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实验验证报告圆度、圆柱度测量仪校准二O二三年十一月圆度、圆柱度测量仪校准实验验证报告一、实验目的圆度测量仪(以下简称圆度仪)是以精密回转轴为基准测量圆度的精密测量仪器。测量时,以轴系回转轴线作为径向基准,位移传感器在被测件固定截面位置作相对圆周运动,并测得实际截面轮廓的相对半径变化值,通过评定得到圆度误差。圆度仪常用于内、外圆柱体、圆锥体和球体等的截面圆度测量。圆柱度测量仪(以下简称圆柱度仪)是以精密回转轴和直线运动导轨为基准测量圆度、圆柱度的精密测量仪器。测量时,以轴系回转轴线作为径向基准,竖直轴运动导轨作为轴向基准,位移传感器在被测件多个截面位置作相对圆周运动(或沿整个圆柱面作螺旋线运动),并测得实际圆柱轮廓的相对半径变化值,通过评定得到圆度、圆柱度误差。圆度柱仪常用于内、外圆柱体、圆锥体和球体等的圆度、圆柱度、同轴度和跳动等测量。规范制定小组在参考相关的技术标准和各生产厂圆度、圆柱度仪技术说明书的基础上,为了确认本规范的计量性能指标和校准方法是否合理,针对校准规范上确定的计量特性及校准项目,对圆度、圆柱度仪的校准项目和校准方法进行实验。以下实验是在确定没有影响计量特性因素的基础上进行的。二、实验结果(见下一页)表1圆度、圆柱度仪的实验验证(实验1)仪器名称圆度、圆柱度仪实验条件温度:19.7℃相对湿度:34%型号规格Talyrond365实验时间2023.02.10仪器编号TR365-570实验地点郑州实验设备标准半球,圆度:0.01μm;标准圆柱,圆柱度1μm/500mm,直线度0.3μm/500mm;定标块弦高值11.6μm和294μm。序号校准项目校准结果计量特性要求备注1径向误差0.03μm(测量高度H≈38mm)0.04μm圆度仪、圆柱度仪2轴向误差0.03μm0.04μm圆度仪、圆柱度仪3竖直轴导轨运动的直线度0.10µm/500mm(分离法)0.3μm/500mm圆柱度仪4竖直轴导轨运行方向与回转轴线的平行度0.12µm/500mm(分离法)1.0μm/500mm圆柱度仪5示值误差+0.3µm/圆度仪-0.2µm/圆柱度仪6重复性0.06µm/圆度仪0.1µm/圆柱度仪7稳定性//圆柱度仪表2圆度、圆柱度仪的实验验证(实验2)仪器名称圆度、圆柱度仪实验条件温度:19.5℃相对湿度:36%型号规格Talyrond565实验时间2023.02.01仪器编号0033实验地点天津实验设备标准半球,圆度:0.01μm;标准圆柱,圆柱度1μm/500mm,直线度0.3μm/500mm;定标块弦高值11.6μm和294μm。序号校准项目校准结果计量特性要求备注1径向误差0.03(测量高度H≈38mm)0.03μm圆度仪、圆柱度仪2轴向误差/0.02μm圆度仪、圆柱度仪3竖直轴导轨运动的直线度0.14µm/500mm(分离法)0.3μm/500mm圆柱度仪4竖直轴导轨运行方向与回转轴线的平行度0.10µm/500mm(分离法)0.75μm/500mm圆柱度仪5示值误差+0.4µm/圆度仪+0.3µm/圆柱度仪6重复性0.06µm/圆度仪0.1µm/圆柱度仪7稳定性//圆柱度仪表3圆度、圆柱度仪的实验验证(实验3)仪器名称圆度、圆柱度仪实验条件温度:21℃相对湿度:40%型号规格TR585HS实验时间2023.11.15仪器编号实验地点上海实验设备标准半球,圆度:0.02μm;标准圆柱,圆柱度1μm/300mm,直线度0.23μm/260mm,母线平行度<0.5μm/300mm;定标块弦高值17.97μm。序号校准项目校准结果计量特性要求备注1径向误差/μm0.06μm,0.05μm,0.06μm0.05μm圆度仪、圆柱度仪2轴向误差/μm0.03μm,0.03μm,0.02μm0.03μm圆度仪、圆柱度仪3竖直轴导轨运动的直线度0.29μm,0.27μm,0.29μm0.3μm/300mm圆柱度仪4竖直轴导轨运行方向与回转轴线的平行度0.15μm,0.32μm,0.48μm0.5μm/300mm圆柱度仪5示值误差﹣0.16μm(17.81μm,17.86μm,17.84μm)/圆度仪//圆柱度仪6重复性0.05μm(17.81μm,17.86μm,17.84μm,17.81μm,17.83μm,17.82μm,17.85μm,17.85μm,17.84μm,17.83μm)/圆度仪//圆柱度仪7稳定性//圆柱度仪表4圆度、圆柱度仪的实验验证(实验4)仪器名称圆度、圆柱度仪实验条件温度:22℃相对湿度:55%型号规格TR585H实验时间2023.11.14仪器编号实验地点上海实验设备标准半球,圆度:0.02μm;标准圆柱,圆柱度1μm/300mm,直线度0.23μm/260mm,母线平行度<0.5μm/300mm;定标块弦高值17.97μm。序号校准项目校准结果计量特性要求备注1径向误差/μm0.034μm,0.037μm,0.039μm0.05μm圆度仪、圆柱度仪2轴向误差/μm0.029μm,0.030μm,0.032μm0.03μm圆度仪、圆柱度仪3竖直轴导轨运动的直线度0.396μm,0.398μm,0.395μm0.3μm/300mm圆柱度仪4竖直轴导轨运行方向与回转轴线的平行度0.109μm,0.104μm,0.113μm0.5μm/300mm圆柱度仪5示值误差﹣0.10μm(17.892μm,17.870μm,17.870μm)/圆度仪//圆柱度仪6重复性0.02μm(17.89μm,17.87μm,17.87μm,17.87μm,17.88μm,17.87μm,17.88μm,17.87μm,17.87μm,17.88μm)/圆度仪//圆柱度仪7稳定性//圆柱度仪三、测量重复性实验1)圆度仪,型号规格:Talyrond565仪器编号:0033制造商:TaylorHobson表5圆度仪的测量重复性测量次数12345圆度测量值/μm11.5711.6011.5811.5911.54重复性/μm0.06(极差值)2)圆柱度仪,型号规格:Talyrond565仪器编号:0033制造商:Ta

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