CN111693230B 流体控制装置、流体控制系统、诊断方法和程序记录介质 （株式会社堀场Stec）

测量所述流道中位于所述第一阀(V1)与所述流流体阻力件(R)与所述第二阀(V2)之间的第二容(V1)或所述第二阀(V2)；以及阀座泄漏判断部一压力传感器(P1)和所述第二压力传感器(P2)2第一压力传感器，测量所述流道中位于所述第一阀与所第二压力传感器，测量所述流道中位于所述流体阻力件所述阀座泄漏判断部在所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的测量压力大致还包括诊断部，所述诊断部在所述阀控制器使所述第一阀完在所述第二压力传感器的测量压力的时间变化率大致为零且测量压力保持为规定值发部仅在所述阀座泄漏判断部判断为在所述第一阀和所述第二阀中未发生阀座泄漏的情3在所述阀控制器至少使所述第一阀和所述第二阀打开且设置于所述供给压力传感器在所述供给压力传感器、所述第一压力传感器和所述第二压在所述阀控制器至少使所述第一阀和所述第二阀完全关闭且所述前级阀打开的状态在所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力上在所述阀控制器使所述第一阀打开、使所述第二阀完全关闭的在所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的测量压力下还包括阻力流量计算部，所述阻力流量计算部基于所述第一压力传在所述阀控制器使所述第一阀完全关闭、使所述第二阀打开的于所述第一压力传感器的测量压力的变化，检测由所述阻力流量计算部计算出的阻力流所述阀座泄漏判断部由阀座泄漏计算部和阀座泄漏比较所述阀座泄漏计算部基于所述第一压力传感器所述阀座泄漏比较部对由所述阀座泄漏计算部计算出的阀座泄漏量与预先确定的基还包括阻力流量计算部，所述阻力流量计算部基于所述第一压力传传感器漂移计算部，基于所述第一压力传感流量精度计算部，基于由所述阻力流量计算部计算4状态显示部，取得从多个所述流体控制装置的各异常量计算部输出阀座泄漏判断步骤，基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压力，所述阀座泄漏判断步骤在所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的测量压力大所述程序记录介质的特征在于，记录的流体控制装置用程序使计算机发挥所述阀座泄漏判断部在所述阀控制器使所述第一阀和所述第二阀完全关闭的状态下，所述阀座泄漏判断部在所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的测量压力大致5[0002]例如在对一层原子进行成膜的ALD工艺那样的半导体制造工艺中，以极短的循环[0004]并且，所述流体控制装置还要求在阀关闭的状态下可靠地使气体不向下游侧流二压力传感器，测量所述流道中位于所述流体阻力件与所述第二阀之间的第二容积的压所述第二容积的流出引起的压力变化来检测述阀座泄漏判断部基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的测量压力大致一致设在所述第一压力传感器和所述第二压力传感器所示的测量压力中包含零点漂移等误差，6下，基于所述第二压力传感器的测量压力及其时间变化率对所述第二压力传感器进行诊一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压力对所述第一压力传感器压力传感器或所述第二压力传感器的诊断来提高诊断的可靠性，可以是还包括诊断触发阀座泄漏的情况下，使所述诊断部执行所述第一压力传感器或所述第二压力传感器的诊7[0021]例如为了能够利用所述第一阀未发生阀座泄漏来提高与所述第二阀中有无阀座[0022]例如为了利用进行了各压力传感器的诊断和在各阀中有无阀座泄漏的判断后的算部，所述阻力流量计算部基于所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的各测量压[0024]作为能够向外部显示构成流体控制装置的各设备中的异常的进展程度的具体方8[0033]图4是表示第一实施方式中的第二压力传感器诊断时的流体控制装置的状态的示[0034]图5是表示第一实施方式中的第一压力传感器诊断时的流体控制装置的状态的示[0036]图7是表示本发明第二实施方式中的各压力传感器诊断时的流体控制装置的状态[0037]图8是表示本发明第二实施方式中的第一阀诊断时的流体控制装置的状态的示意[0038]图9是表示本发明第二实施方式中的第二阀诊断时的流体控制装置的状态的示意[0039]图10是表示本发明第二实施方式中的阻力流量检测时的流体控制装置的状态的[0040]图11是表示第二实施方式中的一系列的诊断和检测中的流体控制装置内的压力9[0062]该流体控制装置100例如用于在半导体制造工艺中例如以设定流量向保持规定真[0066]第一压力传感器P1测量充入作为在流道中第一阀V1与流体阻力件R之间的容积的[0067]第二压力传感器P2测量充入作为在流道中流体阻力件R与第二阀V2之间的容积的第一压力传感器P1和第二压力传感器P2测量配置在流体阻力件R前后流体控制装置100所具备的流体设备中，设置于最下游侧的第二阀V2控制从流体控制装置打开中的任意一种状态，但是也可以与第一阀V1同样不仅被控制为完全关闭或完全打开，D/A转换器和输入输出装置等的所谓的计算机，通过执行存储于存储器的流体控制装置用断动作指令部51、阀座泄漏判断部52、诊断触发部53和诊断部54构成的自诊断机构5的功传感器P1、流体阻力件R和第二压力传感器P2一起构成作为所谓的压力式流量传感器的流传感器P2测量的下游侧压力、以及由温度传感器测量的流体或周围的环境温度作为输入，[0072]第一阀控制部41至少在正常动作时基于由用户设定的设定流量和由阻力流量计且周期性地反复的开关信号，该打开信号表示打开第二阀V2并向腔室供给气体的供给期周期例如以与ALD工艺等中的气体供给期间和停止期间各自的长度相配合的方式设定。另指令。第一阀V1和第二阀V2根据完全关闭指令或打开指令以与开关阀大致相同的方式动[0076]在阀控制器4使第一阀V1和第二阀V2完全关闭的状态下，阀座泄漏判断部52基于闭起待机规定时间后的第一压力传感器P1和第二压力传感器P2的各测量压力的时间变化，阀V2的阀座泄漏的开始时点的判断可以例如以第一压力传感器P1与第二压力传感器P2的在第一压力传感器P1和第二压力传感器P2的任意一个中发生了零点漂移(zeroshift)等，[0077]具体地说，在第一压力传感器P1和第二压力传感器P2的各测量压力上升的情况了阀座泄漏的情况下，气体从上游侧经由第一阀V1流入第一容积VL1，从而发生第一容积[0078]另一方面，在第一压力传感器P1和第二压力传感器P2的各测量压力下降的情况[0080]仅在阀座泄漏判断部52中判断为第一阀V1和第二阀V2均未发生阀座泄漏的情况第二阀V2中未发生阀座泄漏的情况下，诊断触发部53向诊断部54输出诊断准许信号(步骤压力传感器P2的测量压力的时间变化率是否大致为零而在某一压力下稳定的状态(步骤[0088]诊断部54在各测量压力大致相等的情况下判断为第一压力传感器P1正常(步骤S10)，在各测量压力不相等的情况下判断为在第一压力传感器P1中发生了零点漂移(步骤[0089]按照以上述方式构成的本实施方式的流体控制装置100，能够同时对压力控制用力传感器P1和第二压力传感器P2的诊断，因此能够防止因阀座泄漏而引起诊断结果不准[0094]第二实施方式的流体控制装置100与图1所示的流体控制装置100的构成大致相[0096]在诊断部54进行三个各压力传感器中的零点漂移的诊断之在配置于流体控制装置100的上游侧的前级阀AV1完全关闭的状态下，阀控制器4使第一阀V1和第二阀V2成为打开的状态，排出在流体控制装置100内的各容积内存在的气体并待机的下游侧连接的腔室等的真空源来吸引流体控制装置100内的气体。从腔室等的真空源进[0097]在从前级阀AV1与流体控制装置100之间的容积、流体控制装置100内的第一容积力传感器P1和第二压力传感器P2各自的测量压力是否分别表示大致零且在预先确定的容因此在该诊断结果中，即使在各阀中发生了阀座泄漏也能够使其影响不体现在诊断结果阀V1中发生了阀座泄漏的情况下，气体从第一阀V1的上游侧流入流体控制装置100内而发诊断部54基于此时产生的压力下降，在阻力流量计算部1中进行根据第一压力和第二压力计算出的阻力流量的诊断(步骤ST15)。作为利用了压力下降的诊断方法例如能够使用ROF阻力流量的积分值与根据气体的状态方程式计算出的从第一容积VL1流出的气体的流出体了流体控制装置100内的气体，由此能够进行阻力流量的诊断，从而能够不浪费地使用气的供给压力与第一压力或第二压力的差或差的变化来判断发生了阀座泄漏。即，如图8的输出的上游侧压力以及从第二压力传感器P2输出的下游侧压力，计算表示各压力传感器、漏量。阀座泄漏计算部521例如基于从各阀完全关闭开始的压力的上升量或下降量和气体[0118]传感器漂移计算部541例如基于阀控制器4使第一阀V1和第二阀V2完全打开的状[0119]流量精度计算部543将通过例如ROR法等根据第一压力传感器P1或第二压力传感器P2的测量值计算出的流量与在进行ROR法期间由阻力流量计算部1计算出的阻力流量的[0122]按照以上述方式构成的第三实施方式的流体控制装置100，在异常量计算部5A中装置100的至少与诊断相关的控制的综合发挥作为状态显示部的功能，该状态显示部向用户一览显示从各流体控制装置100接收到[0125]按照这种第四实施方式的流体控制系统200，即使由多个流体用户也能够立即理解哪个流体控制装置100发生了异常、以及在发生了异常的流体控制装[0127]阀座泄漏判断部可以基于第一压力传感器或第二压力传感器中的任意一方的测阀和第二阀均未发生阀座泄漏的情况下，进行了第一压力传感器和第二压力传感器的诊