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太赫兹技术概述目录TOC\o"1-3"\h\u14231太赫兹技术概述 [47]。此外由于超导约瑟夫森结的特性，许多类型的超导检测器也可以作为直接检测器使用。其中超导测热辐射计是目前灵敏度最高的直接检测器，甚至可以达到宇宙背景噪声级别REF_Ref71815710\r\h[48]REF_Ref71815722\r\h[49]。1.4.2外差检测器外差检测是一种相干检测，由于目前的频谱仪无法对高频的信号进行分析，因此可以将难以检测的高频入射信号与一个本振信号（LO）进行混频，将高频入射信号进行降频，输出一个中频信号（IF），从而可以方便地进行分析。由于混频过程仅仅只是改变了信号的频率，没有对其相位、幅度信息做出改变，因此相比于直接检测器，外差检测器可以获取到更多的信息，其灵敏度也更高。但是外差检测器受到本振信号的限制，无法大量集成。目前常用的太赫兹混频器主要有三种：肖特基二极管、超导约瑟夫森结（SIS结、高温超导约瑟夫森结等等）、热电子测热辐射计（HotElectronBolometer，HEB）。其中肖特基二极管灵敏度相对来说是最低的，但是使用门槛最低，室温下即可进行工作。约瑟夫森结和HEB虽然灵敏度较高，但是需要低温环境才能进行工作，其中SIS结可以探测1.2THz以下的辐射REF_Ref71816559\r\h[50]，HEB最高可以探测到5THz频率的太赫兹波辐射REF_Ref71816565\r\h[51]REF_Ref71816575\r\h[52]。如表1-1罗列了目前比较常用的太赫兹检测器的性能参数及其工作条件。表1-1几种常
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