JJF(浙) 1210-2025 激光平直度测量仪校准规范

浙江省地方计量技术规范LaserFlatnessandStraightnessMeasurin浙江省市场监督管理局发布JJF（浙）1210-2025激光平直度测量仪校准规范CalibrationSpecifiFlatnessandStraightnessMea主要起草单位：浙江省质量科学研究院参加起草单位：杭州徕之测量技术有限公司浙江理工大学JJF（浙）1210-2025JJF（浙）1210-2025I JJF（浙）1210-2025JJF（浙）1210-2025激光平直度测量仪校准规范本规范适用于基于位置传感器或图像传感器原理且位移分辨力不高于0.1μm的激光平图1激光平直度测量仪结构示意图2位移示值最大允许误差：±（0.001mm+1%HH：位移量示值。表1测量标准及其他设备序号设备名称技术要求1激光干涉仪MPE：±（0.03μm+1.5×10-6L）2分度头MPEV：20″发射器的距离约为500mm，调平接收靶。调整测量光路，使激光光轴方向与微位移平台的量区间l＜0.5mm时，+H、-H方向均匀选取不少于4个测量点进行测量，当测量区间 l≥0.5mm时，+H、-H方向均匀选取不少于5个测量点进行测量，各点的JJF（浙）1210-20253s（1）图2水平方向位移示值误差校准示意图s——位移重复性，mm；JJF（浙）1210-20254li——第i次的位移读数值，mm；l——n次位移读数平均值，mm；n——测量次数，n=10。将接收靶固定在分度头工作台面上，调整分度头，使接收靶的倾角至0°位置，此时分度头上显示的角度值即为起始读数。依此转动分度头至测量点角度值（相对于起始点），读取接收靶倾角示值，往、返方向各测量一次，取两次的测量结果的平均值作为该测量点的示值Δαi——各测量点的示值误差；αs——分度头对应各测量点的标准值；注1：如激光平直度测量仪是单轴结构，依据6.1、6.2测单轴方向的位移示值误差和测量重复性。注2：如激光平直度测量仪配有多个接收靶，依据6.1、6.2、6.3对每个接收靶进行校准。经校准的激光平直度测量仪出具校准证书。校准证书至少应包括JJF1071-2010《国家JJF（浙）1210-2025测量点+H测量点-H测量值示值误差测量值示值误差测量点+V测量点-V测量值示值误差测量值示值误差JJF（浙）1210-20256序号12345测量值（mm）序号6789测量值（mm）序号12345测量值（mm）序号6789测量值（mm）标准角度值(°)接收靶示往返示值误差(°)JJF（浙）1210-20257测量点+H测量点-H测量值示值误差测量值示值误差测量点+V测量点-V测量值示值误差测量值示值误差方向水平方向（mm）竖直方向（mm）位移重复性标准角度值(°)测量值往返示值误差JJF（浙）1210-20258C.1.2测量方法：采用激光干涉仪与微位移工作台，对激光平直度测量仪位移）：sli——接收靶第i个测量点的测量值；C.3.1激光干涉仪引入的标准不确定度分量u1激光干涉仪示值误差最大允许误差为±（0.03μm），C.3.2环境温度变化所引入的标准不确定度分量u2JJF（浙）1210-20259C.3.3测量重复性所引入的标准不确定度分量u3则u3=s=0.274μm。C.3.4接收靶的分辨力所引入的标准不确定度分量u4接收靶的分辨力为0.0001mm，区间半宽为0.00005mm，按均匀分布，取小于重复性引入的分量，因此u4舍去。C.4合成标准不确定度uc表C.1标准不确定度一览表标准不确定度分量不确定度分量来源不确定度分量的值c激光干涉仪引入的标准不确定度分量0.277μm1u2环境温度变化所引入的标准不确定度分量0.061μm1u3测量重复性所引入的标准不确定度分量0.274μm1uc2+0.0612+0.2742=0.JJF（浙）1210-2025JJF（浙）1210-2025）：Δαii-αsΔαi——各校准点示值误差；αi——第i个校准点的示值；αs——分度头对应各校准点的转动角°;D.3标准不确定度分量评定D.3.1光学分度头引入的标准不确定度分量u1布，则D.3.2分辨力引入的标准不确定度分量u2D.3.3测量重复性引入的标准不确定度分量u3使用光学分度头对激光平直度测量仪的45°倾JJF（浙）1210-2025取往、返向示值误差的平均值为该校准点的示值误差，则表D.1标准不确定度一览表标准不确定度分量不确定度分量来源不确定度分量的值c光学分度头引入的标准不确定度分量0.002°1u2分辨力引入的标准不确定度分量0.029°1取包含因子k=2，则扩展不确定度为：