工艺废气处理简介

有机健康照明,成就生活之美!型光科技有限公司1AllRightsReserved20161一、工艺废气处理的概念二、工艺废气处理系统的分类三、工艺废气处理系统的处理原理四、工艺废气处理系统的主要设备介绍五、关于黄烟和白雾2AllRightsReserved20162一、工艺废气处理的概念首先，在半导体或光电产业制造生产过程中，使用了大量的易燃溶剂、气体及化学品，这些化学物质大多对人体是有害的，甚至多种化学物质发生化学反应之后，会产生令人不可预期的化学物质，而存在这些化学物质的空气，便为有害的工艺废气。其次，同样于生产制程中，机台本身并无上述化学品的使用，但仍可能产生高温、水气、粉尘等会影响制程洁净环境的物质，这类则可称为无害性工艺废气。将上述的制程废气收集、处理、排放的过程，称为工艺废气处理。3AllRightsReserved20163二、工艺废气处理系统的分类1.一般排气系统（PGEX）利用排气风机将制程中所产生的一般排气高温排气、湿排，经由一般排气风管系统收集直接排放至大气中。2.酸排气（SEX）/碱排气（AEX）利用防腐蚀排气风机将制程中所产生的酸、碱性及有毒气体，经由耐腐蚀排气风管系统收集，输送至空气洗涤塔处理到符合环保排放标准后排放至大气中。4AllRightsReserved20164二、工艺废气处理系统的分类3.有机排气（VEX）利用防腐防爆风机将制程中所产生的有机废气，经由防爆风管系统收集，输送至活性炭吸附塔或RTO燃烧炉处理至符合环保排放标准后排放至大气中。4.粉尘排气（CVD）化学气相沉积工艺(CVD)中过程中所产生SiO2粉尘和Nox废气，经由防爆风管系统收集，输送至集尘器和废气洗涤塔处理至符合环保排放标准后排放至大气中。5AllRightsReserved20165三、工艺废气处理系统的处理原理1.酸排气（SEX）/碱排气（AEX）酸碱排气的处理原理主要为酸碱中和反应：NaOH+HCl=NaCl+H₂O2NaOH+H₂SO₄=Na₂SO₄+2H₂ONaOH+HNO₃=NaNO₃+H₂O若酸性废气中含有Nox，则其处理原理为氧化还原反应,详细处理过程详见下页6AllRightsReserved20166三、工艺废气处理系统的处理原理第一级：添加药剂为H2SO4+NaClO2（CELL/CF栋酸排气中不含NO，此级省去）主要处理NO2NO+NaClO2→2NO2+NaCl第二级：添加药剂为NaOH+NaHS主要处理NO2第三级：添加药剂为NaOH+NaClO主要去除H2S（第二级可能的副产物）等酸性气体。备注：光伏行业常见的只加Na2S和NaOH7AllRightsReserved20167三、工艺废气处理系统的处理原理2.有机排气（VEX）有机排气主要利用活性炭的物理吸附功能实现有机废气的达标排放。椰壳活性炭填料活性炭滤芯活性炭板式过滤器3.粉尘排气（CVD）粉尘排气的处理原理主要为惯性、布朗扩散以及筛滤等弹夹怯滤芯弹夹怯滤芯8AllRightsReserved20168四、工艺废气处理系统的主要设备介绍1.离心风机离心风机是依靠输入的机械能，提高气体压力并排送气体的机械。它是一种从动的流体机械。主要是根据动能转换为势能的原理，利用高速旋转的叶轮将气体加速，然后减速、改变流向，使动能转换成势能（压力）。主要关注设备参数：材质、风量、风压、设备运行重量、设备尺寸、防腐防爆性能等9AllRightsReserved20169四、工艺废气处理系统的主要设备介绍2.洗涤塔废气由进风口流入后锤直向上流过填料床，洗涤液垂直向下流过填料床。这种气液逆流方式使废气与洗涤液充分接触并发生化学反应作用，有效清除废气中的杂质。主要关注设备参数：材质、处理风量、压损、填料形式、塔内气流速度、停留时间、设备运行重量、设备尺寸等。AllRightsReserved20163.活性炭吸附塔主要关注设备参数：材质、处理风量、压损、填料更换周期、停留时间、设备运行重量、设备尺寸等。AllRightsReserved20164.弹夹怯集尘器含尘气体在离心风机的离心力作用下进入除尘器匀流室，进入匀流室后由于气流断面突然扩大及气流分布朗作用，气流中一部分粗大颗粒在惯性力作用下直接沉降到灰斗；粒度细、密度小的尘粒进入各滤尘室后，通过布朗扩散和筛滤等组合效应，使粉尘沉降在滤芯表面上，净化后的气体进入净气室由排风管经风机排出设备的阻力随着滤袋表面粉尘层厚度的增加而增大。阻力达到某一设定值时进行清灰。此时集尘器PLC程序控制电磁脉冲阀逐个开启，压缩空气以极短的时间通过诱导喷嘴涌入滤筒，使滤筒膨胀变形产生振动，并在逆向气流冲刷的作用下，附着在滤筒外表面上的粉尘被剥离落入灰斗AllRightsReserved2016AllRightsReserved2016四、工艺废气处理系统的主要设备介绍AllRightsReserved2016五、关于黄烟和白雾1.1产生原因：常见酸性废气烟囱冒出的黄色刺鼻烟雾，主要是因为废气中的NO2没有彻底处理。当废气中NO2含量超过20-30mg/m3（40-50PPM）就会有黄色烟雾出现。同时和天气也有关系，同样的浓度晴天看不到，阴雨天气却比较明显（空气湿度大）。1.2主要应对措施：u设计阶段充分考虑Nox的浓度，并根据设计情况设计处理工艺u运行阶段严格按照设计的加药种类和加药量进行管控AllRightsReserved2016五、关于黄烟和白雾2.白雾2.1产生原因：u蒸汽冷凝：一般洗涤塔出口温度约为20至30℃,相对湿度约为85%至90%。气体中含有的水蒸气冷凝为小液滴。u酸碱中和：酸碱气体混合排放至洗涤塔也会产生白雾。AllRightsReserved2016五、关于黄烟和白雾2.2主要应对措施：u合理设计喷嘴喷水强度，避免因喷水成雾状，而被处理废气带出，形成过饱和水汽。u合理设计烟囱口径（不宜过小降低风速，减少带走的水份。u洗涤塔末端增加除雾层(misteliminator)，滤除废气中大部分水蒸汽。u烟囱出口处预