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文档简介

EPMA测试参数及测试标准流程何为EPMAElectronProbeMicroAnalyzer（电子探针微区分析仪器）使用电子束产生特征X射线，通过分析X射线对样品定性定量。通过调节电子束的电压，电流，直径和单位点扫描时间来控制测试结果。工作原理-通过入射电子与产生信号一次电子一次电子背散射电子检测器①背散射电子(BackScatteredElectron)X射线检测器④特征X射线⑤光子二次电子检测器③二次电子④特征X射线⑤光子二次电子检测器③二次电子(SecondaryElectron)②吸收电子(AbsorbedElectron)采用二次电子成像，类似SEM采用X射线成像采用X射线成像X射线强度与照射束流值之间的关系Max：3299countsCuLa1,2Max：332counts可见扫描时间和Count成正比。实测中兼顾效率和精度，选择15ms。X射线强度与积分时间之间的关系Max：Max：33counts0.01secMax：3289countsMax：332countsCuLa1,20.1sec可见扫描时间和Count成正比。实测中兼顾效率和精度，选择15ms，扫描10um直径单颗粒单元素需要约20min。加速电压大小和之间的关系加速电压0KeV→→→→→→→分辨率低高荷电少多污染大小干扰大小画质Soft二次电子信号多少X射线信号少多条件确定：标准测试流程：面截面面截面表面截面表面截面表面截面表面截面表三材料各元素实测对比---线扫

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