CN119422297A 用于控制光源冷启动条件的装置和方法 （西默有限公司）

2024.12.20PCT/US2023/0280942023.07.19WO2024/035528EN2024.02.15提供了一种用于优化具有一个或多个腔室装置在空闲时间段后重新启动具有一个或多个重新启动激光器之前的空闲时间段的持续时间)来确定是否应执行冷启动调节或应执行何种类21.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，在所述最近的空闲时间段之前，至少部分地基于所述激光室的至少部分地基于所述最近的空闲时间段的持续时间是否超过所述空闲持续时间触发2.根据权利要求1所述的方法，其中至少部分地基于所述发射计数来确定空闲持续时4.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，进行所述腔室的发射计数是否小于第一预定发射计数的腔室年龄如果所述腔室年龄确定是否定的，则通过记录较早的空闲时持续时间和所述光束能量来设置所述空闲持续时间如果所述光束能量确定是否定的，则基于所述腔室的发触发阈值，则将所述空闲持续时间触发阈值设置为等于所述可调空闲持续时间触发阈值；至少部分地基于所述最近的空闲时间段的所述持续时间是否超过所述空闲持续时间5.根据权利要求4所述的方法，其中进行光束能量确定还包括修改所述可调空闲持续7.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的方法，对所述腔室的年龄是否小于预定年龄以及所述最近的空闲时间段的持续时间是否超如果所述第一次确定是否定的，则进行对所述最近的如果所述第二次确定是否定的，则进行对所述腔室的38.根据权利要求7所述的方法，其中如果所述最近的空闲时间段的持续时间超过空闲9.根据权利要求7所述的方法，其中如果所述最近的空闲时间段的持续时间超过空闲11.一种用于确定在空闲时间段后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的系统，所空闲时间段持续时间监测器，适于监测并记控制器，响应地连接到所述发射计数监测器、所述空闲时间13.根据权利要求11所述的系统，其中所述控制器适于通过比较所述空闲时间段持续14.根据权利要求13所述的系统，其中所述控制器适于通过进行所述腔室的发射计数15.根据权利要求13所述的系统，其中所述控制器适于通过进行光束能量确定来确定所述空闲持续时间触发阈值，所述光束能量确定通过记录较早的空闲时间段的持续时间、评估在来自所述较早的空闲时间段的冷启动之后离开所述激光器的激光束的能量来进行，和所述光束能量来设置所述空闲持续时间触16.根据权利要求13所述的系统，其中所述控制器适于通过基于所述腔室的发射计数45[0002]本申请要求于2022年8月11日提交的美国申请63对所有预期实施例的详尽概述。它并非旨在将实施例的任何元素标识为关键或关键元素，的空闲时间段的持续时间是否超过空闲持续时间触发阈值来确定是否在最近的空闲时间[0007]至少部分地基于发射计数来确定空闲持续时间触发阈值可以包括至少部分地基于发射计数和在较早空闲时间段之后由激光器发射的光束的测量能量来确定空闲持续时6阈值，并且较早的空闲时间段期间离开激光器的激光束的能量是否小于光束能量触发阈还可以包括将空闲持续时间触发阈值设置为等于最近的空闲时[0016]控制器可适于通过比较空闲时间段持续时间和空闲持续时间触发阈值来确定是[0017]控制器可以适于通过根据腔室年龄确定腔室的发射计数是否小于第一预定发射将空闲持续时间触发阈值设置为默认空闲持续时7的空闲时间段的冷启动之后离开激光器的激光束的能量，并且如果光束能量超过阈则至少部分地基于较早的空闲时间段的持续时间和光束能量来设置空闲持续时间触发阈[0020]下面将参考附图详细描述实施例的进一步特征和示例性方面以及各种实施例的步解释了这些实施例的原理并且使得相关领域的技术人员能够制造1B示出了在时间t2的光源100。图1C示出了在时间t3的光源100。时间t1发生在第一时间段[0034]光源100包括光产生装置110和控制系统150，控制系统150估计激励信号109的性8[0035]当光产生装置110处于活动状态时，激励信号109施加到光产生装置110或光产生时间段)期间施加到光产生装置110的激励信号109的属性值来估计在第三时间段期间施加[0037]通过使用空闲时间的持续时间和第一时间段内的属性值来确定激励信号109的属统150减少或消除了冷启动调节程序(也称为冷启动调节程序)的不必要执行，同时还有助号109是施加到光产生装置110中的电极的电压信号的实现中，随着光产生装置110的能量统150提高了对激励信号109的特性的估9t1)和第三时间段(包括时间t3)期间处于活动状态命令信号使附加元件(例如，电压或电流源)产生提供209可以是随时间变化的直流(DC)电信号或交流(AC)电信号，例如正弦波电压信号或方波励信号209的属性的较早或更早的空闲时间和较早或更早的值来估计激励信号209的属性。两者接收指令和数据。电子处理模块251的电子处理器执行指令并访问存储在存储器模块的信息以及与在最近的空闲时间之前的一个或多个时间段期间施加到光产生装置210的激[0047]I/O接口253是允许控制系统250与操作员、光产生装置210和/或在另一个电子设产生装置210可以通过I/O接口253向控制系统250提供空闲时间的持续时间和有关光产生[0049]在图2A图2C的示例中，控制系统250被示为与光产生装置210分离并且经由数据[0055]刚刚描述的控制方法在机器可用性(激发非操作计数时不可用性)和机器可靠性辑可能只需要确定空闲时间段的持续时间是否超过预定的触发持续时间。这里应该注意，然后评估冷启动激光能量输出的幅度。然后确定(1)冷启动激光能量输出的幅度是否小于的空闲时间段270处，基于在时间段A中确定的触发阈值水平和空闲时间段270的实际持续稍后，控制系统将分析与空闲时间段有关的数据定参数是否需要更新的空闲时间段和将应用参数来确定是否执行冷启动调节的空闲时间[0076]空闲时间段的持续时间是光产生装置处于空闲或非活动状态的连续时间段的长[0078]图3A图3D是用于控制冷启动调节的过程300的流程图。过程300可以由与光产生装置相关联的控制系统执行。例如，过程300可以由控制系统150(图1)或控制系统250(图2A图2C)执行。参考图2A图2C，过程300可以实现为存储在存储器模块252中的指令集合(例如，计算机程序或计算机软件)，并由电子处理模块251中的一个或多个电子处理器执[0084]如果分支BR2的执行实质上不表示在空闲触发量处存在冷启动条件，则执行分支确定空闲持续时间阈值触发器T空闲(触发)是否小于预定空闲触发调整SCHED。T空闲(触发)常取决于假定成熟腔室的意外冷启动事件的数目。发生相对较少的此类事件将需要对射，则可以根据上述参数(例如发射计数和光束能量方面的腔室年龄)调整无效发射的数空闲时间段持续时间监测器430和光束能量监测器440的信号。发射计数监测器420是例如被提供给光刻曝光设备669。光源610可以是例如输出脉冲光束605(可以是激光束)的准分在这个示例中，控制系统250可以从光刻曝光设备669接收与脉冲光束605相关的数据或其大器630提供种子光束624。主振荡器631和功率放大器630可被视为光源610的子系统或作[0092]主振荡器631还包括接收来自输出耦合器618的输出光束的线中心分析模块620和分析模块620是可用于测量或监测种子光束624的波长的测量系统。线中心分析模块620可[0093]放电室614中使用的气体混合物可以是任何适合产生应用所需波长和带宽的光束[0094]功率放大器630包括光束耦合光学系统632，该光束耦合光学系统632接收来自主脉冲光束605的重复率由将电压609施加到电极611A的速率决定，每次施加电压609都会产过时间段性地重复将电压609施加到电极611A会产生一串脉冲。脉冲的重复率可以在约高[0098]来自控制系统250的信号还可用于分别控制主振荡器631和功率放大器630内的电其产生提供给扫描仪装置780的曝光光束705。扫描仪装置780利用曝光光束705曝光晶片源系统710中的其他N_1个光学振荡器包括[0102]光学振荡器740_1包括放电室715_1，其包围阴极711_1a和阳极711_1b。放电室712_1中形成电场。电位差可以通过控制耦合到控制系统250的电压源797以向阴极711_1a和/或阳极711_1b施加电压709来产生。电场向增益介质712_1提供足以引起粒子数反转并冲光束704_1中的脉冲持续时间由施加到电极711_1a和711_1b的电压709的持续时间决定。脉冲的重复率可以介于例如约500Hz和6000Hz之间。在一些实施方案中，重复率可以大于[0103]气态增益介质712_1可以是任何适合产生应用所需的波长、能量和带宽的光束的[0104]谐振器形成在放电室715_1一侧的线变窄模块716_1与放电室715_1第二侧的输出[0105]光学振荡器740_1还包括线中心分析模块720_1，其接收来自输出耦合器718_1的分析模块720_1可向控制系统250提供数据，并且控制系统250可基于来自线中心分析模块[0106]光源系统710还包括气体供应系统790，其通过流体导管789流体耦合到放电室的气体供应。气体供应系统790还包括使气体供应系统790能够从放电室715_1中移除气体[0107]其它N_1个光学振荡器与光学振荡器740_1类似，具有类似或相同的组件和子系振荡器740_1至740_N可以调整或配置为使得至少一些光学振荡器具有至少一些与其他光704_1至704_N的中心波长可以不同。可以使用各自的线窄化模块来设置光学振荡器740_1源797可以实现为包括N个单独电压源的电压系统，每个电压源电连接到光学振荡器740_1704_1至704_N中的哪些入射到光束组合器788上。光束组合器788从入射到光束组合器788曝光光束705'的图像的相机或其他设备，或能够捕获描述晶片770在xy平面上的光能量的求。发明内容和摘要部分可能列出发明人设想的一个或多个但不是全部的示例性实施例，[0119]1.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的[0121]至少部分地基于所述最近的空闲时间段的持续时间是否超过所述空闲持续时间触发阈值来确定是否在所述最近的空闲时间段之后执行[0122]2.根据条款1所述的方法，其中至少[0124]4.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的所述持续时间和所述光束能量来设置所述空闲持续时间[0128]至少部分地基于所述最近的空闲时间段的所述持续时间是否超过所述空闲持续[0129]5.根据条款4所述的方法，其中进[0131]7.一种确定在最近的空闲时间段之后重新启动激光器时是否执行冷启动调节的[0132]对所述腔室的年龄是否小于预定年龄以及所述最近的空闲时间段的持续时间是否超过默认空闲持续时间触发阈值进行第一次确定，并且如果所述第一次确定是肯定的，束的能量是否小于光束能量触发阈值的第二次确定，并且如果所述第二次确定是肯定的，[0135]8.根据条款7所述的方法，其中[0136]9.根据条款7所述的方法，其[0138]11.一种用于确定在空闲时间段后重新启动