CN113391652B 流量诊断装置、流量诊断方法和程序存储介质 （株式会社堀场Stec）

质打开所述第二开闭阀而使流体流入所述容器的所述死区容积内的流体的压力保持为第二设定2主线路，在上游侧设置有作为流量传感器或流量控制装置的死区容积，是在所述主线路和所述分支线路中将所述诊断第一压力控制机构，在打开所述第一开闭阀且关闭所述第二第二压力控制机构，在实施了所述准备模式之后，在关闭第一基准流量算出部，基于从所述流入模式开始到所述第二开第一压力传感器，在所述分支线路上设置于比所述第一开第一压力控制器，基于所述第一设定压力与由所述第一压力第二压力传感器，在所述主线路上设置于比所述第二开闭阀更第二压力控制器，基于所述第二设定压力与由所述第二压力模式开始的时点由所述第二压力传感器测定的3设定为在所述容器内的压力成为预定压力的时点结束所在所述流入模式开始到结束的经过时间为规定时间以下的情况下机构构成为在所述流入模式中不进行所述死区容积内的流体的压力控构的压力控制而开始所述流入模式到所述死区容积的压力稳定为所述第二设定压力为止设置有作为流量传感器或流量控制装置的诊断对象，在下游侧设置有具有预定容量的容在打开所述第一开闭阀且关闭所述第二开闭阀而使流体不流入所述容器的准备模式在实施了所述准备模式之后，在关闭第一开闭阀且打开所述基于所述流入模式开始到所述第二开闭阀关闭而所述流入模式结束为止的期间流入所述流量诊断装置用程序使计算机发挥作为第一压力控制器、第二压所述第一压力控制器在打开所述第一开闭阀且关闭所述第二开闭阀而使流体不流入4所述第二压力控制器在实施了所述准备模式之后，在关闭第一开闭阀且所述基准流量算出部基于从所述流入模式开始到所述第二开闭阀关闭而所述流入模主线路，在上游侧设置有作为流量传感器或流量控制装置的死区容积，是在所述主线路和所述分支线路中将所述诊断第一压力控制机构，在打开所述第一开闭阀且关闭所述第二基准流量算出部，在实施了所述准备模式之后，基于从关二开闭阀而使流体流入所述容器的流入模式开始到所述第二开闭阀关闭而所述流入模式所述基准流量算出部构成为基于所述死区容积内的流体的物理量的测切换所述第一开闭阀和所述第二开闭阀的开闭起所述死区容积内的压力变化了预定值以5有作为压力控制机构1的APC。利用设置在该分支线路SL上的APC，在流体流过分支线路SL6过对该基准流量与由质量流量控制器测定的流量进行比较来诊断[0015]本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种流量诊断装置，即使是从所述流入模式开始到所述第二开闭阀关闭而所述流入模式结束为止的期间流入所述容7回到与所述准备模式相同的状态，所以能够将所述容器内的压力上升量设定为任意的值。经过时间Δt、以及所述流入模式开始的时点的初始压力与从所述流入模式结束起经过预[0023]为了能够使所述第一压力控制机构和所述第二压力控制机构中使用的压力传感[0024]为了在所述流入模式的结束时点再现所述准备模式中达成的所述死区容积内的流量，所述基准流量算出部可以基于所述流入模式中的最大压力或该最大压力附近的压8控制机构构成为在所述流入模式中不进行所述死区容积内的流体的压力[0029]如果基于利用所述第二压力控制机构的压力控制而开始所述流入模式到所述死积内的流体的压力保持为第一设定压力，所述第二压力控制器在实施了所述准备模式之准流量算出部基于从所述流入模式开始到所述第二开闭阀关闭而所述流入模式结束为止9流入所述容器的流入模式开始到所述第二开闭阀关闭而所述流入模式结束为止的期间流内的流体的物理量的测定值、或者表示所述第一开闭阀或所述第二开闭阀的实际动作的部构成为将切换所述第一开闭阀和所述第二开闭阀的开闭起所述死区容积内的压力变化[0042]图6是表示以往的流量诊断装置的压力的随时间变化和第一实施方式的流量诊断[0044]图8是表示诊断的流量值设定为较大并由第二压力控制机构控制死区容积内的压[0045]图9是表示本发明第三实施方式的流量诊断装置的动作和压力的随时间变化的坐[0048]图12是表示算出的基准流量的变动对决定经过时间Δt的触发方法的影响的散布[0067]第一实施方式的流量诊断装置100例如组装于半导体生产线等，用于对作为流量流量控制器输出的流量相对于流量诊断装置100输出的基准流量是否正确，或者基于流量诊断装置100输出的基准流量来校正质量流量控制器输出的流量。此外，在第一实施方式连接在作为诊断对象DO的质量流量控制器(MFC)与具有预定容积的容器TN之间；以及分支线路SL，在主线路ML中从诊断对象DO与容器TN之间分支。该流量诊断装置100基于所谓的V2与容器TN之间设置有作为第二压力控制机构2的[0073]如图2所示，作为第一压力控制机构1和第二压力控制机构2的各APC包括控制阀和设定于第二APC的第二设定压力虽然也能够分别设定为不同的值，但是在第一实施方式[0076]压力设定部3将设定压力设定于各APC。压力设定部3将用户输入的用户设定值设区容积DV内的压力与用户设定值之间存在误差的情况下，压力设定部3将误差量或误差乘向分支线路SL流动。该准备模式维持到经过质量流量控制器的流体的压力和温度稳定为稳定之后，在由容器压力传感器TP测定的容器TN内的压力上升到由用户设定的压力的时[0081]测定数据存储部5将流量诊断中由容器压力传感器TP和容器温度传感器TT测定的稳定后的容器TN内的压力亦即稳定后压力的压差ΔP、流入模式中的容器TN内的平均温度[0085]诊断部7对流入模式中由质量流量控制器测定的流量和由基准流量算出部6算出[0089]在判定为死区容积DV内的压力和温度稳定的情况下，开闭阀控制器4结束准备模然在利用第二APC的动作而从准备模式切换为流入模式时会产生稍许的压力下降，但是在压力传感器TP测定的压力的变动幅度为预定值以内的状态是否持续了预定时间以上。即，基准流量算出部6根据容器压力传感器TP的测定压力的变动，判定容器TN内的压力和温度[0091]在容器TN内的压力和温度稳定的情况下，基准流量算出部6将在该时点由容器压[0092]按照如此构成的第一实施方式的流量诊断装置100，由于在主线路ML设置有作为第二压力控制机构2的第二APC，所以如图6的坐标图所示，即使从准备模式切换为流入模[0098]即使是这样的第二实施方式的流量诊断装置100，在从流体流过分支线路SL的准[0100]第三实施方式的流量诊断装置100包括与图1所示的第一实施方式的流量诊断装的情况下，与第一实施方式同样在流入模式中由第二压力控制机构2进行死区容积DV内的[0101]在校正的流量值为预定值以上的情况下，如果利用第二压力控制机构2将流入模如果在短时间内第一压力控制机构1和第二压力控制机构2双方实施压力控制和开闭控制，则第二压力控制机构2的响应性不能使死区容积DV内的压力[0102]因此，第三实施方式的流量诊断装置100与校正的流量的大小无关地将算出的基[0103]这样的作为第二压力控制机构2的第二APC中的控制的切换例如利用对第二APC设设定用于使第二APC进行压力控制的第二设定压力，还是设定用于将控制阀21维持为全开[0104]按照如此构成的第三实施方式的流量诊断装置100，在诊断对象中诊断的流量值的流量值小于预定值的情况下，能够利用与第一实施方式的流量诊断装置100同样改进的行压力控制的阈值的流量值可以基于由第二压力控制机构2进行压力控制的情况下实现的Δt比相对于第二压力设定值不稳定在容许值内的期间长的方式设定流量值的阈值即可。[0108]第四实施方式的流量诊断装置100用于取得流入模式开始到结束的经过时间Δt第四实施方式中基于死区容积DV内的流体的物理量的变化来决定流入模式的开始点。即，例如在减小压力上升量ΔP而缩短流量诊断所需的时间、或校正的流量的值大且经过时间算出部6以与第一实施方式同样的方式将容器TN内的压力到达[0111]根据如此构成的第四实施方式的流量诊断装置100，图11表示对在基于死区容积[0113]此外，在第四实施方式中说明的经过时间Δt的开始时点的决定方法能够应用于样以在流入模式中控制死区容积DV内的压力的方式进行了改进的温度传感器双方的输出稳定作为用于切换各模式