CN119422236A 图案匹配方法 （塔斯米特株式会社）

2024.12.25PCT/JP2023/0224492023.06.16WO2024/004718JA2024.01.04图案匹配方法根据设计数据计算多个检查区域(A1～A10)内的各个图案密度，根据该数值扫描电子显微镜(1)生成多个检查区域的各自的根据图案匹配的结果，计算与多个检查区域(A1区域(A1～A10)分割为与多个密度组(PG1～PG3)2通过扫描电子显微镜生成所述多个检查区域根据与属于各区域组的检查区域对应的图像偏移量，计算与所述生成表示所述多个密度组与所述多个修正量的相关检查对象工件上的目标检查区域的图案密度根据所述目标检查区域内的图案的设计从所述多个密度组中选择所述目标检查区域的图案使用所述修正后的匹配探索距离，执行所述目标检查区域的图像上的图案与对应的修正所述匹配探索距离的工序是通过将与所述选择的密度组对应的修正量与基准探计算与所述多个区域组分别对应的所述多个修正量的通过扫描电子显微镜生成所述多个检查区域根据所述图案匹配的结果，计算与所述多个检查区域分别对应的多个X方向图像偏移根据与属于各区域组的检查区域对应的X方向图像偏移量，计算与所述多个区域组分3根据与属于各区域组的检查区域对应的Y方向图像偏移量，计算与所述多个区域组分生成表示所述多个密度组与所述多个X方向修正量的相关关系的生成表示所述多个密度组与所述多个Y方向修正量的相关关系的检查对象工件上的目标检查区域的图案密度根据所述目标检查区域内的图案的设计从所述多个密度组中选择所述目标检查区域的图案使支承所述检查对象工件的扫描电子显微镜的工件台向X方向移动所述决定的X方向通过所述扫描电子显微镜生成位置被修正后的所述工件台上的所述检查对象工件的执行所述目标检查区域的图像上的图案与对应的CAD通过针对各区域组计算作为所述X方向图像偏移量的平均值和3σ的合计的X方向修正通过针对各区域组计算作为所述Y方向图像偏移量的平均值和3σ的合计的Y方向修正4[0001]本发明涉及一种进行在晶片或玻璃基板等的工件的图像上的图案与根据图案的设计数据制作的CAD图案的图案匹配的方法，特别涉及一种降低起因于工件表面的带电的SEM图像上的图案502匹配时的偏差量求出SEM图像的偏移量，在下一个图像生成时通过使[0005]在存储器单元内等的高密度且简单的图案中，由于工件5域的图案密度所属的密度组，使用与所述选择的密度组对应的修正量来修正匹配探索距来执行所述目标检查区域的图像上的图案与对应的CAD图的工序：计算与属于各区域组的检查区域对应的图像偏移量的平均值和3σ,针对各区域组属于各区域组的检查区域对应的Y方向图像偏移量，计算与所述多个区域组分别对应的多个Y方向修正量，生成表示所述多个密度组与所述多个X方向修正量的相关关系的X方向相6域的图案密度所属的密度组，决定与所述选择的密度组对应的X方向修正量和Y方向修正描电子显微镜生成位置被修正后的所述工件台上的所述检查对象工件的所述目标检查区[0014]在一个方式中，计算与所述多个区域组分别对应的所述多个X方向修正量的工序在一个方式中，计算与所述多个区域组分别对应的所述多个Y方向修正量的工序[0015]根据从图案的设计数据得到的目标检查区域的图案密度与起因于带电的SEM图像图4是表示多个检查区域和与这些检查区域分别对应的图像偏移量的一例的图图7是用于说明使用匹配探索距离的修正量来执行图案匹配的一个实施方式的流图9是用于说明使用工件台的X方向修正量和Y方向修正量来执行图案匹配的一个7程序中包含的命令执行运算的运算装置5b。存储装置5a具备随机存取存储器(RAM)等主存过因特网或局域网等的通信网络连接到扫描电子显微镜1的云服务器，或者可以是设置在[0022]载物台移动装置35构成为使工件台31向与工件W的表面平行的方向移动。更具体[0024]处理系统5根据工件W上的图案的设计数据来计算多个检查区域内的各自的图案为检查区域内的图案的总面积相对于检查区域的总8[0026]处理系统5根据该数值将多个检查区域的多个图案密度分割成多个密度组。在本割为小于第1阈值的第1密度组、介于第1阈值与第2阈值之间的第2密度组(第1阈值<第2阈处理系统5执行各图像上的图案与对应的CAD图案的图案匹配。CAD图案是根据在工件W的图案面上形成的图案的设计数据中包含的图案设计信息而由处理系统5生成的虚[0029]处理系统5根据图案匹配的结果，计算与多个检查区域分别对应的多个图像偏移为矢量的X分量的X方向的偏移量和作为矢量的Y分量的Y方向的偏移量的平方和的平方根[0030]图4是表示多个检查区域和与这些检查区域分别对应的图像偏移量的一例的图[0031]图5是将图3所示的图案密度的图表和图4所示的图像偏移量的图表重合的图表。[0032]处理系统5根据与属于各区域组的检查区域对应的图像偏移量，计算与多个区域符号σ表示标准偏差。9处理系统5根据目标检查区域内的图案的设计数据，计算检查对象工件上的目标检查区域的图案密度。目标检查区域内的图案的设计数据预先存储在处理系统5的存储装C2、C3的相关关系的相关数据而使用的上述工件W的图案面相同结构的图案面的工件。例有浇口结构。工件W和检查对象工件具有相同的表面结构和相同的表面材料。在本说明书[0038]匹配探索距离是距离根据目标检查区域内的图案的设计数据生成的CAD图案的边[0039]在一个实施方式中，处理系统5通过将与所选择的密度组对应的修正量与基准探[0040]处理系统5通过扫描电子显微镜1生成目标检查区域的图像，从扫描电子显微镜1在步骤103中，处理系统5将在上述步骤102中计算出的多个图案密度根据其数值分割成多个密度组。具体而言，处理系统5使用多个阈值将多个图案密度分割为多个密度在步骤105中，处理系统5执行多个检查区域的各图像上的图案与对应的CAD图案[0043]在步骤107中，处理系统5将多个检查区域分割为与在上述步骤103中设定的多个移量的平均值和3σ,针对各区域组计算作[0044]图7是用于说明使用匹配探索距离的修正量来执行图案匹配的一个实施方式的流件W的图案面相同结构的图案面的检查对象工件上的目标检查区域的在步骤202中，处理系统5从在上述步骤103中决定的多个密度组中选择目标检查[0045]在步骤203中，处理系统5使用与在步骤202中选择的密度组对应的修正量来修正匹配探索距离。根据在上述步骤109中生成的相关数据唯一地决定与所选择的密度组对应通过修正图1所示的工件台31的位置来代替修正匹配探索距离，使目标检查区域的图像偏在步骤307中，处理系统5将多个检查区域分割为与在步骤303中设定的多个密度[0048]在步骤308中，处理系统5根据与属于各区域组的检查区域对应的X方向图像偏移内的X方向图像偏移量的平均值和3σ,针对各区域组计算作为X方向图像偏偏移量也可以是沿着检查区域的排列方向的X方向图[0049]在步骤309中，处理系统5根据与属于各区域组的检查区域对应的Y方向图像偏移内的Y方向图像偏移量的平均值和3σ,针对各区域组计算作为Y方向图像偏移量的平均值和偏移量也可以是沿着检查区域的排列方向的Y方向图像偏移[0051]图9是用于说明使用工件台31的X方向修正量和Y方向修正量来执行图案匹配的一件W的图案面相同结构的图案面的检查对象工件上的目标检查区域的在步骤402中，处理系统5从在上述步骤303中决定的多个密度组中选择目标检查成位置被修正后的工件台31上的检查对象工在步骤406中，处理系统5执行目标检查区域的图像上的图案与对应的CAD图案的[0054]参照图6和图7的流程图说明的实施方式和参照图8和图9的流程图说明的实施方[0055]上述实施方式是以具有本发明所属的技术领域的通常知识的人能够实施本发明