CN119433434A 一种掩膜组件、蒸镀设备和蒸镀方法 （季华实验室）

202310335049.12023.03.30件包括至少一个掩膜框和设置在所述掩膜框的位于所述掩膜边框围绕区域内的至少一个支撑2所述掩膜框包括掩膜边框和位于所述掩膜边框围绕区域内的至少一个所述垫片结构与所述目标基板设置区外的所述掩膜所述掩膜片的边缘固定在所述沟槽内，且所述支撑平台的承载面与所同一掩膜框上的相邻列掩膜片的边缘之间的距离小于该相邻列掩膜片列序号之间的3同一掩膜框上的相邻列掩膜片的边缘之间的距离小于该相邻列掩膜片列序号之间的16.根据权利要求15所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括目标基板设置4性能正在取代LCD(LiquidCrystalDisplay，液晶显示器)。OLED器件的制造用的蒸镀机[0004]而制作大尺寸OLED器件需要大尺寸基板，尺寸越大，生产效率也越高或者制作[0010]在一些实施例中，同一所述掩膜框的相邻两列所述掩膜片的5[0027]同一掩膜框上的相邻列掩膜片的边缘之间的距离小于该相邻列掩膜片列序号之6[0058]图23为本公开实施例提供的采用图21所示掩膜组件中左侧掩膜板在第一次蒸镀[0059]图24为本公开实施例提供的采用图21所示掩膜组件中右侧掩膜板在第二次蒸镀7于蒸镀形成蒸镀图案(蒸镀图案包括图1中右侧的多到最左边的掩膜片12沿长度方向的左侧边缘设置在掩膜边框111上，右侧边缘设置在支撑二掩膜片12b的四个边缘均设置在第二掩膜边框111b或者第二支撑梁112b上，为第二掩膜8于支撑梁112的延伸方向，同一掩膜框的相邻两列掩膜片12延伸方向的边缘有一部分与支[0079]在一些实施例中，如图4所示，掩膜片12的边缘固定在支撑梁112和/或掩膜边框9过大，则掩膜片有可能存在掩膜片的延伸方向的边缘无法与支撑梁的延伸方向的边缘接膜片12b的边缘与第二支撑梁113b重叠的部分向下弯折进入第二沟槽113b，并将其在第二中的第二掩膜框放置方式与第一掩膜框相同，同一掩膜框的相邻两列第二掩膜片12b间隙[0120]同一掩膜框上的相邻列掩膜片的边缘之间的距离小于该相邻列掩膜片列序号之[0126]同一掩膜框上的相邻列掩膜片的边缘之间的距离小于该相邻列掩膜片列序号之[0128]本公开实施例提供掩膜组件包括多列掩膜片12(图21示例性地设置7列)以及2个[0130]同一掩膜框上的相邻列掩膜片的边缘之间的距离小于该相邻列掩膜片列序号之列掩膜片的右边缘和第3列掩膜片的左边缘之间的距离为A1。第1掩膜框上的第1列掩膜片[0132]由于同一掩膜框上的相邻列掩膜片的边缘之间的距离小于该相邻列掩膜片列序[0133]如图21，采用第1掩膜板蒸镀时第1列掩膜片的右边缘与采用第2掩膜板蒸镀时的第2列掩膜片左边缘设置位置可以具有交叠区域X1，采用第1掩膜板蒸镀时第3列掩膜片的膜片的有效蒸镀区蒸镀的图形右边缘与第3列掩膜片的有效蒸镀区蒸镀的图形左边缘之间膜组件蒸镀制备OLED显示面板时，形成的类似图22中的阵列排布的多个蒸镀单元图形(图22示例性地展示4行6列共24个蒸镀单元图形)。每个蒸镀单元图形对应一个OLED显示面板(记为第1掩膜板)和图22中右侧掩膜板(记为第2掩膜板)对目标基板进行蒸镀，由于第1掩片的右边缘与采用第2掩膜板蒸镀时的第2列掩膜片左边缘设置位置可以具有交叠区域X1，采用第1掩膜板蒸镀时第3列掩膜片的左边缘与采用第2掩膜板蒸镀时的第2列掩膜片右边第2列掩膜片的有效蒸镀区蒸镀的图形右边缘与第3列掩膜片的有效蒸镀区蒸镀的图形左同一掩膜框上的相邻列掩膜片的边缘之间的距离小于该相邻列掩膜片列序号之间的其它用图26所示掩膜组件的第1掩膜板蒸镀后形成的蒸镀图案。图28为采用图26所示掩膜组件蒸发区中一一对应采用掩膜组件的多个掩膜板对目标基二R蒸发区102b，第一G蒸发区103a，第二G蒸发区103b，第一B蒸发区104a，第二B蒸发区位置称为第二位置，蒸发源与掩膜板的相对移动速度在第一位置处应当小于第二位置处。[0166]以上所述仅是本公开的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本公