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(12)发明专利申请(10)申请公布号CN119707491A所(普通合伙)34118(54)发明名称化学气相沉积化学气相沉积带有氧化铝模板的三维碳管网格膜化学腐蚀激光烧蚀三维多孔阳极氧化铝三维碳管网格膜三维碳管网格膜三维碳管网格膜2步骤2中通过化学腐蚀法去除中间产物中的氧化铝模板,化学腐蚀使用的腐蚀液为2-434微纳分级孔结构的三维碳管网格膜及其制备方法和应用5[0013]本发明的目的之二是提供一种上述任意一项所述的微纳分级孔结构的三维碳管6[0017]3)本发明制得的微纳分级孔结构的三维碳管网格膜厚度较大(可达到20-30微附图说明7分别为微纳分级孔结构的三维碳管网格膜表面微米级凹坑和纳米孔的扫描电子显微镜[0027]实施例1本实施例提供一种微纳分级孔结构的三维碳管网格膜89组别面积比电容/(mFcm²)相位角实施例2-80.14°实施例3实施例4实施例5实施例6实施例7带有氧化铝模板的三维多孔阳极氧化铝三维碳管网格膜微纳分级孔结构的三维碳管网格膜三维碳管网格膜S实施例3实施例4
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