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文档简介
质驱动件沿Z轴方向移动指定高度,以使载物台所面位于水平面上,能够提高调平效率和调节精2获取所述待测物上间隔分布的至少两个待测点控制所述物镜对每个所述待测点分别进行调焦,获得每个所述控制任一驱动件沿Z轴方向移动指定高度,以使所述载物台所在的平面偏移至第一平根据每个所述待测点的初始Z轴坐标和第一Z轴坐标之间的距离,计根据所述偏离参数、所述第一焦点坐标以及预设调平系数,计算控制所述驱动件驱动所述载物台在Z轴方向上移动直至每个所述待测点位于目标坐标所述实际工作距离为每个所述待测点的初始Z轴坐标与其对应的第一焦点坐标之间的距根据所述第一待测点、所述第二待测点的偏离参数、所述第一待根据所述第一待测点、所述第二待测点的偏离参数、所述第二待根据所述第三待测点、所述第四待测点的偏离参数、所述第三待根据所述第三待测点、所述第四待测点的偏离参数、所述第四待通过以下公式计算得到每个所述待测点对应的所述物镜的运xp235.如权利要求1至4任一项所述的载物台自动驱动所述载物台在Z轴方向上移动直至每个所述待测点位于目标坐标处之后,所述方法还控制所述物镜依次移动至每个所述待测点对应的运算焦点坐标,若任一待测点对应的第二焦点坐标与运算焦点坐标的差值超过述获取所述待测物上间隔分布的至少两个待测点的初始Z轴坐标的步骤,直至每个所述待测点对应的第二焦点坐标与运算焦点坐标的差值未超过所述预根据所述清晰样品点、所述模糊样品点和所述错误样品点的数量若所述目标图像的清晰度评分大于或等于评分阈值,确定所述若所述目标图像的清晰度评分小于所述评分阈值,控制所述第一调焦单元,用于控制所述物镜对每个所述待测点分别进偏离计算单元,用于根据每个所述待测点的初始Z轴坐标和第一Z轴坐标之间的距离,所述驱动单元,还用于控制所述驱动件驱动所述载物台在Z轴方向上移动直至每个所的距离为实际工作距离,所述实际工作距离为每个所述待测点的初始Z轴坐标与其对应的4第二调焦单元,用于在所述驱动单元控制所述驱动件驱动所述载物台在Z轴方向上移始Z轴坐标的操作,直至每个所述待测点对应的第二焦点坐标与运算焦点坐标的差值未超5[0001]本发明属于光学成像检测技术领域,具体涉及一种载物台自动调平方法及装置、[0009]控制任一驱动件沿Z轴方向移动指定高度,以使所述载物台所在的平面偏移至第[0013]控制所述驱动件驱动所述载物台在Z轴方向上移动直至每个所述待测点位于目标距离,所述实际工作距离为每个所述待测点的初始Z轴坐标与其对应的第一焦点坐标之间6[0015]第一定位单元,用于获取所述待测物上间隔分布的至少两个待测点的初始Z轴坐[0021]所述驱动单元,还用于控制所述驱动件驱动所述载物台在Z轴方向上移动直至每之间的距离为实际工作距离,所述实际工作距离为每个所述待测点的初始Z轴坐标与其对通过获取待测物上间隔分布的至少两个待测点的初始Z轴坐标;同时控制物镜对每个待测件驱动载物台在Z轴方向上移动直至每个待测点位于目标坐标处,从而可以自动对载物台7件,它可以是直接安装在另一个元件,也可以是同时存在居中元件。当一个元件被认为是8底端分别固定于XY移动平台14的顶部,而所有驱动件的顶端分别与载物台2的底部活动连在其它一些可能的实施例中,三个驱动件之间的位置也可以呈以不等边三角形的形状分动槽35上两端的宽度中点36所在的线定义为待测线37,从每条待测线37上选取两个待测[0051]步骤S20亦可以是在载物台所在的初始平面上操作的。因此步骤S20与步骤S10不91分别取自0_20的数值。[0071]S206、判断目标图像的清晰度评分是否大于或等于评分阈值;若是,执行步骤[0083]由于驱动件之间间隔分布,控制其中任意一个驱动件沿Z轴方向移动指定高度的别直接将该距离定义为各个待测点的偏离参数,或者也可以将该距离与指定系数的乘积/i代表第i个待测点对应的第一焦点坐标,F'i代表第i个待测点对应的运算焦点。各个待测点的目标坐标,该目标坐标视为因调平载物台各个待测点所需移至的位置坐标。[0112]S92、判断所有待测点对应的第二焦点坐标与运算焦点坐标的差值是否均未超过每个待测点对应的第二焦点坐标与运算焦点坐标的差值未超过个驱动件,驱动件用于驱动载物台在Z轴方向上的移动;自动调平装置包括第一定位单元[0119]第一定位单元501,用于获取待测物上间隔分布的至少两个待测点的初始Z轴坐[0123]偏离计算单元505,用于根据每个待测点的初始Z轴坐标和第一Z轴坐标之间的距实际工作距离,实际工作距离为每个待测点的初始Z轴坐标与其对应的第一焦点坐标之间[0133]第二调焦单元507,用于在驱动单元503控制驱动件驱动载物台在Z轴方向上移动[0134]判定单元508,用于在所有待测点对应的第二焦点坐标与运算焦点坐标的差值均运算焦点坐标的差值超过预设允差时,触发第一定位单元501执行获取待测物上间隔分布的至少两个待测点的初始Z轴坐标的操作,直至每个待测点对应的第二焦点坐标与运算焦机程序使得计算机执
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