晶圆加工合同范本

晶圆加工合同范本甲方（委托方）：名称：法定代表人：地址：联系方式：乙方（受托方）：名称：法定代表人：地址：联系方式：鉴于甲方有晶圆加工需求，乙方具备相应的加工能力和资质，双方经友好协商，依据《中华人民共和国民法典》及相关法律法规的规定，就甲方委托乙方进行晶圆加工事宜达成如下协议：一、标的物或服务具体描述（一）加工晶圆的规格1.晶圆尺寸：[具体尺寸，如直径为[X]毫米]2.晶圆厚度：[具体厚度，如[X]微米]3.晶圆材质：[详细说明材质，如硅（纯度为[X]%）]（二）加工工艺要求1.光刻工艺：线宽达到[X]纳米，套刻精度控制在[X]纳米以内。2.蚀刻工艺：蚀刻速率均匀性控制在±[X]%以内，蚀刻图形的垂直度偏差不超过[X]度。3.掺杂工艺：掺杂浓度控制在[具体浓度范围，如[X]×10^[X]原子/cm³至[X]×10^[X]原子/cm³]，掺杂均匀性偏差不超过±[X]%。（三）加工数量甲方委托乙方加工的晶圆数量为[X]片。（四）交付时间及地点1.交付时间：乙方应在本合同签订之日起[X]个工作日内完成加工，并交付全部晶圆产品。2.交付地点：[详细地址，如甲方指定的位于[具体地点]的仓库]二、权利义务（一）甲方权利义务1.权利有权对乙方的加工过程进行监督和检查，提出合理的改进意见和建议。有权在乙方交付产品前对产品进行抽检，如发现产品不符合本合同约定，有权要求乙方及时整改或重新加工。2.义务按照本合同约定向乙方支付加工费用。向乙方提供加工所需的技术资料、图纸等相关文件，并确保文件的准确性和完整性。协助乙方解决加工过程中遇到的与甲方相关的问题，如因甲方提供的资料有误或其他甲方原因导致加工延误或质量问题，甲方应承担相应责任。（二）乙方权利义务1.权利有权要求甲方按照本合同约定支付加工费用。在加工过程中，如因甲方提供的资料不完整、不准确或其他甲方原因导致加工无法正常进行，乙方有权要求甲方采取补救措施或承担相应损失。2.义务按照本合同约定的规格、工艺要求及数量进行晶圆加工，确保加工质量符合国家相关标准和本合同约定。负责加工所需设备、原材料及工具的采购和使用，并确保其符合加工要求和质量标准。在加工过程中，应定期向甲方通报加工进度，如遇重大问题或可能影响交付时间的情况，应及时通知甲方。对加工过程中知悉的甲方商业秘密、技术秘密等予以保密，未经甲方书面同意，不得向任何第三方披露或使用。在产品交付时，应向甲方提供产品质量检验报告、合格证等相关文件。三、加工费用及支付方式（一）加工费用本合同约定的加工费用总计为人民币[X]元（大写：[大写金额]）。（二）支付方式1.甲方应在本合同签订之日起[X]个工作日内，向乙方支付加工费用的[X]%作为预付款，即人民币[X]元（大写：[大写金额]）。2.乙方完成加工并经甲方验收合格后，甲方应在验收合格之日起[X]个工作日内，向乙方支付剩余加工费用，即人民币[X]元（大写：[大写金额]）。（三）发票开具乙方应在收到甲方每笔款项后的[X]个工作日内，向甲方开具合法有效的增值税专用发票。四、质量标准及验收（一）质量标准乙方加工的晶圆应符合以下质量标准：1.符合国家相关行业标准，如《半导体集成电路用硅单晶抛光片》等。2.满足本合同约定的规格、工艺要求，具体指标如下：晶圆表面粗糙度不超过[X]纳米。晶圆的电学性能参数，如电阻率、载流子浓度等应在本合同约定的范围内。晶圆的外观应无明显瑕疵、划痕、裂纹等缺陷。（二）验收1.乙方加工完成后，应提前通知甲方进行验收。甲方应在接到通知后的[X]个工作日内组织验收。2.验收方式：甲方可采用抽检或全检的方式进行验收。抽检数量按照本合同约定的比例进行，如抽检产品全部合格，则视为整批产品合格；如抽检产品中有不合格产品，甲方有权对整批产品进行全检，全检费用由乙方承担。如全检后仍有不合格产品，乙方应负责免费返工或更换，直至产品全部合格。3.验收标准：按照本合同约定的质量标准进行验收。如产品经检验不符合质量标准，甲方有权要求乙方采取补救措施或承担相应损失，包括但不限于返工费用、因产品不合格给甲方造成的直接经济损失等。五、违约责任（一）甲方违约责任1.若甲方未按照本合同约定按时支付加工费用，每逾期一日，应按照未支付金额的[X]%向乙方支付违约金。逾期超过[X]日的，乙方有权暂停加工，并要求甲方支付已完成加工部分的费用及违约金，同时甲方应承担乙方因此遭受的全部损失（包括但不限于停工损失、预期利益损失等）。2.若甲方提供的技术资料、图纸等相关文件有误或不完整，导致乙方加工延误或质量问题，甲方应承担乙方因此增加的加工费用、返工费用及其他直接损失，并相应延长交付时间。（二）乙方违约责任1.若乙方未按照本合同约定的规格、工艺要求及数量进行加工，或加工质量不符合本合同约定的质量标准，乙方应负责免费返工或更换，直至产品全部合格。如因乙方原因导致产品返工或更换后仍不符合质量标准，或逾期交付产品，乙方应按照加工费用的[X]%向甲方支付违约金。如乙方的违约行为给甲方造成其他损失的，乙方应承担全部赔偿责任。2.若乙方违反本合同约定的保密义务，应向甲方支付违约金人民币[X]元（大写：[大写金额]）。如乙方的违约行为给甲方造成损失的，乙方应承担全部赔偿责任。同时，甲方有权要求乙方立即停止违约行为，并采取措施消除违约行为造成的影响。3.若乙方擅自将本合同的加工任务转包给第三方，甲方有权解除本合同，并要求乙方返还已支付的预付款，同时乙方应按照加工费用的[X]%向甲方支付违约金。如乙方的转包行为给甲方造成损失的，乙方应承担全部赔偿责任。六、争议解决本合同在履行过程中发生的争议，由双方协商解决；协商不成的，任何一方均有权向有管辖权的人民法院提起诉讼。七、其他条款（一）合同变更与解除1.本合同的任何变更或补充需经双方书面协商一致，并签订书面协议。变更或补充协议作为本合同的组成部分，与本合同具有同等法律效力。2.在履行本合同过程中，若一方提出解除合同，需提前[X]日书面通知对方，并经对方书面同意。因解除合同给对方造成损失的，提出解除合同方应承担相应赔偿责任。（二）不可抗力1.本合同所称不可抗力是指不能预见、不能避免并不能克服的客观情况，包括但不限于自然灾害、政府行为、社会异常事件等。2.因不可抗力事件导致一方无法履行本合同约定的义务，该方不承担违约责任，但应及时通知对方，并提供相关证明文件。在不可抗力事件影响消除后的