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教师教学笔记教学内容摘要补充资料1、前情提要1.1、实验结果分析单臂电桥X(mm)0Uo(mV)0绘制输入输出特性曲线、误差分析、与半桥/全桥测量结果进行对比。1.2、应变式传感器的应用 2、压阻式传感器2.1、概念固体受到力的作用后，其电阻率（或电阻）就要发生变化，这种现象称为压阻效应。压阻式传感器是利用固体的压阻效应制成的一种测量装置。教师教学笔记教学内容摘要补充资料2.2、分类粘贴型压阻式传感器(传感元件是用半导体材料的体电阻制成的粘贴式应变片)扩散型压阻式传感器(它的传感元件是利用集成电路工艺，在半导体材料的基片上制成的扩散电阻。

2.3、工作原理2.4、晶向的表示方法结晶体是具有多面体形态的固体，由分子、原子或离子有规则排列而成。这种多面体的表面由称为晶面的多个平面围合而成，晶面与镜面相交的直线称为晶棱，晶棱的交点称为晶体的顶点。硅为立方晶体结构。为了说明晶格点阵的配置和确定晶面的位置，通常引进一组对称轴，称为晶轴，用X、Y教师教学笔记教学内容摘要补充资料Z表示。

对于同一单晶，不同晶面上原子的分布不同。各镜面上的原子密度不同，所表现出的性质也不相同。单晶硅是各向异性材料，取向不同，则压阻效应不同。硅压阻传感器的芯片，就是选择压阻效应最大的晶向来布置电阻条。同时利用硅晶体各向异性、腐蚀速率不同的特性，采用腐蚀工艺来制造硅杯形的压阻芯片。2.5、结构与设计压阻式压力传感器常采用一种周边固定圆形杯膜片结构的扩散型压阻芯片。教师教学笔记教学内容摘要补充资料例：压阻式加速度传感器悬臂梁应力分析如下：教师教学笔记教学内容摘要补充资料3、压电

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