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半导体厂务项目工程管理项目六净化室系统的设计与维护任务6-1净化室系统介绍任务6-1净化室系统介绍【任务背景】为什么需要净化室由于集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，在制造的过程中必须防止外界杂质污染源，这些污染源可能会造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。任务6-1净化室系统介绍【任务背景】洁净室定义与构成洁净室，作为一种特殊设计的空间，其核心目标在于通过精密设计与严格的环境参数控制，最大限度地减少室内诱入、产生及滞留的粒子，并同时对温度、湿度、压力等关键参数进行精准调控，以满足高品质工作环境的需求。任务6-1净化室系统介绍【任务背景】净化室系统的组成任务6-1净化室系统介绍【任务背景】净化室系统的组成天花板系统任务6-1净化室系统介绍【任务背景】净化室系统的组成空调系统任务6-1净化室系统介绍【任务背景】净化室系统的组成隔墙板系统任务6-1净化室系统介绍【任务背景】净化室系统的组成地板系统任务6-1净化室系统介绍【任务背景】净化室系统的组成照明系统任务6-1净化室系统介绍【任务背景】净化室系统的组成洁净室标准任务6-1净化室系统介绍【洁净室标准】任务6-1净化室系统介绍【洁净室标准】任务6-1净化室系统介绍【洁净室标准】十级百级千级万级十万级百万级任务6-1净化室系统介绍任务6-1净化室系统介绍【洁净室标准】洁净室分类任务6-1净化室系统介绍【洁净室分类】根据洁净的程度一般净化，粗效过滤器中等净化，粗、中效过滤器超净净化，粗、中、高三级过滤器半导体生产任务6-1净化室系统介绍【洁净室分类】根据洁净室用途工业洁净室，控制非生物微粒的污染生物洁净室，控制生物微粒的污染任务6-1净化室系统介绍【洁净室分类】根据气流流型单向流（层流式）非单向流（乱流式））混合流任务6-1净化室系统介绍【洁净室分类】根据气流流型层流式任务6-1净化室系统介绍【洁净室分类】根据气流流型乱流式任务6-1净化室系统介绍【洁净室分类】根据气流流型混合流任务6-1净化室系统介绍洁净室污染及其控制任务6-1净化室系统介绍【洁净室污染】污染来源人员活动污染扩散转动设备未清洁物料80%~90%任务6-1净化室系统介绍任务

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