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文档简介
中国表面工程协会团体标准
《电镀园区再生水利用-工艺用水标准》
编制说明
标准编制组
2023年10月
1项目背景
1.1任务来源
电镀企业工艺用水品质是影响产品质量一项重要指标。电镀园区再生水作企
业工艺使用,不仅可以提高水资源利用效率,提高水重复利用率,同时满足行业
清洁生产要求,是促进电镀行业健康发展有效举措。为确保电镀园区生产再生水
符合企业工艺用水要求,实现企业各工艺段用水、产线用水科学管控,水资源循
环利用,保障电镀园区生产再生水回用至企业产线工艺用水品质和产品质量。惠
州金茂源环保科技有限公司向中国表面工程协会自主申报了《电镀园区再生水利
用工艺用水标准》(以下简称《标准》)。经标委会组织专家审查后,予以立
项编制,项目编号CSEA202307。
1.2工作过程
惠州金茂源环保科技有限公司在提交立项建议书之后,联合开展了前期编制
准备,开展了国内外相关标准和文献资料的调研、检索和收集,以及电镀园区再
生水情况调研。从接到标准的编写任务开始,组织召开了编制讨论会,针对《标
准》的定位、适用范围、编制思路等问题进行了深入讨论,明确了拟开展的主要
工作和需要解决的重大问题。在此基础上,编制组研究制订了具体的工作计划,
明确了技术路线,并根据工作需要对组内成员进行任务分工,为保质保量完成《标
准》编制打好基础。
2022年6月,收集工艺用水相关资料、回用水使用情况调研、企业关于回
用水使用意见。编制工艺用水标准初稿,经编制组评审对初稿思路方向调整。
2022年9月召开标准编制组第一次会议;对电镀园区回用水使用情况进行
了解;会议确定对惠州园区5种出水指标进行检测。
2023年6月,编制组完成了《标准》(初稿),并发送至相关单位专业技
术人员审阅。同时,组织专家开展了论证会,会上编制组对专家提出的意见进行
了答疑,就技术问题进行了交流和讨论。
2023年8月,编制组完成了《标准》(征求意见稿),并发送相关单位进
行了意见征询。根据反馈意见,编制组对《标准》(征求意见稿)进行了完善,
并开展了征求意见。
1
2023年10月,根据征求意见情况,进一步调整完善标准文本,形成《标准》
(送审稿),上报中国表面工程协会。
2标准制定的必要性
电镀是当代工业产业链中不可缺少的重要环节,在机械、电子、汽车、航空、
航天等各个领域都有广泛的应用,对各种工业产品起到了装饰、防护和增加功能
的作用,使之能够满足各种实际需求。随着经济的持续、快速发展,电镀需求正
在不断加大,电镀在各工业行业中始终占据不可替代的作用,是关系整体工业发
展的重要行业之一。由于行业具有能耗大、水耗大等特点,行业多年来一直重视
清洁生产,降低能源资源消耗。与此同时,环保对于电镀园区水回用要求越来越
高,企业对于产品品质管控越来越严格。因此,电镀园区回用至企业产线工艺用
水的质量好坏,影响着企业生产运营效果和产品管控质量。
目前,电镀园区再生水用于企业产线工艺用水标准处于空白。为了指导电镀
园区再生水的工艺管理与控制,满足电镀园区回用水生产、企业用水要求,实现
水资源循环利用。全面提升电镀行业的清洁生产水平,同时为电镀园区再生水作
企业产线工艺用水使用标准提供科学依据,有必要制定该标准。
3标准制定原则及总体思路
3.1编制原则
(1)科学性原则。在制定本技术导则时,充分总结现有电镀园区企业回用
水水质要求、使用方法和实践经验,考虑理论和方法的科学性,比较与分析不同
标准中不同指标限值选取的异同点、优缺点,科学制定与国内现有技术水平相衔
接的水质标准。
(2)实用性原则。本水质标准的制定以满足电镀企业产线使用为目标,针
对行业绿色发展、水资源循环利用、提高水回用率等需求,选取合适水质标准值,
提出切实可行的技术要求。同时,充分考虑了目前我国电镀行业企业用水现状,
制定不同级别用水水质、满足不同用水需求。
(3)严谨性原则。充分考虑在水质标准指标和限值选取过程中存在的影响
因素,分析所有潜在影响因素,提出解决影响因素措施。在保证回用水制电镀企
业车间工艺水质质量前期下,提出不同水质工艺用水制取流程和方法,确保指标
2
和方法正确、合理、严谨、可行,以便能够广范在行业中得以应用。
3.2总体思路
根据工作必要过程和思路框架,确定了本标准制定的技术路线,主要包括工
艺用水分类、水质标准、制备方法和流程、管理和运维要求、检测分析要求,详
细技术路线见图1。
图1.技术路线
4电镀园区再生水利用情况
随着国家对中水回用的要求越来越严格,企业需要改进废水处理工艺,增加
处理设备,以满足中水回用率要求。电镀园区聚集众多电镀企业,为达到中水回
用要求,环保部门往往要求园区将中水进行再生利用,经过处理后再生水大部分
要求回用到企业生产线工艺使用。
3
4.1电镀园区再生水回用情况
表1部分电镀园区再生水回用率要求一览表
序号地区名称回用率(%)
1天津市金茂源(天津)表面处理循环经济产业园50%
2重庆重润表面工程科技园40%
重庆市
3重庆巨科环保电镀工业园60%
6杨市电镀集中区60%
7镇江环保电镀专业区65%
8江苏省如东经济开发区电镀园区50%
9华东表面处理循环经济产业园50%
12南湖区金属表面处理集聚区60%
13金乡镇电镀工业园59%
16浙江省金华市武义县泉湖电镀集中区60%
17宁波鄞州电镀工业园区80%
18华清合肥表面处理基地66%
19安徽省舒城电子产业园表面处理中心60%
20黄山市金磊电镀园75%
23文港电镀集控区63%
24江西省新余市电镀集控区50.1%
26赣州中联环保电镀工业园75%
30金茂源(华中)表面处理循环经济产业园40%
31湖北省孝感高新技术产业开发区电镀产业园(福聚多)零排放
32孝感东山头中碧环保工业园60%
4
34兆亮电镀工业中心60%
35金茂源(惠州)表面处理循环经济产业园60%
36江门市崖门新财富环保电镀产业园63%
37东莞麻涌豪丰电镀工业园60%
38广东省东莞市虎门镇电镀、印染专业基地60%
39揭阳表面处理生态工业园零排放
40天创罗定双东环保工业园70%
41清远市龙湾环保表面处理示范基地60%
通过全国部分地区电镀园区再生水回用情况调研可知,大部分电镀园区均对
中水回用率有要求,要求至少达40%以上。因此将电镀园区再生水如何科学合理
处理、符合企业使用水质要求,真正回用到企业工艺生产线上,显得急迫和需要。
4.2电镀企业工艺用水现状
电镀园区生产再生水,在企业端利用情况如下:
在再生水用途方面,根据调研目前企业再生水用途主要包括前处理工艺用水;
镀槽配液用水(含开缸配置溶液、校正调整溶液、溶液蒸发补充水);镀槽清洗
用水(清洗后水补充镀槽或产线循环回用)以及镀槽清洗用水(清洗后水排放水)、
后处理工艺。不同工艺段对用水要求不一,镀槽配液用水和后处理工艺用水要求
高、前处理和镀槽后清洗水要求较低。不同镀种对水质要求不一,镀锌工艺对水
质要求不高,镀铜、镍、铬、金、银、锡等贵重金属对水质要求非常高。不同行
业对用水要求不一,机械、五金行业对水质要求不高,汽配、精密电子、奢侈品、
航空航天、半导体等行业对水质要求非常高。
表2不同镀种、工序、行业对回用水要求
类别对用水要求不是很高对用水要求很高备注
1、镀锌全程对用水要求都不是很
电子类(镀铜、镀镍、高,主要产品能过盐雾要求及没有
镀锌、五金类(镀铜、
镀种镀铬)镀锡、镀金、镀麻点产生均可以使用。
镀镍、镀铬)
银、镀钯、镀铑2、企业铜镍铬镀种,水洗都可以
把回用水制作成纯水使用。
5
3、针对贵金属类的镀种,必须使
用更高要求的水质,企业需要再过
一遍EDI纯水系统,方可使用。
前处理工序及镀后工1、前处理槽液、水洗,电镀后水
配置镀液及后处理纯
工序序水洗、退挂-退镀工洗均可使用回用水(制作成纯水)
水洗
序进行清洗。
1、由于产品的要求不一样,有功
能性产品、有装饰性产品。在用水
汽配、精密电子、奢侈方面要求均不一样,在机械与普通
行业机械、五金
品五金类产品中,用水要求均不高,
但在精密电子与高端汽配的条件
下,用水要求较高。
在再生水使用方式方面,根据不同镀种和工艺环节,企业工艺用水的制取方
式有接管园区再生水、自来水管直接使用、取自来水再过纯水机过滤使用、用再
生水过纯水机过滤使用。根据产品、电镀类型的特性,塑胶电镀企业(主要涉及
汽配、卫浴、家用电器),卷对卷连续镀企业(主要涉及端子连接器、板材电子、
LED),滚镀企业(主要涉及精密电子、部分汽车配件)、五金挂镀企业(主要
涉及奢侈品、高端家居产品),这些类型企业都自行安装中水及自来水再处理设
施,保证电镀产线上的用水要求。实际上,除功能性镀锌可以不用外,其它镀种
均自行安装,以所需或备用。
4.3电镀工艺用水标准情况
(1)现行标准
目前电镀行业现用的工艺用水水质标准有《金属镀覆和化学覆盖工艺用水水
质规范》HB5472-1991;《城市污水再生利用工业用水水质》(GB/T19923-2005)。
a.金属镀覆和化学覆盖工艺用水水质规范(HB5472-1991)
该规范规定了金属镀覆和化学覆盖工艺用水的水质分类和指标、水质分析方
法及工艺用水要求。适用于航空产品进行金属镀覆和化学覆盖工艺时的用水要求。
表3水质指标
水质标准
项目单位
ABC
PH-6.5-8.5
电阻率(25℃)MΩ··cm0.10.0070.0012
6
总可溶性固体(TDS)mg/L7100600
二氧化硅mg/L1--
氯化物mg/L512-
1:表中数据仅作为参考指导。
2:除pH、电阻率外,所有的值都等于或小于。
3:硼仅作为监测离子交换床的一个可操作性参数进行监测。
b.《城市污水再生利用工业用水水质》(GB/T19923-2005)
表4工业用水水质工艺与产品用水
项目单位水质标准
PH-6.5-8.5
氨氮mg/L10
总磷mg/L1
化学需氧量mg/L60
总可溶性固体(TDS)mg/L1000
二氧化硅mg/L30
氯化物mg/L250
总碱度mg/L350
硫酸盐mg/L250
阴离子表面活性剂(LAS)mg/L0.5
锰mg/L0.1
铁mg/L0.3
1:表中数据仅作为参考指导。
2:除电阻率外,所有的值都等于或小于。
(2)参考标准
因为电镀作为制造业加工环节之一,涉及行业众多。一些如半导体、精密仪
器、高新技术产品、航空航天产品等电镀加工环节所使用工艺用水水质要求特别
高,需要达到纯水或者高纯水级别。一般会参考使用纯水有关标准,如:美国标
准电子及半导体工业用水质(ASTMD5127-2007)、生活饮用水卫生标准
(GB5749-2006)、中国国家实验室用水规格(GB6682-2008)和中国国家电子级超
纯水规格(GB/T11446-1997)、电力半导体器件工艺用高纯水(JB/T7621-1994)、
7
《电镀手册(下册)》第二版第六章给水排水等。
a.美国标准电子及半导体工业用水质(ASTMD5127-2007)
美国标准ASTMD5127-2007电子及半导体工业用纯水水质要求,该标准适用
于在制造过程中用于清洗和漂洗半导体元件用水。标准将电子和微电子工业所需
的水质分成七种电子级水,分别为微电子水:E-1型、E1.1型、E1.2型、E1.3
型、E-2型;宏观电子水:E-3型;用于制备电镀溶液的水和水质应用要求较低
电子水:E-4型。
表5电子和半导体工业分配点水的要求(节选E-4型水质标准)
项目单位水质标准
电阻率(25℃)MΩ·cm0.5
总有机碳(TOC)mg/L1
二氧化硅mg/L1
氯化物mg/L1
硝酸盐mg/L0.5
硫酸盐mg/L0.5
磷酸盐mg/L0.5
锌mg/L0.5
钾mg/L0.5
硼mg/L/
钠mg/L1
钙mg/L1
铜mg/L0.5
镍mg/L0.5
1:表中数据仅作为参考指导。
2:除电阻率外,所有的值都等于或小于。
3:硼仅作为监测离子交换床的一个可操作性参数进行监测。
b.生活饮用水卫生标准(GB5749-2006)
表6水质标准
项目单位水质标准
PH-6.5-8.5
8
氨氮mg/L0.5
钠mg/L200
总可溶性固体(TDS)mg/L1000
阴离子表面活性剂(LAS)mg/L0.3
氯化物mg/L250
硫化物mg/L0.02
硫酸盐mg/L250
镍mg/L0.02
铜mg/L1
硼mg/L0.5
锰mg/L0.1
锌mg/L1
铁mg/L0.3
铅mg/L0.01
镉mg/L0.005
汞mg/L0.001
砷mg/L0.01
六价铬mg/L0.05
1:表中数据仅作为参考指导。
2:除电阻率外,所有的值都等于或小于。
c.中国实验室用水国家标准(GB/T6682-2008)
表7水质标准
水质标准
项目单位
一级二级三级
PH---5-7.5
悬浮物-12
电导率(25℃)us/cm10100500
总可溶性固体(TDS)mg/L7100600
二氧化硅mg/L0.010.02-
9
氯化物mg/L512-
1:表中数据仅作为参考指导。
2:除pH、电导率外,所有的值都等于或小于。
d.中国电子行业超纯水标准(GB/T11446.1-2013)
该标准规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。部分
使用与电子和半导体工业用高纯清洗用水。
表8水质标准
水质标准
项目单位
ⅠⅡⅢⅣ
电阻率(25℃)MΩ·cm1815120.5
二氧化硅mg/L210501000
硝酸盐mg/L115500
镁mg/L115500
铅mg/L0.1---
钠mg/L0.5251000
钾mg/L0.525500
铁mg/L0.1---
铜mg/L0.212500
镍mg/L0.112500
锌mg/L0.212500
1:表中数据仅作为参考指导。
2:除电阻率等于或大于外,所有的值都等于或小于。
e.电力半导体器件工艺用高纯水(JB/T7621-1994)
该标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水(以下称高纯水)的级别、技术要
求、测试方法和规则。适用于去离子处理后的高纯水。
表9水质标准
电子级高纯水普通高纯水
项目单位
特级一级ⅠⅡⅢ
电阻率18(90%时间)16-18(90%时间)
MΩ·cm12-158~<125~<8
(25℃)最小17最小15
10
细菌个数个/mL<11无要求
总有机碳
mg/L0.050.1<0.5
(TOC)
全硅mg/L0.0020.01<0.1
氯含量mg/L0.00050.002
钾含量mg/L0.00020.001
钠含量mg/L0.00020.001
钙含量mg/L0.00050.001
无要求
铝含量mg/L0.00050.001
铜含量mg/L0.00010.001
总可溶性
mg/L0.0030.01
固体(TDS)
1:表中数据仅作为参考指导。
2:除电阻率等于或大于外,所有的值都等于或小于。
f.《电镀手册(下册)》第二版第六章给水排水
表10纯水分类
水质标准
指标单位
除盐水纯水高纯水
电阻率(25℃)MΩ··cm0.1~1.01.0~10>10
含盐量mg/L1~50.1~1<0.1
5电镀园区企业工艺用水分类依据
根据调研企业用水水源情况以及电镀园区、电镀企业用水特性,将工艺用水
水源仅限于自来水和再生水。根据《电镀手册(下册)》第二版第六章给水排
水章节内容:“电镀车间给水水质,根据工艺的不同要求,一般分为工艺用水(包
括配置溶液、校正调整溶液和溶液蒸发补充水等)、镀件清洗水以及设备冷却水
三种。对镀件清洗水的水质要求视镀件表面处理种类、生产过程和清洗后的水补
充镀槽或循环回用,还是处理后排放而定。如清洗后的水补充镀槽或循环回用,
清洗水应用除盐水。除此之外,镀件清洗水和设备冷却水一般采用符合生活饮用
水标准的自来水。配置溶液和调整溶液用水,当要求较高时需用除盐水。”
因此,对工艺用水进行分类如下:
11
表11工艺用水进行分类
类别用途
镀槽配液用水(含开缸配置溶液、校正调整溶液、溶液蒸发补充水)
A
后处理工艺用水
B镀件清洗用水(清洗后水补充槽液或产线循环回用)
前处理工艺用水
C
一般清洗用水(清洗后排放)
6工艺用水水质标准值的确定依据
6.1污染物指标确定
根据查阅电镀行业目前执行工艺用水标准,所参考纯水水质标准,以及调研
电镀企业车间用水情况,影响再生水水质指标。将工艺用水水质指标确定如下:
表12工艺用水水质指标
类别污染物名称指标选取依据
pH值
电阻率
参考金属镀覆和化学覆盖工艺用水水质规范
基础性指标
总可溶性总固体(HB5472-1991)指标
二氧化硅
氯化物
参考美国标准电子及半导体工业用水质(ASTM
D5127-2007);
《城市污水再生利用工业用水水质》
有机物指标
硫酸盐(GB/T19923-2005);
生活饮用水卫生标准(GB5749-2006);
参考《电镀手册(下册)》第二版第六章给水排水水
中杂质对电镀质量的影响;
12
美国标准电子及半导体工业用水质(ASTM
总有机碳(TOC)D5127-2007)
电力半导体器件工艺用高纯水(JB/T7621-1994)
美国标准电子及半导体工业用水质(ASTM
锌
D5127-2007)
参考《电镀手册(下册)》第二版第六章给水排水
钾
水中杂质对电镀质量的影响
参考《电镀手册(下册)》第二版第六章给水排水
硼
水中杂质对电镀质量的影响
钠
钙
金属指标铜参考《电镀手册(下册)》第二版第六章给水排水
水中杂质对电镀质量的影响
镍
铁
6.2污染物标准值确定
◼pH
根据《金属镀覆和化学覆盖工艺用水水质规范》(HB5472-1991)、《城市
污水再生利用工业用水水质》(GB/T19923-2005)、《生活饮用水卫生标准》
(GB5749-2006)关于PH值标准,本标准pH值定为6.5-8.5。
表13本标准pH值
标准名称PH标准值
金属镀覆和化学覆盖工艺用水水质规范(HB5472-1991)、
《城市污水再生利用工业用水水质》(GB/T19923-2005)、生6.5-8.5
活饮用水卫生标准(GB5749-2006)
◼电导率
电阻率为电导率倒数。检测电导率有快速便捷方法,所以一般情况下,采用
检测电导率来判断电阻率指标情况。根据调研100余家电镀企业生产工艺用水电
导率指标现状情况如下:
表14调研企业生产工艺用水电导率指标
电镀园区企业再生水作工艺用水电导率要求
电导率要求范围(μs/cm)企业数量占比
≤102928.43%
10~501918.63%
13
50~1002524.51%
100~15087.84%
150~350109.80%
350~60021.96%
>600或无要求98.82%
102
根据工艺用水A类、B类、C类水质用途,结合再生水使用电导率要求,对
电导率分级确定标准值。
根据美国标准电子及半导体工业用水质(ASTMD5127-2007)、中国电子
行业超纯水标准(GB/T11446.1-2013)、对于电阻率要求为≤0.5MΩ·cm,电
导率值为≤2μs/cm。因此,本标准考虑余量将水质要求最高A类水质电导率标
准定为≤5us/cm。
根据《金属镀覆和化学覆盖工艺用水水质规范》(HB5472-1991)A类水质,
对于电阻率要求为≤0.1MΩ·cm。《电镀手册(下册)》第二版第六章给水排
水纯水分类关于除盐水标准,电阻率要求为≤0.1MΩ·cm。中国实验室用水国
家标准(GB/T6682-2008)一级水对于电导率标准值为≤10μs/cm。因此,本标准
考虑将工艺用水B类水质电导率标准定为≤10us/cm。
《金属镀覆和化学覆盖工艺用水水质规范》(HB5472-1991)B类水质和类
水质标准,可知B类水质电导率约为142.7us/cm,C类水质电导率约为
833.3us/cm。中国实验室用水国家标准(GB/T6682-2008)三级水对于电导率标准
值为≤500μs/cm,。结合这三个标准以及结合调研结果,选取一个适用范围较
广的标准值,因此将本标准C类水质电导率定为≤350μs/cm。
表15各参考标准电导率标准值
参考标准名称电导率标准值
金属镀覆和化学覆盖工艺用水A类0.1MΩ·cmB类0.007MΩ·cmC类0.0012MΩ·cm
水质规范(HB5472-1991)(10μs/cm)(142.7μs/cm)(833.3μs/cm)
纯水1.0~10M
《电镀手册(下册)》第二版除盐水0.1~1.0MΩ·cm高纯水>10MΩ·cm
Ω·cm
第六章给水排水纯水分类(1-10μs/cm)(<0.1μs/cm)
(0.1-1μs/cm)
中国实验室用水国家标准
一级:10μs/cm二级:100μs/cm三级:500μs/cm
(GB/T6682-2008)
美国标准电子及半导体工业
用水质(ASTMD5127-2007)0.5MΩ·cm(2μs/cm)
E-4型
14
中国电子行业超纯水标准Ⅰ类18MΩ·cm(0.055μs/cm)、Ⅱ类≤15MΩ·cm(0.066μs/cm)、
(GB/T11446.1-2013)Ⅲ类≤12MΩ·cm(0.083μs/cm)、Ⅳ类≤0.5MΩ·cm(2μs/cm)
◼总可溶性总固体
采用《金属镀覆和化学覆盖工艺用水水质规范》(HB5472-1991)中总可溶
性总固体标准。其中A类水质要求≤30mg/L,B类水质要求≤100mg/L,C类
水质要求≤250mg/L。
◼二氧化硅
目前电镀行业工艺用水标准、国内外纯水标准均对二氧化硅有要求。《金属
镀覆和化学覆盖工艺用水水质规范》(HB5472-1991)、美国标准电子及半导
体工业用水质(ASTMD5127-2007)要求≤1mg/L。中国电子行业超纯水标准
(GB/T11446.1-2013)则设4个等级,Ⅰ类≤2mg/L;Ⅱ类≤10mg/L;Ⅲ类≤
50mg/L;Ⅳ类≤1000mg/L。综上,本标准A类水质选取较严格标准值为≤1mg/L,
B类水质和C类水质分别选取中国电子行业超纯水标准(GB/T11446.1-2013)
Ⅱ类和Ⅲ类水质标准,分别为≤10mg/L、Ⅲ类≤50mg/L。
表16各参考标准二氧化硅标准值
参考标准名称二氧化硅标准值
金属镀覆和化学覆盖工艺用水水质规范
≤1mg/L
(HB5472-1991)
美国标准电子及半导体工业用水质
≤1mg/L
(ASTMD5127-2007)
中国电子行业超纯水标准(GB/TⅠ类≤2mg/L、Ⅱ类≤10mg/L、Ⅲ类≤50mg/L;Ⅳ
11446.1-2013)类≤1000mg/L
◼氯化物
采用《金属镀覆和化学覆盖工艺用水水质规范》(HB5472-1991)中氯化
物标准。其中A类水质要求≤5mg/L,B类水质要求≤12mg/L。C类标准采用
《城市污水再生利用工业用水水质》(GB/T19923-2005)、《生活饮用水卫生标
准》(GB5749-2006)标准值取≤250mg/L。
表17各参考标准氯化物标准值
参考标准名称氯化物标准值
金属镀覆和化学覆盖工艺用水水质规
A类≤5mg/LB类≤12mg/L
范(HB5472-1991)、
中国实验室用水国家标准一级≤5mg/L二级≤12mg/L
15
(GB/T6682-2008)
《城市污水再生利用工业用水水质》
(GB/T19923-2005)、《生活饮用水卫生≤250mg/L
标准》(GB5749-2006)
美国标准电子及半导体工业用水质
≤1mg/L
(ASTMD5127-2007)E-4型
◼硫酸盐
根据美国标准电子及半导体工业用水质(ASTMD5127-2007)硫酸盐标准
为≤0.5mg/L、城市污水再生利用工业用水水质》(GB/T19923-2005)、生活饮用
水卫生标准(GB5749-2006)硫酸盐标准为≤250mg/L,因此本标准A类标准取值
≤1mg/L、B类≤5mg/L、C类≤250mg/L。
表18各参考标准硫酸盐标准值
参考标准名称硫酸盐标准值
《城市污水再生利用工业用水水质》
(GB/T19923-2005)、生活饮用水卫生标≤250mg/L
准(GB5749-2006)
美国标准电子及半导体工业用水质
≤0.5mg/L
(ASTMD5127-2007)E-4型
◼总有机碳(TOC)
表19各参考标准TOC标准值
参考标准名称总有机碳标准值
美国标准电子及半导体工业用水质
≤0.5mg/L
(ASTMD5127-2007)E-4型
电力半导体器件工艺用高纯水(JB/T
特级0.05mg/L、一级0.1mg/L、Ⅰ~Ⅲ<0.5mg/L
7621-1994)
◼锌
根据电镀企业工艺使用需求,对重金属要求非常高,因此A类和B类水质
参考中国电子行业超纯水标准(GB/T11446.1-2013)Ⅰ类,取值≤0.2mg/L。C
类水质参考生活饮用水卫生标准(GB5749-2006)取值≤1mg/L。
表20各参考标准锌标准值
参考标准名称锌标准值
美国标准电子及半导体工业用水质
≤0.5mg/L
(ASTMD5127-2007)E-4型
生活饮用水卫生标准(GB5749-2006)≤1mg/L
16
中国电子行业超纯水标准(GB/TⅠ类≤0.2mg/L、Ⅱ类≤1mg/L、Ⅲ类≤2mg/L;Ⅳ
11446.1-2013)类≤500mg/L
◼钾
A类和B类水质不得检出。C类水质参考中国电子行业超纯水标准(GB/T
11446.1-2013)取值≤0.5mg/L。
表21各参考标准钾标准值
参考标准名称钾标准值
美国标准电子及半导体工业用水质
≤1mg/L
(ASTMD5127-2007)E-4型
中国电子行业超纯水标准(GB/TⅠ类≤0.5mg/L、Ⅱ类≤2mg/L、Ⅲ类≤5mg/L;Ⅳ
11446.1-2013)类≤500mg/L
电力半导体器件工艺用高纯水(JB/T
特级0.0002mg/L、一级0.001mg/L
7621-1994)
◼硼
美国标准电子及半导体工业用水质(ASTMD5127-2007)标准对硼指标有
特别要求,标准提到硼仅作为监测离子交换床的一个可操作性参数进行监测。但
是在企业工艺用水调研中,部分塑胶电镀、半导体、精密仪器、高精端产业要求
镀槽或者水洗水中硼含量需满足使用要求,否则会影响产品质量。因此,A类和
B类水质均要求达生活饮用水卫生标准(GB5749-2006)标准,取值≤0.5mg/L。对
某电镀园区再生水硼指标检测浓度为15mg/L。因此,考虑将再生水硼指标浓度
作为参考并作为C类水质标准,从严格限制,取值10mg/L。
表22各参考标准硼标准值
参考标准名称硼标准值
生活饮用水卫生标准(GB5749-2006)≤0.5mg/L
◼钠
A类水质参考美国标准电子及半导体工业用水质(ASTMD5127-2007)E-4
型和中国电子行业超纯水标准(GB/T11446.1-2013)Ⅰ类水质要求,取值≤
0.5mg/L。B类水质中国电子行业超纯水标准(GB/T11446.1-2013)Ⅱ类水质要
求,取值≤2mg/L。C类水质参考生活饮用水卫生标准(GB5749-2006)标准值,取
≤200mg/L。
表23各参考标准钠标准值
17
参考标准名称钠标准值
美国标准电子及半导体工业用水质
≤0.5mg/L
(ASTMD5127-2007)E-4型
生活饮用水卫生标准(GB5749-2006)≤200mg/L
中国电子行业超纯水标准(GB/TⅠ类≤0.5mg/L、Ⅱ类≤2mg/L、Ⅲ类≤5mg/L;Ⅳ
11446.1-2013)类≤1000mg/L
电力半导体器件工艺用高纯水(JB/T
特级0.0002mg/L、一级0.001mg/L
7621-1994)
◼钙
结合实际调研情况,ABC类水质取值≤1mg/L。
表24各参考标准钙标准值
参考标准名称钙标准值
美国标准电子及半导体工业用水质
≤1mg/L
(ASTMD5127-2007)E-4型
电力半导体器件工艺用高纯水(JB/T
特级0.0005mg/L、一级0.001mg/L
7621-1994)
◼铜
A类和B类水质不得检出。C类水质参考生活饮用水卫生标准(GB5749-2006)
取值≤1mg/L。
表25各参考标准铜标准值
参考标准名称铜标准值
美国标准电子及半导体工业用水质
≤0.5mg/L
(ASTMD5127-2007)E-4型
生活饮用水卫生标准(GB5749-2006)≤1mg/L
中国电子行业超纯水标准(GB/TⅠ类≤0.2mg/L、Ⅱ类≤1mg/L、Ⅲ类≤2mg/L;Ⅳ
11446.1-2013)类≤500mg/L
电力半导体器件工艺用高纯水(JB/T
特级0.0001mg/L、一级0.001mg/L
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