CN111805304B 主轴振动测量系统、主轴振动测量方法、以及程序 （发那科株式会社）

US2009110499A1,2009.一种测量在加工机(100)中的主轴(120)的振动的系统，所述加工机(100)对工件实施切削或研及使工件保持部(150)和主轴(120)相对移动的移动机构，所述主轴振动测量系统获取主轴(120)旋转时的移动机构的位置变动数据或振动2所述主轴振动测量系统测量与加工机中的主轴有关的振动，所述加工机数据获取单元，其获取所述主轴旋转时的所述工件保持部的位置变动处理单元，其至少基于所述位置变动数据或所述振动数据，输出或所述数据获取单元，在被所述主轴保持的所述工具与所述工件未接触所述数据获取单元，获取使所述主轴以转速在预定的范围内依次变所述处理单元，基于由所述数据获取单元获取的所述位置变动数据或所述振动数据，所述数据获取单元，获取使所述主轴以多个预定的转速依次旋转所述处理单元，基于由所述数据获取单元获取的所述位置变动数据或所述振动数据，所述处理单元，将由所述数据获取单元获取的所述位置变动数据或所述数据获取单元，获取使所述主轴以转速发生变化的方式旋转所述处理单元，进行将由所述数据获取单元获取的所述位置变动数据或所述振动数所述处理单元，将所述分析结果与存储在存储器中的分析结果进行3工程序使所述加工机工作以对所述工件实施切所述主轴振动测量系统测量与加工机中的主轴有关的振动，所述加工机数据获取单元，其获取所述主轴旋转时的所述工件保持部的位置变动处理单元，其至少基于所述位置变动数据或所述振动数据，输出或所述数据获取单元获取各所述工具被所述主轴保持时的所述位置变动数据或所述振所述处理单元，针对所述多种工具的每一种，将所述主轴的振动大于所述主轴振动测量方法测量与加工机中的主轴有关的振动，所述加工机振动数据获取步骤，获取所述主轴旋转时的所述工件保持部的位置变结果导出步骤，至少基于所述位置变动数据或所述振动在所述振动数据获取步骤中，在被所述主轴保持的所述工具在所述振动数据获取步骤中，获取使所述主轴以转速在预在所述结果导出步骤中，基于通过所述振动数据获取步骤获取的4在所述振动数据获取步骤中，获取使所述主轴以多个预定在所述结果导出步骤中，基于通过所述振动数据获取步骤获取的在所述结果导出步骤中，将在所述振动数据获取步骤中获取的在所述振动数据获取步骤中，获取使所述主轴以转速发生在所述结果导出步骤中，进行将通过所述振动数据获取步骤获基于通过所述导出所得到的所述转速的范围，更新加工程序所述主轴振动测量方法测量与加工机中的主轴有关的振动，所述加工机振动数据获取步骤，获取所述主轴旋转时的所述工件保持部的位置变结果导出步骤，至少基于所述位置变动数据或所述振动在所述振动数据获取步骤中，获取各所述工具被所述主轴保持在所述结果导出步骤中，针对所述多种工具的每一种，将所述主5所述振动为所述阈值以下的转速的范围或转速存储在存所述程序用于主轴振动测量，所述主轴振动测量是测量与加工机中的主轴有关的振振动数据获取步骤，获取所述主轴旋转时的所述工件保持部的位置变结果导出步骤，至少基于所述位置变动数据或所述振动在所述振动数据获取步骤中，在被所述主轴保持的所述工具6[0008]高品质加工因为主轴上的未预料的负载、主轴或者工件78获取当所述各工具被所述主轴保持时的所述位置变动数据或所述振动数据，所述处理单9述振动数据获取步骤，获取所述主轴旋转时的所述移动机构的位置变动数据或振动数据，[0040]图1是示出本发明的第一实施方式的主轴振动测量系统的测量对象的加工机的立[0042]图3是示出由第一实施方式的主轴振动测量系统的控制装置进行的控制的流程[0043]图4是示出利用第一实施方式的主轴振动测量系统得到的位置变动数据的例的图[0047]图8是示出由第二实施方式的主轴振动测量系统的控制装置进行的控制的流程[0048]图9是示出利用第二实施方式的主轴振动测量系统得到的位置变动数据的例的图[0049]图10是示出由第三实施方式的主轴振动测量系统的控制装置进行的控制的流程[0050]图11是用于示出第一～第三实施方式的主轴振动测量系统的变形例的加工机的式的主轴测量系统是用于测量加工机100中的主轴120的振动的系统，所述加工机100通过具120c对工件W进行研磨加工的研磨机等。本实施方式的加工机100是对工件W的表面通过定在框架100a且配置于主轴120的下方的基座部130、固定在基座部130的上表面的一对轨以及可动部件140能够沿一对轨道131向[0093]在基座部130上固定伺服马达等的Y轴马达132，在基座部130上设置有利用Y轴马[0096]在框架100a的上端侧固定有一对轨道101，一对轨道101沿上下方向(沿Z轴的方利用Z轴马达102旋转的滚珠丝杠103。滚珠丝杠103与一对轨道101平行配置。主轴支撑部110在其侧表面具有未图示的滚珠丝杠螺母，主轴支撑部110的侧表面部与滚珠丝杠103螺控制装置200的存储部230存储的数据获取程序(数据获取单元)230b以及处理程序(处理单存储在与控制装置200不同的其他计算机的存储部，并根据该计算机的处理器执行程序132的轴的旋转位置变动数据。X轴马达142以及Y轴马达132用于使工件W以及工件保持部[0114]如图4所示，在主轴120的某转速范围内，具体为在从5000rpm至12000rpm的范围[0115]接下来，处理器210基于处理程序230c，输出与主轴120的振动有关的结果(步骤向位置变动这两者、综合X轴方向位置变动和Y轴方向位置变动所得到的与主轴120的轴方向正交的方向的位置变动、以及综合X轴方向位置变动和Y轴方向位置变动和Z轴方向位置[0118]所显示的分析结果可以是如图5所示的图表、在该图表中位置变动在预定的阈值以下的主轴120的转速范围、在该图表中位置变动超过预定的阈值的主轴120的转速范围[0119]作为所述输出的第三例，处理器210还可以判定位置变动的大小在预定的阈值以述其他计算机输出根据判定所得到的转速范[0122]作为所述输出的第六例，还可以向存储部230存储如图4所示的位置变动的数据、地存储与根据第三例的判定所得到的转速范围的数据相对应的工件W的加工品质数据。该加工品质数据可以是，对于使用根据判定所得到的转速范围内的主轴120的转速来进行加所述光泽度基于对于已加工的工件W的操作员的判断或者品质检查装置第二例的分析所得到的转速范围的数据、根据第三例或者第四例所判定的转速范围的数[0125]作为所述输出的第九例，处理器210还可以将根据第二～第四例所得到的数据按[0126]作为所述输出的第十例，处理器210还可以将在某工具120c被主轴120的工具架120b保持的状态下根据第一～第四例所得到的数据，与对于该工具120c存储在存储部230中的之前的数据进行比较，并向显示装置220或者所述其他计算机输出比较结果。该情况据第一～第四例所得到的数据，与对于其他工具120c存储在存储部230的之前的数据进行于在工具120c和工具架120b之间存在小异物等而导致的安装异常等，而且，在所述工具施方式中，代替于在第一实施方式中使主轴120的转速从预定的低转速逐渐变化至预定的[0129]参照图8的流程图对第二实施方式的基于数据获取程序230b以及处理程序230c的[0134]接下来，处理器210基于处理程序230c输出与主轴120的振动有关的结果(步骤够向显示装置220或者所述其他计算机输出用于显示分析结果的数据。与第一实施方式相在该图表中位置变动在预定的阈值以下的主轴120的转速范围、在该图表中位置变动超过计算机输出5000rpm以及10000施方式中，代替于在第一实施方式中使主轴120的转速从预定的低转速逐渐变化至预定的[0141]参照图10的流程图对第三实施方式的基于数据获取程序230b以及处理程序230c[0144]接下来，处理器210基于处理程序230c输出与主轴120的振动有关的结果(步骤示装置220或者所述其他计算机输出用于显示根据步骤S3－3所得够向显示装置220或者所述其他计算机输出用于通知该位置变动超过阈值四例所显示的结果，判定与加工程序230a的主轴120的转速相对应的转速的位置变动的好具120c的主轴120与保持工件的工件保持部150之间的相对移动相关联的移动机构的位置[0157]在第一实施方式中，获取使主轴120以转速在预定的范围内依次变化的方式旋转[0160]在上述各实施方式中，将所获取的位置变动数据或振动数据与存储在存储部230的位置变动数据或振动数据进行比较，比较结果作为与主轴120的振动有关的结果进行输由此能够准确地掌握所获取的位置变动数据或振动数据、是否相比于过去的状态变化巨[0162]在上述各实施方式中，获取使主轴120以转速变化的方式进行旋转时的位置变动[0164]在上述各实施方式中，将所得到的分析结果与存储在存储部230的分析结果进行的振动大于阈值或者该振动为阈值以下的转速的范围或者转速存储掌握主轴120的振动大于阈值或者该振动为阈值以下的转速，这有助于适当地设定加工条