻水阀及PID调整维护。11、MAU风机皮带调整或更换。厂务运行维护指标的制定（冷冻系统）冷冻水系统运维指标（冷冻机）：1、冷冻机组负荷率控制（并列运行策略）2、冷冻水/冷却水泵变频控制。3、冷冻水/冷却水泵轴承润滑。4、冷冻水水质处理（缓蚀/阻垢）。5、冷却水水质处理（缓蚀/阻垢）。冷冻系统能效指标（半导体行业）：1RT(冷冻水）/0.75-1.3KWh（综合）。厂务运行维护指标的制定（冷却系统）冷冻水系统运维指标（冷冻机）：1、冷冻机冷凝器通炮（清洗）。2、冷却塔盘处理（泥沙清除）。3、冷却水电导率控制（排污）。4、冷却水自动加药（缓蚀/阻垢）。5、冷却塔风扇轴承润滑。6、冷却塔风扇变频控制（温度/节能）。7、冷却水泵变频控制（冷却塔出水温度）冷）：冷却水水质规范：工业循环冷却水处理设计规范GB50050-95厂务冷却水水质规范：工业循环冷却水处理设计规范GB50050-95结垢：钙离子、镁离子、二氧化硅等盐垢物质；腐蚀：硫酸盐、氯离子等盐类物质；蓝氏饱和指数（LangelierSaturationIndex,LSILSI=Ph-（9.3+A+B-C-D）PH:水中饱和时Ph值;C:钙离子浓度（mg/LasCaCO3）；）；二级回收水可用于冷却塔及废气塔补充水：空调系统冷却塔补充水设定：1、液位（补充）：2、电导率（排水）。厂务运维护指标的制定(冷却塔维护）冷冻水系统运维指标（冷却塔）：1、冷却塔水蒸发量=0.0014*循环量*温度差(°C）经验。2、冷却塔补水量=蒸发量+排水量+飞散损失。3、冷却水电导率控制（排污）。4、冷却水浓缩倍数≤3-6倍（浓缩倍数大易结垢）。维护重点是：控制浓缩倍数（排污）、塔盘清洁（清除泥沙添加阻垢剂、缓蚀剂、杀菌剂。设置监控：电导率监控及自动排水。化学加药法：有机磷酸盐/聚磷酸盐；次氯酸钠等（自动加药+监控系统十分重要）。分析水质（定期）：分析结垢及金属腐蚀指标。每月或每季度须做检测（铜/铁）并记录。厂务运行维护指标的制定（冷冻水水力平衡）冷冻水系统静态及动态水力平衡调整：1、冷冻机冷冻水控制阀维护（灵活性）。2、冷冻机冷冻水泵变频控制（PLC）。3、冷冻水平衡阀维护（压力检测）。4、冷冻水二次变频泵控制（设定范围）。5、季节及天气温湿度预测性机组并列调整。6、MAU冷冻水阀与手动旁路阀（开启设定）。7、一次、二次流量匹配调整。8、一次、二次侧水力互扰消除。9、冷冻各个水排气阀维护。10、冷冻水回水压力控制与调整。（冷冻水/中温水系统水力平衡十分重要）厂务运行维护指标的制定（工艺冷却循环水PCW）工艺冷却循环水PCW运行指标：1、机台工艺冷却水OUT/IN温度：25-20C°/供水压力≧4.2kg/cm2。2、工艺冷却水板换出水（OUT）压力：≧6.5kg/cm2变频恒压。3、工艺冷却循环水板换阻力（OUT/INΔ≦0.095kg/4、工艺冷却循环水泵N+1冗余运行。5、水泵供电采用双电源自动投切或UPS供电（高可靠）。6、工艺冷却循环水缓冲水箱补充水水质要求：RO水。7、水箱水位变动报警设定：防止系统泄露或水位过低。9、冷却水循环泵电机冷却风扇检查或更换。10、系统压力传感器、温度传感器、流量传感器整定或校准（定期）。11、系统管道、阀门及水箱为SUS304不锈钢材质。12、PCW中断对芯片生产影响巨大，高可靠的系统十分重要。厂务运行维护指标的制定（无油空压系统CDA）无油空压系统（CDA）运行指标：1、CDA空压机出口压力：空压机出口压力≧8.8kg/cm2。2、CDA管线输出压力：≧8kg/cm2(末端过滤器等级0.001μ)。3、无油双螺杆空压机中冷压力≤2.8kg/cm2。4、空压机其余运行指标参照产品手册规定。4、CDA压缩空气露点温度≤-70C°。5、CDA空压机组运行模式N+1冗余运行/或N2Backup（自动启能）6、CDA空压机冷却水系统维护标准参照水处理标准。7、CDA空压机冷却塔宜采用半开启式冷却塔且冗余运行。8、CDA空压机齿轮箱油更换周期14000小时（RUN）。9、CDA空压机电机轴承润滑脂2000-3000小时（RUN）。10、CDA空压机排水系统须每天检查，如有异常及时清理。11、CDA空压机若停机，高压转子内须通干燥氮气或压缩空气。13、环境温度控制（有利于节能空压机吸气温度≤40°C以内。12、CDA系统在工作状况下有高压缩气体13、环境温度控制（有利于节能空压机吸气温度≤40°C以内。厂务运行维护指标的制定（无油空压系统CDA系统）CDA系统维护（安全设备）：1、压缩空气储罐许可证办理。2、系统安全阀整定（一年）。3、系统压力表整定（半年）。4、压力管道整定（三年）。5、后备空压机自启动测试。6、压缩空气储罐排水。CDA系统空压机配置：1、空压机螺杆型3-6台；2、工厂压缩空气用量超过60M3/min时，宜采用10KV离心空压机组（系统控制技术：多机连锁、变频调速、远程监控）。3、能效指标：0.112-0.129度/m3.厂务运行维护指标的制定（离心无油空压机组）台1℃%如按紧急停机按钮停机（由于突发事件的停车）厂务运行维护指标的制定（离心无油空压机组）保换热效率）。厂务运行维护指标的制定（酸雾洗涤塔）酸雾洗涤塔系统（ACID）运维指标：所有排风系统当中酸雾塔系统占总故障的72%以1、双洗涤塔内部压力损失≤50mmHg。1、双洗涤塔内部压力损失≤50mmHg。上2、塔内各个PVC材质喷嘴雾化良好（目视）。3、酸雾塔自动投药系统运行良好塔内循环槽碱液PH值控制正常。4、酸雾塔碱液循环泵（1+1）良好，泵运行正常（压力12m、噪音）4、碱液PH值控制范围9-10。5、碱液电导率≤20μs，避免盐度过高滋生细菌或结晶堵住喷头。6、碱液PH值≥8≤10为好（PH探头耐F+）。7、自动加药系统PH剂及仪表须每周校准一次。8、酸雾塔碱液池自动排液系统须定期检查（每天盐度控制可靠。9、酸雾塔风机轴承润滑按照手册要求加注润滑脂。10、酸雾塔风机皮带须定期检查，调整松紧并定期更换。11、防止酸雾塔碱液盐度过高滋生细菌堵塞喷头须作为重点。厂务运行维护指标的制定（酸雾洗涤塔故障与维护重点）酸雾洗涤塔排风系统故障分布图：半导体各排风系统故障概率图：异常影响设备故障管路。2、循环水量。3、风机及皮带。风机。阀门及控制5、补水。水泵。酸雾排风系统维护重点（前四）：1、ph控制；2、循环水；3、风机；4、排水。关注：排水电导度(µS/cm)；PH值；及PH值控制。厂务运行维护指标的制定（厂务排风系统技改注意事项）工艺排风系统（改造）：1、选择有经验的设计人员设计。2、提出设计要求（选用相关规范）。3、防火性设计（酸、碱、有机）。4、风机与处理系统确定及估算。5、提出保养要求。6、监控系统完善（设置传感器）。7、酸碱排风管排液系统（酸性）。8、必要时风管内喷淋系统设计。9、不同排风系统管材选择（一次、二次等）。10、改造完成后资料归档。厂务运行维护指标的制定SI（VOCS沸石转轮+RTO）工艺排风系统（有机废气处理系统参数）：1、沸石转轮处理风量：30000m3/h。2、有机废气入口指标：≤500mg/m33、处理后出口指标：≤20mg/m34、祛除率≥95%。转速3.3转/h。5、过滤器：过滤棉+过滤袋+中效。8、气动阀压力范围：0.4～0.6MPa。9、混流箱处理风量：5000m³/h。10、VOCs成分/恶臭成分：二甲苯、非甲烷总烃、酒精、丙酮、苯酚、乙酸丁酯、醚、异丙醇厂务运行维护指标的制定SI（VOCS沸石转轮+RTO运维）运维重点：1、沸石转轮速度3.3转/小时。2、脱附温度210°C左右（控制浓缩倍数，增加脱风量）。3、有机废气入口温度≤40°C；相对湿度≤80%比较理想（入口温湿度影响脱附率）。4、脱附热量要足够，避免日久形成稠密物质粘附转轮使系统失效。交换器出口温度90-120°C。6、VOCS祛除效率设置（安装）火焰离子化浓度传感器进行连续监测。7、若有机废气浓度≥700ppmv（THCSasCH4浓缩倍数13倍左右，RTO850°C焚烧，则最节能（节省燃料）。厂务运行维护指标的制定SI（VOCS沸石转轮+RTO）参数设备设定参考值1参考值2参考值3SI有机废气量（NCMH）50000400004000040000VOCS废气浓度（PPM）250-280转轮直径、厚度（mm）3950395039504转轮风面比（吸附、脱附、冷却10:01:0110:01:0110:01:01转轮转速（RPH）废气进入焚化预热温度(°C）焚化温度(°C）732732732脱附温度(°C）脱附流量（NCMH）浓缩比VOCS平均处理效率（%）厂务运行维护指标的制定SI（VOCS沸石转轮+RTO运维）维护重点：1、有机废气当中高沸点物质避免进入系统。2、高沸点VOCS有机物质容易吸附沸石转轮上，脱附不易，影响脱附效能。3、避免沸石转轮高温运行（保护装置正常防止发生异常高温永久性损坏沸石转轮。4、入口过滤器应定期检查与清理。5、如有必要设置高沸点VOCS物质处理（冷凝）。6、冷凝、活性炭过滤、除雾装置维护。7、定期清洗沸石转轮（清洁水/纯水最好）。8、提高脱附热容量贯穿整个沸石吸附区，减少蓄积及占据位置影响效率。9、建议每年清洗沸石转轮一次。10、高沸点及颗粒气体进行预处理，可延长寿命。转轮清洗程序工厂水资源使用与废水排放控制（水平衡图）半导体芯片厂水平衡图：个案查看实际环评高科技光电厂水平衡图：个案查看实际环评厂务运行维护指标的制定（废水处理系统维护重点）维护重点：1、在线仪表：在线pH计、F离子计、COD仪、超声波流量计等。要求熟练按作业指导书进行探头维护、更换、标定（整定）及试剂的配制。2、废水处理系统仪器仪表、设备（水泵、计量泵、气动泵、风机、耗材及配件进行管理，做到按维护要求进行更换。）。3、各个调节池及反应池防腐定期检查维修。4、用于探头及控制仪表整定的仪器仪表要定期送检或按作业指导书/整定规范进行标定，确保现场控制仪表正常运行。5、安全方面：化学品使用、有限空间、防跌落等。厂务运行维护指标的制定（SI废水处理系统工艺原理）污染物祛除：1、氟化物：反应池（加药）、沉淀池1、中间沉淀池、好氧池、清水池。2、氨氮：好氧池（若无法达标则在排口投加次氯酸钠氧化祛除，但费用昂贵因此，生化池（好氧池）维护十分重要。3、磷酸盐：沉淀池1、中间沉淀池、好氧池（生化池）、清水池。厂务运行维护指标的制定（SI废水处理主要功能池控制参数表）厂务运行维护指标的制定（废水处理系统维护重点）废水处理系统维护重点：1、中和池/PH调节池控制：8-8.5.2、生化池硝化控制（硝化脱氮）：曝气、温度、生物营养（硝化菌）、生物驯化时间（1-3月）。3、活性污泥的作用（各池反应负荷及冲击，水流速度检测控制）。4、氟化钙晶核在结晶过程当中的作用(回流）。5、ISO9000及ISO14001文件掌握。6、环保类法律法规掌握。7、环评/项目可研/废水设计资料/验收资料/环保监管资料（合同、联单、检测报告）8、环保联网在线仪器仪表维护（废水/废气）行业处理技术掌握。行业处理技术掌握。厂务运行维护指标的制定（高低压供配电系统维护规划）电气系统维护重点：半导体厂供电：1、半导体厂电气危害与风险分析；1、10KV双电源供电（或多路电源）；2、电气系统巡检排查及外观检查；2、变压器采用冗余设计；3、电气系统红外线仪与紫外线诊断（手段3、低压断路器与保护失效，另一测供电；4、电站安全管理（制度管人/流程管事4、洁净室供电有配电房两侧配电屏母线分电气系统安全理念的建立：开，由组合母线引入；1、半导体厂供电设计阶段规避人在操作时的5、紧急电源选用耐高温电力电缆（设计可预见风险（安全设计的重要性6、洁净室湿法清洗区域下方电缆线须保护；2、设备选项及安装阶段风险评价（设备须具7、防雷接地/设备接地/防静电系统独立；备失效也安全或故障冗余设计8、UPS电源须可以远程监控（FMCS室3、电气系统红外线仪与紫外线诊断（手段9、UPS电源间设计二氧化碳灭火系统；4、安全涵盖设计、安装、使用、操作等各个10、独立电池间/温度控制及高灵敏度烟感；方面；11、UPS通风/控温/接地。厂务运行维护指标的制定（供配电系统）半导体晶圆厂供电原理图：供电系统维护（思路）：1、设备运行中（带电）状态评估要点：确定运行指标、绩效指标、系统运行现状及设备原理评价设备的运行状态及存在的风险；2、配电站及设备运行环境状态评价。包括，维修历史、试验记录和设备的重要程度；3、了解及评价设备结构、绝缘状况、电流热现象、保护系统、机电附件、安全等；4、低压配电系统重点是电容补偿系统，包括，静电电容、接触器触点、防浪涌器件、避雷器等。5、配电系统大电流母线排（包括组合母线是否存在发热、震动、电缆绝缘等；厂务运行维护指标的制定（半导体厂供配电系统）供电电压类别：半导体厂双电源供电系统图（例）：1、10KV双电源/380V双电源；1、10KV双电源/380V双电源；2、3Φ3W480V；3Φ4W380V-220V；3Φ4W208V-120V；3、3Φ3W480V：扩散炉功率用电（市电）；4、3Φ4W380V-220V；厂务用电（市电）；5、3Φ4W208V-120V：UPS不间断输出，工艺机台及计算机电6、10KV双电源自动投切；7、低压变电站380V端双电源投切，废气处理/消防/UPS增加后厂务运行维护指标的制定（高压系统）高压保护开关与测量元件：1、10KV断路器（VCB/GCB/OCB）超过额定电流时能自动切断（分断）电路；2、隔离开关检查；3、负载负荷开关（或启停开关）检查；4、高压保险检查；5、灭弧装置检查（目测）；6、高压静电电容检查；7、渗漏油、操作指示灯（信号）、零件是否松动、裂纹等检查；9、CT（CurrentTransformer）电流互感器检查；10、高压绝缘电阻检测（管理制度强制约束执行11、高压绝缘电阻测试（技术措施及指标制定）；12、干式变压器观察高压线圈颜色、变压器运行声音及共振声音是否异常。高压配电房及安全：1、10KV高压配电房防鼠措施非常重要；2、装置对地电压超过150V应加接地线；厂务运行维护指标的制定（低压供配电系统）低压开关设备维护保养：1、SI低压配电站开关柜为MNS1、SI低压配电站开关柜为MNS柜（或仿制柜）2、配电柜应定期对开关柜内一次、二次部分元件进行检查和检测；3、外观检查及功能检查与测试（继电保护及二次线路部分）；4、螺栓及铜排紧固力矩检查（扭矩扳手工作状态下温度检测，必要时主要元件单体检查。5、系统绝缘实验、接地检查，断路器除尘及触点检查与保养，断路器润滑及测试（框架式样）谐波测试及红外检查（温度）；6、必要时，重要断路器（如，出现过异常），在更远备件后，退出运行，返厂维修及全面检测确保故障框架式智能断路器完好处于备用状态。7、低压配电系统其静电电容补偿柜是故障高发厂务运行维护指标的制定（安全电压）行动/管理行动/管理1、0-0.5mA无感知；0.5-5mA可摆脱；2、5-30mA不可摆脱；30mA-50mA心脏跳动不规则；3、50mA-N百mA以上心脏失速电流损伤及停止跳动；安全电压：1、干燥48V（欧洲标准50V（日本标准防护/控制2、潮湿24V（欧洲标准25V（日本标准3、水中2..4V（欧洲标准2.5V（日本标准防护/控制漏电保护器的安装：1、设备；危害认识/危害认识/识别3、电动工具电源；4、饮水机等。厂务运行维护指标的制定（UPS供电系统））：应急处置方案、巡检记录等；各类安全标识应保持正确、清晰、完好。）；厂务运行维护指标的制定（超纯水系统）u超纯水处理系统各个点指标数据：超纯水处理技术（膜技术应用）超纯水处理技术（膜技术应用）超滤膜UF：超滤膜UF：2、祛除固体颗粒；维护：2、大量水回流，增加膜内流速；3、膜孔径：0.01-0.1微米；4、运转：产水20-60mins;反洗3-5mins;例子：UF28系列Module:超纯水处理技术（膜技术应用RO）超纯水处理技术（膜的维护）结垢：1、生物性淤堵（Fouling）;2、无机盐结垢（Scaling）；3、COD、T-P、T-N。腐蚀：1、氯离子及氟离子浓缩；PH控制：RO单元的生物淤堵（Bio-fouling）产生的影响远大于无机结垢，RO浓缩设计需要考虑TOC的问题。RO浓缩水腐蚀性增大。按风险分级制定改善计划及投入计划（PDCA重点）计划编制、落实措施、实施时间安排实施（重点）实施安排风险风析及应对措施完成后进行评价与总结厂务全时保障项目内容（案例）1.按照厂务系统要求成立全时保障运行项目，提升动力系统稳定运行（防止动力波动）。2.对厂务各个系统进行梳理及安全评价，识别出风险点编制计划给予改善（防止突发事件）。3.提前识别并完善技改项目的计划（防止时间不足产生所谓“稀缺造成管窥效应”）。4.所有项目实施必须严抓现场控制，重点体现在施工期间的技术措施、安全措施完善及抓落实。5.管理流程强化、施工期间管理方人员须坚守岗位履行职责（防止突发事件）。6.技改涉及关停厂务动力须有完善控制流程，必须实行计划---申请审批—施工图复合—现场复合—批准流程—执行（涵盖计划、停/启动力范围及时间、联系人、协调人、技术措施、安全措施等），防止事故发生（技改沟通产生的问题与纠纷是厂务管理中的高概率事件）。厂务现状分析(以SI为例）按系统设计及运行/维护现状对标同行业标准并结合本企业的标准进行梳理排查如,历史上是否存在突发事件？突发事件发生后是否给生产运营带来损失？解决办法是什么？是否涵盖系统（硬/软件）、运行、流程、制度等规避或减灾措施？1、动力系统备用（Backup）不足,无法完全保障动力供应不中断。2、冗余设备（Redundance-N+1/N+2）无法自启动。3、远程设备自启动不全(FMCS)。4、低效率设备无检测手段，评价缺乏科学依据。5、运行现状未结合回顾性及前瞻性（对标行业）分析。6、厂务技改施工现场管控不到位，缺乏相关的配套制度与培训措施。7、FAB部分动力管线由于常年技改已经造成图实不符，需要进行图纸修改及完善。7、CAB、FAB附属动力系统由于制造部增产迅速，总量需求增加，总容量不足，威胁安全运行。8、部分CAB厂务动力设备老化，能效不足（COP低）。厂务关键质量控制因子一览表编制1、厂务供给标准表。2、行业厂务供给质量对照表（工艺差别与要求）。3、产品质量涉及主要污染物种类一览表（如，水/气中微量杂质指标、TOC、洁净室环境有机物、化学品、特气等杂质粒子指标、危害对照，控制标准及措施）。4、行业标准、规范（国际、国外、国内标准整理与识别）。5、环境、职业安全、化学品及