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半导体厂务项目工程管理项目八化学品分类任务8-1化学品种类介绍任务8-1化学品种类介绍【任务背景】湿电子化学品湿电子化学品，又称超净高纯试剂或工艺化学品，指主体成分纯度大于99.99%，杂质离子和微粒数符合严格标准的化学试剂。湿电子化学品是化学试剂产品中对品质、纯度要求最高的细分领域，是纯度极高的特种化学试剂。一般要求控制杂质颗粒粒径低于0.5µm，金属杂质含量低于ppm（10-6）级。任务8-1化学品种类介绍【任务背景】湿电子化学品任务8-1化学品种类介绍【任务实施】湿电子化学品的分类1.通用性化学品通用性化学品又称超净高纯溶剂，常用于湿法工艺制程中的清洗、光刻、腐蚀等工序。分类化学品酸类氢氟酸、硫酸、磷酸、盐酸、硝酸、乙酸等碱类氨水、氢氧化钠、氢氧化钾等有机溶剂醇类甲醇，乙醇、异丙醇等酮类丙酮、丁酮、甲基异丁基酮等酯类乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸异戊酯等烃类甲苯、二甲苯、环己烷等卤代烃类三氯乙烯、三氯乙烷、氯甲烷、四氯化碳等其他类双氧水等任务8-1化学品种类介绍【任务实施】湿电子化学品的分类1.通用性化学品化学品名称标识浓度浓度规格硫酸(H2SO4)96%95%~97%磷酸(H3PO4)85%85%~87%盐酸(HCl)36%36.5%~38%硝酸(HNO3)70%69%~70%氢氟酸(HF)49%48.8%~49.2%氨水(NH4OH)29%28%~30%四甲基氢氧化铵((CH3)4NOH)25%24.9%~25.1%双氧水(H2O2)30%30%~32%任务8-1化学品种类介绍【任务实施】湿电子化学品的分类1.通用性化学品混合化学品产品组成及常用体积比使用温度主要功能及工艺特征一号液(SC-1)H2O:H2O2:NH4OH5:1:0.25~5:1:125~70°C用于去除颗粒及某些金属层的湿法刻蚀二号液(5C-2)H2O:H2O2:HCl5:1:0.25~5:1:125~70°C用于去除金属杂质硫酸双氧水混合液(SPM)H2SO4:H2O24:1~20:1100~165°C用于去除光刻胶、有机杂质及某些金属层的湿法刻蚀DSP+(稀释的硫酸双氧水混合液)H2SO4、H2O2、HF、H2O25~60°C多用于铝线干法刻蚀后的清洗，可以现场混配，价格便宜，工艺温度低，但对铝线的腐蚀不易控制任务8-1化学品种类介绍【任务实施】湿电子化学品的分类2.功能性化学品功能性湿电子化学品是为满足湿法工艺中特殊工艺需求，通过复配工艺制备的配方类（复配类）化学品，主要包括显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液等。任务8-1化学品种类介绍【任务实施】

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