Q-ZMS 168-2023 168 碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液_第1页
Q-ZMS 168-2023 168 碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液_第2页
Q-ZMS 168-2023 168 碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液_第3页
Q-ZMS 168-2023 168 碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液_第4页
Q-ZMS 168-2023 168 碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液_第5页
已阅读5页，还剩5页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

Q/ZMS(N)郑州磨料磨具磨削研究所有限公司企业标准Nano-polishingslurryforsiliconcarbide(SiC)waferchemicalmechanicalpolishing郑州磨料磨具磨削研究所有限公司发布I本标准起草单位：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司制1碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液本标准规定了碳化硅（SiC）晶圆化学机械抛光用纳米抛光液的产品代号和标记、本标准适用于碳化硅（SiC）晶圆化学机械三代半导体材料化学机械抛光用纳米抛光液产品的代号为524技术要求4.2pH值pH值要求见下表4。pH值4.3净质量偏差35±100±500目测。氧化铝/氧化铈类纳米抛光液轻轻摇晃，观察底部沉淀磨料是否易摇匀。氧化硅类纳米抛光5.2pH值5.3磨料粒径使用马尔文ZetasizerNanoZS测试粒径。用干净的取样器取出抛光液，使用纯水将样品稀释至205.4净质量偏差），47.2.1产品内包装采用定制塑料壶/桶，整体干净、无7.2.2产品外包装采用硬质纸箱包装，符合运输有关7.3.2纳米抛光液应在5

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论