CN112470282B 显示装置及其制造方法 （三星显示有限公司）

2021.01.25PCT/KR2019/00011020WO2020/022593KO2020.01.30置为覆盖第一电极和第二电极的至少彼此面对的相应侧部和在第一电极与第二电极之间的间非叠置区域，延伸到发光元件的第一端部的外2第一绝缘层，设置在所述第一电极和所述第二电极第二绝缘层，设置在所述第一电极与所述第二电极之间以覆域，从所述至少一个发光元件的所述第一端向外延伸并且不与所述至少一个发光元件叠非叠置区域和所述第二非叠置区域中的每个的至少一所述第一电极和所述第二电极的所述相应面对侧面相对于设置在所述第一电极和所所述第二非叠置区域的至少一部分与所述第二电极的倾斜侧面所述第二非叠置区域部分地覆盖所述第二电极所述第一开口和所述第二开口中的至少一个在所述第一电极和所述第二电极沿其延所述第一开口和所述第二开口在与所述第一方向不同的第二方向上彼此所述第一方向上的两端在从所述第一电极或所述第二电极的在所述第一方向上的两端向3在所述第二方向上测量的所述第一开口的宽度和所述第二开口的宽度分别小于在所在所述第一电极和所述第二电极的所述相应面对侧面之间的距离小于在所述第一开所述第二端之间的长度大于在所述第一电极和所述第二电极的所述相应面对侧面之间的所述距离，并且小于在所述第一开口和所述第二开口的所述相应面对侧面之间的所述距所述第一接触电极通过所述第一开口电接触所所述第一接触电极和所述第二接触电极中的每个的至少一部分接触所述第所述至少一个发光元件的所述第一端的侧表面电接触所述第所述至少一个发光元件的所述第一端的下表面和所述第二端的下表面部分地接触所其中，所述第二接触电极接触所述第三绝缘层、所述第二在所述第一电极和所述第二电极上和在所述第一电极与所述第二电极之间形成第一形成并图案化第二绝缘层以覆盖所述发光元件和所述第一绝缘层的一部分并且暴露通过部分地图案化所述第一电极和所述第一绝缘层叠置的区域来形成第一开口以暴形成第一接触电极，所述第一接触电极电接触所述发光元件4通过部分地图案化所述第二电极和所述第一绝缘层叠置的区域来形成第二开口以暴形成第二接触电极，所述第二接触电极电接触所述发光元件形成第一非叠置区域，所述第一非叠置区域从所述发光元件的所述第形成第二非叠置区域，所述第二非叠置区域从所述发光元件的所述第5有机材料作为荧光材料的有机发光二极管(OLED)和使用无机材料作为荧光材料的无机发[0008]本公开的目的是防止在发光元件接触接触电极的情况下接触电极的断裂或不良6[0015]第一绝缘层的叠置区域可以与第一非叠置区域和第二非叠置区域中的每个的至[0016]第一电极和第二电极的相应面对侧面可以相对于设置在第一电极和第二电极下且第二非叠置区域的至少一部分可以与第二电极的倾斜侧[0018]第一开口和第二开口中的至少一个可以在第一电极和第二电极沿其延伸的第一[0019]第一开口和第二开口中的每个的在第一方向上的两端可以在从第一电极或第二[0020]在第二方向上测量的第一开口的宽度和第二开口的宽度可以分别小于在第二方面之间的距离可以小于在第一开口和第二开口的相应面[0021]在至少一个发光元件的第一端与第二端之间的长度可以大于在第一电极和第二和第二端的下表面可以部分地接触第一绝缘层的电极电接触发光元件的暴露的第一端和由开口暴露7[0027]形成第一开口的步骤可以包括将第一开口形成为具有比第一电极的宽度小的宽[0028]所述方法可以包括：图案化第二绝缘层以暴露与发光元件的第一端相对的第二端；通过部分地图案化第二电极和第一绝缘层叠置的区域来形成第二开口以暴露第二电成第二非叠置区域，第二非叠置区域从发光元件的第二端向外延伸并且不与发光元件叠第一非叠置区域和第二非叠置区域中的每个的至少一部[0040]图5至图17是示出制造根据实施例的显示装置的方法的示意性顺序的示意性剖视8像素PX也可以设置在与第一方向D1相交的第二方向D2上。图1的每个像素PX也可以被划分成段，每段形成一个像素PX。像素可以不必如在图1中所示出的在第一方向D1上平行地设[0053]像素PX可以通过包括发射特定波段的光的一个或更多个发光元件350来显示颜一像素PX1可以包括发射红光的发光元件350，显示绿色的第二像素PX2可以包括发射绿光的光的发光元件350，并且波长转换层或滤色器可以放置在发射路径上以实现每个像素的层510(见例如图3)的开口510P以及发光元件350。电极330和340中的每个的至少一部分可以设置在每个像素PX中并电连接到发光元件350，并且可以将电信号传输到发光元件350，9但是通过开口510P暴露每个电极330或340的一部分，并且发光元件350可以设置在第一绝缘层510上并与开口510P间隔开。第一绝缘层510可以与每个发光元件350形成平滑的接触触电极360可以平滑地接触在第一绝缘层510上的每个发光元件350的两端的侧表面。由于接触电极360可以接触在开口510P中暴露的第一电极330和第二电极340，因此它们可以将[0057]电极330和340中的每个可以包括第一电极330和第二电极340。在示例性实施例[0058]第一电极330和第二电极340中的每个可以包括在第一方向D1上延伸的电极主干330S或340S以及在与第一方向D1相交的第二方向D2上从电极主干330S或340S延伸并分支[0059]特别地，第一电极330可以包括在第一方向D1上延伸的第一电极主干330S和从第连接到显示装置10或外部电源，以将电信号传输到第一电极主干330S或在发光元件350对[0060]任何一个像素的第一电极主干330S可以与属于同一行的邻近像素(例如，在第一行发光元件350的对准工艺之后使用激光等切割主干电极来实现第一电极主干330S的这种在每个像素PX中的第一电极分支330B可以具有连接到第一电极主干330S的一端以及与第[0062]一个或更多个第一电极分支330B可以设置在每个像素PX中。尽管在图1中设置了[0063]第二电极340可以包括第二电极主干340S和至少一个第二电极分支340B，第二电极主干340S在第一方向D1上延伸并且与第一电极主干330S间隔开以面对第一电极主干[0064]第二电极分支340B可以从第二电极主干340S的至少一部分分支并且在第二方向支340B可以具有连接到第二电极主干340S的一端以及与第一电极主干330S间隔开的另一[0066]发光元件350可以在第一电极分支330B与第二电极分支340B之间对准。发光元件350中的至少一些中的每个可以具有电连接到第一电极分支330B中的一个的第一端和电连第一电极分支330B和第二电极分支340B中的每个上。接触电极360可以电接触发光元件[0068]第一绝缘层510(见例如图3)可以设置在第一电极330与第二电极340上以覆盖但340，但是可以包括开口510P以暴露第一电极330和第二电极340中的每个的上表面的一部350可以在第一电极分支330B与第二电极分支340B之间设置在其中未设置开口510P的第一[0069]第一绝缘层510可以覆盖第一电极330和第二电极340以保护第一电极330和第二件350可以在上面提及的空间中设置在第一绝缘[0070]设置在其中未设置发光元件350的区域中的第一绝缘层510(例如，设置在第一电绝缘层510可以在每个第一电极分支330B与第二电极分支340B之间保持未被蚀刻，并且发光元件350可以设置在第一绝缘层510上。第一绝缘层510可以设置为在其中未设置开口以在显示装置10的制造工艺期间，在第二绝缘层520的图案化中仅对下面描述的第二绝缘触第一绝缘层510的下表面上形成第一绝缘层510的气隙。可以防止接触每个发光元件350一电极分支330B和第二电极分支340B上。接触电极360可以通过开口510P电接触第一电极设置在其中未设置开口510P的区域中以覆盖每个电极330[0075]开口510P可以分别设置在电极分支330B和340B上，并且可以在第二方向D2上延一端可以设置在与电极分支330B或340B的一端向内[0076]每个开口510P的在第一方向D1上的两端可以分别与电极分支330B或340B的两侧[0077]每个开口510P的在第一方向D1上测量的宽度d1可以小于每个电极分支330B或支340B之间)设置在其中未设置开口510P的第一绝缘层510上。每个发光元件350的第一端长度h可以小于多个开口510P的面对的侧表面之间的距离l1，但是可以大于电极分支330B[0079]因此，每个发光元件350的相应端可以电连接到第一电极分支330B和第二电极分支340B，并且接触电极360可以通过开口510P电接触每个发光元件350的两端以及电极330[0080]在上面附图中，示出了接触电极360可以通过开口510P电接触第一电极分支330B[0081]如图1中所示出的，第一电极主干330S和第二电极主干340S可以分别通过接触孔(例如，第一电极接触孔CNTD和第二电极接触孔CNTS)电连接到下面将描述的薄膜晶体管120和电源布线161。尽管在第一电极主干330S和第二电极主干340S上的接触孔设置在图1可以包括第一薄膜晶体管120和第二薄膜晶体管140，第一薄膜晶体管120和第二薄膜晶体管140可以分别是驱动晶体管和开关晶体管。薄膜晶体管120和140中的每个可以包括有源的绝缘材料制成。聚合物材料的示例可以包括聚醚砜(PES)、聚丙烯酸酯(PA)、聚芳酯栅极绝缘层170可以用作薄膜晶体管的栅极绝缘膜。第一栅极绝缘层170可以包括氧化硅、[0089]第一导电层设置在第一栅极绝缘层170上。第一导电层包括设置在第一薄膜晶体第二薄膜晶体管140的第二有源层146上的第二栅电极141以及设置在辅助层163上的电源[0090]第二栅极绝缘层180设置在第一导电层上。第二栅极绝缘层180可以是层间绝缘上且第二栅极绝缘层180插置在它们之间的电容器电极128。电容器电极128可以与第一栅间绝缘层190可以执行表面平坦化功能。层间绝缘层190可以包括有机绝缘材料(诸如聚丙漏电极123和第一源电极124、第二薄膜晶体管140的第二漏电极143和第二源电极144以及[0095]第一源电极124和第一漏电极123可以通过穿透层间绝缘层190、第二栅极绝缘层180和第一栅极绝缘层170的第一接触孔129分别电连接到第一有源层126。第二源电极144和第二栅极绝缘层180的第三接触孔169[0097]绝缘基底层310设置在第三导电层上。绝缘基底层310可以由有机材料(诸如聚丙的障碍肋状件410和420上(例如，分别设置在第一障碍肋状件410和第二障碍肋状件420一电极330和第二电极340。障碍肋状件410和420可以包括其上设置有第一电极330的至少一个第一障碍肋状件410和其上设置有第二电极340的至少一个第二障碍肋状件420。在这一个第二障碍肋状件420可以设置在彼此间隔开的第一障碍[0100]尽管在图3中未示出，但是第一电极330和第二电极340可以分别包括如上面描述二电极分支340B分别设置在图3的第一障碍肋状件410和第二障碍[0101]障碍肋状件410和420可以在一个工艺中由基本上相同的材料形成。在这种情况第二障碍肋状件420一起以基本上网格图案设置。设置在每个像素PX的边界处的障碍肋状件410和420中的至少一些也可以形成为覆盖显示装[0103]障碍肋状件410和420中的每个的至少一部分可以从绝缘基底层310突出。障碍肋状件410和420中的每个可以从其中设置发光元件350的平面向上突出，并且突出部分的至件410和420上以反射入射光。从发光元件350引导到反射层331和341的光可以被朝向显示[0105]第一反射层331覆盖第一障碍肋状件410，并通过穿透绝缘基底层310的第四接触[0106]第一反射层331可以通过在像素PX中的第四接触孔319_1电连接到第一薄膜晶体[0107]第二反射层341可以通过在像素PX中的第五接触孔319_2电连接到电源电极162。素PX的第二电极340通过在第二电极主干340S上的第二电极接触孔CNTS电连接到电源布线可以在除了一个像素PX之外的区域中连接到一个第二电极接触孔CNTS或第五接触孔319_[0109]其中未设置发光元件350的非发射区域可以存在于除了其中设置有显示装置10的各个第二电极340可以通过第二电极主干340S彼此电连接以示装置10的周边上的非发射区域中的一个第二电极接触孔CNTS电连接到电源电极162。即[0112]第一电极层332和第二电极层342可以分别设置在第一反射层331和第二反射层以具有基本上相同的图案。第二电极层342直接设置在第二反射层341上并与第一电极层[0115]第一电极层332和第二电极层342可以分别将电信号传输到稍后将描述的接触电331和341以及电极层332和342可以形成其中堆叠一个或更多个透明导电层(诸如ITO、IZO或ITZO)和一个或更多个金属层(诸如银或铜)的结构。例如，反射层331和341以及电极层332和342可以形成ITO/银(Ag)/ITO的堆叠[0116]设置在第一障碍肋状件410上的第一反射层331和第一电极层332可以形成(或构的突出区域可以接触绝缘基底层310。设置在第二障碍肋状件420上的第二反射层341和第[0117]第一电极330和第二电极340可以分别覆盖第一障碍肋状件410的整个区域和第二[0118]第一反射层331可以从第一薄膜晶体管120接收驱动电压，并且第二反射层341可[0120]第一绝缘层510可以设置在第一电极330与第二电极340之间的空间中。在平面图中，第一绝缘层510可以具有沿着第一电极分支330B与第二电极分支340B之间的空间形成由于可以设置多个第一电极330和第二电极340，所以第一绝缘层510也可以设置在一个第[0121]第一绝缘层510可以与电极330和340的一些区域(例如，第一电极330和第二电极极340的在剖面中在彼此面对的方向上突出的端部。第一绝缘层510可以保护与电极330和接触绝缘基底层310，并且第一绝缘层510的下表面和侧表面的一部分可以接触每个电极下表面可以与在障碍肋状件410和420的平坦上表面上的电极33[0123]第一绝缘层510可以不设置在每个电极330或340上，而开口510P可以设置为暴露每个电极330或340的上表面的一部分。特别地，开口510P可以设置为暴露第一电极分支极330和第二电极340中的每个的暴露区域的宽度可以根据开口510P的[0125]下面描述的接触电极360可以设置在开口510P上，并且第一电极330和第二电极元件350，所以它们可以将传输到第一电极330和第二电极340的电信号传输到发光元件350。接触电极360与第一电极330和第二电极340中的每个之间的接触面积可以根据开口[0126]至少一个发光元件350可以设置在第一电极330与第二电极340之间。尽管仅发射[0127]发光元件350可以是发光二极管(LED)。发光元件350可以是具有大致纳米的尺寸[0128]发光元件350可以在第一电极分支330B与第二电极分支340B之间设置在其中未设表面，并且绝缘基底层310、第一绝缘层510和发光元件350可以顺序堆叠在第一电极分支面描述的接触电极360可以接触电极330和340的暴露的上表面以及发光元件[0132]第一绝缘层510和开口510P的上述布置可以通过在显示装置10的制造期间形成第一绝缘层510以完全覆盖第一电极330和第二电极340然后使第一绝缘层510部分地图案化以形成开口510P来实现。发光元件350在第一电极330与第二电极340之间设置在第一绝缘[0133]第一绝缘层510可以包括与发光元件350的下表面叠置的叠置区域、从发光元件350的第一端向外延伸并且不与发光元件350叠置的第一非叠置区域以及从发光元件350的光元件350的叠置区域的接触表面可以与第一绝缘层510的接触电极330和340的第一非叠[0134]第一绝缘层510的第一非叠置区域和第二非叠置区域中的每个的至少一部分可以设置在其中第一电极330或第二电极340与障碍肋状件410或420的倾斜的侧表面叠置的区[0135]第二绝缘层520可以设置在发光元件350上以与发光元件350的至少一部分叠置。[0136]尽管在图3的剖面中第二绝缘层520设置在发光元件350的上表面上，但是它也可可以在平面图中具有沿着在第一电极分支330B与第二电极分支340B之间的空间形成的岛[0138]第二绝缘层520可以设置为覆盖第一绝缘层510，然后可以例如在其中发光元件在其中发光元件350电接触接触电极360的发光元件350的两端处形成平滑的接触表面。当形成与发光元件350电接触的接触电极360时，在与发光元件350的下表面接触的第一绝缘[0140]再次参照图3，设置在第一电极330上并与第二绝缘层520的至少一部分叠置的第一接触电极361和设置在第二电极340上并与第二绝缘层520的至少一部分叠置的第二接触[0141]第一接触电极361可以设置在第一电极330上以部分地覆盖第一电极330，并且第一接触电极361的下表面可以部分地电接触发光元件350、第一绝缘层510和第二绝缘层520。第一接触电极361的在沿其设置第二电极340的方向上的一端设置在第二绝缘层520[0142]第二接触电极362可以设置在第二电极340上以部分地覆盖第二电极340，并且第二接触电极362的下表面可以部分地电接触发光元件350、第一绝缘层510和第三绝缘层530。第二接触电极362的在沿其设置第一电极330的方向上的两端设置在第三绝缘层530[0143]换句话说，第一接触电极361和第二接触电极362可以分别设置在第一电极330和缘层510和第二绝缘层520可以在设置为覆盖第一障碍肋状件410和第二障碍肋状件420的层332和第二电极340的第二电极层342可以被暴露并且可以分别电连接到暴露区域中的接[0144]第一接触电极361和第二接触电极362可以分别电接触发光元件350的第一端和第触电极362可以将传输到第一电极层332和第二电极层342的电信号传输到发[0145]第一接触电极361和第二接触电极362可以在第二绝缘层520或第三绝缘层530上设置为不与第一电极330的通过第四接触孔319_1电接触第一薄膜晶体管120的区域叠置。第一接触电极361可以不形成在第一电极主干330S上的第一电极接触孔CNTD中，并且第二接触电极362可以不形成在第二电极主干340S上的第二电极接触孔CNTS中。第一接触电极二接触电极362可以接收传输到第一电极层332和第二电极层342的电信号，并且可以将接[0150]第一绝缘层510的材料可以在发光元件350和第一绝缘层510彼此接触的表面处保绝缘层510和第二绝缘层520可以具有不同的蚀刻选择性，所以第一绝缘层510可以用作蚀坏或蚀刻第一绝缘层510的材料。即使包括无机材料的接触电极360具有不足的台阶覆盖，接触电极360的材料也可以不形成在发光元件350的下表面上，并且可以防止接触电极360[0152]第三绝缘层530可以设置在第一接触电极361上，以使第一接触电极361和第二接此，第三绝缘层530可以在使第一接触电极361与第二接触电极362电绝缘的同时保护第一[0153]第三绝缘层530的在沿其设置第二电极340的方向上的一端可以与第二绝缘层520[0155]钝化层550可以形成在第三绝缘层530和第二接触电极362上，以保护设置在绝缘基底层310上的构件免受外部环境的影响。如果第一接触电极361和第二接触电极362被暴可以使第一接触电极361和第二接触电极36接触电极362可以在第一电极330和第二电极340的一些区域中通过开口510P电接触第一电[0160]可以通过外延生长方法在基底上制造发光元件350。可以在基底上形成用于形成二电极340施加的电信号可以通过导电型半导体层351和352传输到活性材料层353。结果，第一导电型半导体层351与第二导电型半导体层352之间的活性材料层353、设置在第二导电型半导体层352上的电极材料层357以及绝缘材料层358。图4的发光元件350具有其中第例中，可以将电极材料层357设置在第一导电型半导体层351和第二导电型半导体层352中[0166]活性材料层353可以设置在第一导电型半导体层351与第二导电型半导体层352之353可以根据通过第一导电型半导体层351和第二导电型半导体层352接收的电信号通过电包括诸如AlGaN或AlInGaN的材料。在活性材料层353具有其中量子层和阱层交替堆叠的多[0167]从活性材料层353发射的光不仅可以在纵向方向上朝向发光元件350的外表面行材料层358可以形成为围绕发光元件350的侧面，并且可以不形成在发光元件350的在纵向方向上的两端处(例如，在其中设置有第一导电型半导体层351和第二导电型半导体层352极330或第二电极340的情况下可能发生的电短路。由于绝缘材料层358保护包括活性材料[0170]绝缘材料层358可以在纵向方向上延伸以从第一导电型半导体层351覆盖到电极活性材料层353和第二导电型半导体层352，或者可以仅覆盖电极材料层357的外表面的一部分以暴露电极材料层357的外表面的一溶液中保持分离，并在第一电极330与第二电极340之间对准，而不与其它发光元件350聚基底层310上并彼此间隔开的第一障碍肋状件410和第二障碍肋状件420以及分别设置在第面描述的工艺中图案化第一绝缘材料层511以形成图3的第一而形成第二基底层700。在剖面中可以将第二绝缘材料层521设置在发光元件350的上表面可以包括具有与第一绝缘材料层511的材料不同的蚀刻选择性的材料。可以在稍后将描述[0183]参照图9，将第二绝缘材料层521图案化以暴露第一绝缘材料层511的在第一电极因此，在发光元件350的接触第一电极330的第一端处接触第一绝缘材料层511的下表面可第一开口510Pa。第一开口510Pa可以暴露与第一障碍肋状件410的倾斜的侧表面的一部分材料层511可以在第一障碍肋状件410的倾斜的侧表面上与第一电极330中暴露的第一电极330，并且可以电接触发光元件350的电接触第一电极330的第一端的侧层511之间的接触表面可以保持平滑表面，因此第一接触电极361可以与第一绝缘材料层511的上表面的一部分平滑地设置在发光元件350的第一端的侧表面处，而其材料不被断[0187]图12是图11的部分B的放大图，并且图13是图3的一部分的放大扫描电子显微镜接触电极360的材料也可以不形成在发光元件350的下表面上，并且可以防止接触电极360地接触发光元件350的两端的侧表面和第一绝缘层510的上表面[0190]第一接触电极361可以电接触第一电极330的被第一开口510Pa暴露的区域，但是可以不与其中第一电极330通过第四接触孔319_1接触第一薄膜晶体管120的区域叠置。这料层521。也可以在稍后将描述的工艺中图案化第三绝缘材料层531，以形成第三绝缘层530。第三绝缘材料层531可以包括具有与第二绝缘材料层521的材料的蚀刻选择性相同的还可以包括具有与第二绝缘材料层521的材料的蚀刻选择性不同的蚀刻选材料层511与发光元件350的下表面之间的接触表面可以朝向第二电极3缘材料层521和第三绝缘材料层531的与第二电极340叠置的区域被图案化时，可以分别形第二开口510Pb。第二开口510Pb可以暴露与第二障碍肋状件420的倾斜的侧表面的一部分三绝缘层530，并且电接触发光元件350的第二端和第二绝缘层520的一端。第二接触电极362可以电接触在图16中暴露的第二电极340，并且电接触发光元件350的电接触第二电极[0196]在第二绝缘材料层521和第三绝缘材料层531的图案化中，由于在发光元件350的以与第一绝缘材料层511的上表面的一部分平滑地设置在发光元件350的第二端的侧表面[0197]第二接触电极362可以电接触第二电极340的通过第二开口510Pb暴露的区域，但是可以不与其中第二电极340通过第五接触孔319_2电接触电源布线161的区域叠置。这已基底层310上的第一障碍肋状件410_1和第二障碍肋状件420_1)可以从绝缘基底层310突电极340_1)可以以弯曲形状堆叠。上述的构件可以设置在第一障碍肋状件410_1和第二障碍肋状件420_1上，以在与第一障碍肋状件410_1和第二障碍肋状件420_1叠置的区域中具第一障碍肋状件410和第二电极340_2的第二障碍肋状件420的水平上表面上，并且第一接触电极361_2和第二接触电极362_2可以仅在第一障碍肋状件410和第二障碍肋状件420的第二非叠置区域的部分可以位于与第一障碍肋状件410和第二障碍肋状件420的平坦上表面叠置的第一电极330_2和第二电极3361和第二接触电极362的电信号的程度、每个电极的材料的类型等来调节开口510P的宽可以被图案化使得第一绝缘材料层511_2的一部分也存在于第一障碍肋状件410和第二障肋状件420的平坦上表面上，并且第一接触电极361_2和第二接触电极362_2(见图19)可以仅在第一障碍肋状件410和第二障碍肋状件420的平坦上表面上电接触第一电极330和第二和第二接触电极362_3可以在第二绝缘层520_3上彼此间隔开并且可以位于基本上同一平使第一接触电极361_3和第二接触电极362_3彼此电绝缘。可以通过将第二绝缘材料层521的两个侧表面一起图案化以同时暴露第一绝缘材料层511的与第一电极330和第二电极340绝缘层510_3。第一开口510Pa_3和第二开口510Pb_3的布置和形状与上面描述的布置和形[0214]参照图24，在第一电极330和第二电极340上形成第一接触电极361_3和第二接触也设置在第一接触电极361_3与第