CN112777559B 微机电结构及其机械性能的调控方法 （慧石（上海）测控科技有限公司）

CN215101976U,2021.12.10本发明提供了一种微机电结构及其机械性量块在垂直第一方向上发生的位移增大至触发部分锁止组件与所述质量块在垂直第一方向的块连接固定于垂直第一方向的运动路径上的另够不可逆的改变质量块在第一方向上运动时支撑悬臂梁的总刚度，形成不同性能的微机电结2悬臂梁，至少一对所述悬臂梁围设于所述质量第一电极，与所述质量块通过电容连接，驱动所述质量块在锁止组件，部分设于所述质量块上，另一部分设于所述衬底的部分相对设置，所述锁止组件的两部分设于所述质量块在垂直第一方向上运动的路径对第二电极上电，驱动质量块在垂直第一方向上运动，其中所述锁止组件包括设于所述质量块上的锁扣以及设于所述衬底上且与所述锁扣扣合所述锁扣包括自所述质量块朝向所述锁槽延伸的连接杆以及设于所述连接杆远离所所述锁槽包括固设于所述衬底上的锚接块、自所述锚接块朝向所述接臂以及自所述连接臂远离所述锚接块一侧的锁钩，两个所述锁钩朝向相对对方一侧延所述锁扣和所述锁槽中的至少一个在所述第一方向上能够发34[0001]本发明涉及微机电系统技术领域，特别是涉及一种微机电结构及其机械性能的[0004]MEMS产品的敏感结构芯片通常采用类似集成电路制造的方式，在晶圆上通过光[0005]当前业界主流MEMS产线的晶圆直径为6到8英寸，每片晶圆上包含数百至数万颗由于不同设计性能的结构不可避免的存在关键尺寸差异，在同一片晶圆上加工多种设计[0007]鉴于此，亟需提供一种新的微机电结构及其机械性能的调控方法以解决以上缺号和锁止组件的配合来改变微机电结构的机械结构，将同一种设计的结构芯片改造出不同的机械性能，以解决现有技术中需要采用不同加工设计在同一片晶圆上形成不同的[0011]当所述质量块在垂直第一方向上发生的位移增大至触发锁止组件的两部分锁5定，以使得所述质量块上的部分锁止组件与所述质量块在垂直第一方向的运动路径上的另一部分锁止组件锁合，所述质量块连接固定于垂直第一方向的运动路径上的另一部分[0012]优选的，所述锁止组件包括设于所述质量块上的锁扣以及与所述锁扣锁合的锁[0013]优选的，所述锁扣包括自所述质量块朝向所述锁槽延伸的连接杆以及设于所述[0014]所述锁槽包括固设于所述衬底上的锚接块、自所述锚接块朝向所述锁扣延伸的两个连接臂以及自所述连接臂远离所述锚接块一侧的锁钩，两个所述锁钩朝向相对对方[0020]第二电极，与所述质量块通过电容连接，驱动所述质量块在垂直第一方向上运块上的部分相对设置，所述锁止组件的两部分设于所述质量块在垂直第一方向上运动的[0023]优选的，所述锁止组件包括设于所述质量块上的锁扣以及设于所述衬底上且与锁槽锁定所述锁扣将所述质量块固定在所述锁槽位[0025]优选的，所述锁扣包括自所述质量块朝向所述锁槽延伸的连接杆以及设于所述[0026]所述锁槽包括固设于所述衬底上的锚接块、自所述锚接块朝向所述锁扣延伸的两个连接臂以及自所述连接臂远离所述锚接块一侧的锁钩，两个所述锁钩朝向相对对方[0027]优选的，所述锁扣和所述锁槽中的至少一个在所述第一方向上能够发生弹性形6[0029]优选的，所述悬臂梁包括设于所述衬底上的锚点以及连接所述锚点和所述质量[0031]所述第一电极包括固定在所述衬底上的第一固定块和设于所述第一固定块上的[0034]所述第二电极包括固定在所述衬底上的第二固定块和设于所述第二固定块上的机电结构的结构功能方向；当所述质量块在垂直第一方向上发生的位移增大至触发锁止组件的两部分锁定，以使得所述质量块上的部分锁止组件与所述质量块在垂直第一方向上的另一部分锁止组件后在垂直第一方向上停止运动，所述微机电结构在第一方向上的7[0045]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描与所述质量块2通过电容连接的第一电极4、与所述质量块2通过电容连接的第二电极5以及部分设于所述质量块2上且另一部分设于所述衬底1上的锁止组件6。各悬梁臂3一端固加速度；所述第二电极5驱动所述质量块2在垂直第一方向上运动；所述锁止组件6的两部让悬臂梁3使质量块2具有两个方向的自由度即可，即正常结构的第一方向的自由度和垂动梳齿21，所述第一电极4包括固定在所述衬底1上的第一固定块41和设于所述第一固定伸的两侧边分设有第二可动梳齿22，所述第二电极5包括固定在所述衬底1上的第二固定[0049]在一个可选的实施方式中，锁止组件6包括设于所述质量块2上的锁扣61以及设动所述锁扣运动至所述锁槽内部，所述锁槽锁定所述锁扣将所述质量块固定在所述锁槽8[0050]可选的，所述锁扣61包括自所述质量块2朝向所述锁槽62延伸的连接杆611以及设于所述连接杆611远离所述质量块2一端的锁头612，所述锁头612为头部朝向所述锁槽述锁扣61延伸的两个连接臂622以及自所述连接臂622远离所述锚接块621一侧的锁钩及所述锚接块621围设形成容设所述锁头612的容置腔。当第二电极5对所述质量块2施加接口电路往第一电极4上施加驱动信号，使质量块2在第一方向上以该结构在第一方向上[0052]若通过第二电极5施加驱动信号使质量块2在垂直第一方向上产生足够大的位止组件6相当于额外连接质量块2的悬臂梁3，锁止组件6在垂直第一方向上的刚度会额外接质量块2的悬臂梁3在运动的第一方向上的刚度变化率，进而改变了该结构对外界加速[0053]基于图1和图2中的微机电结构100，本发明还提供了一种微机电结构100机械性[0057]当所述质量块2在垂直第一方向上发生的位移增大至触发锁止组件6的两部分锁定，以使得所述质量块2上的部分锁止组件与所述质量块2在垂直第一方向的运动路径上9分锁止组件后在垂直第一方向上停止运动，所述微机电结构在第一方向上的机械性能改接块621朝向所述锁扣61延伸的两个连接臂622以及自所述连接臂622远离所述锚接