安大陶瓷材料课件07纳米陶瓷-3纳米材料的制备

一纳米材料的化学法制备纳米粉体的湿化学法制备纳米粉体的化学气相法制备纳米薄膜的化学法制备纳米单相及复相材料的制备

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷湿化学法制备工艺主要适用于纳米氧化物粉体的制备，它无须高真空等苛刻的物理条件又能得到性能较优异的纳米粉体。湿化学法中对超微粒子团聚体形成及强度控制至关重要，采用共沸蒸馏、有机溶剂洗涤方法，可有效地控制纳米粉体的合成及硬团聚的形成。

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷化学气相法主要有气相高温裂解法、喷雾转化工艺和化学气相合成法等，这些方法具有较大的适用性和实用性。

对于化学气相法，低浓度、短停留时间和快速冷却是制备无团聚超微粉体的关键。

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷纳米薄膜的化学制备主要包括电化学方法和化学气相沉积法。

电化学方法可用于合成具有纳米结构纯金属、合金、金属-陶瓷复合涂层以及块状材料，包括直流电镀、脉冲电镀、无极电镀、共沉积等技术。

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷电化学方法制备的纳米材料在抗腐蚀、抗磨损、磁性、催化、储氢、磁记录等方面均具有良好的应用前景。

化学气相沉积法目前较多地应用于纳米微粒薄膜材料的制备，包括常压、低压、等离子体辅助气相沉积等。

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷单相与复相陶瓷材料主要通过纳米微粒加压成型，结合各种致密化手段制备合成。

纳米陶瓷的致密化手段日趋多样化，除常规的常压烧结外，还应用了真空烧结、热锻压、微波等手段。

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷二纳米材料的物理法制备纳米粉体（固体）的惰性气体冷凝法制备纳米粉体的高能机械球磨法制备纳米晶体非晶晶化方法制备深度塑性变形法制备纳米晶体

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷纳米薄膜低能团簇束沉积方法（LEBCD）制备纳米薄膜物理气相沉积技术

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷目前物理方法制备清洁界面纳米粉体及固体的主要方法之一，是惰性气体冷凝法（IGC）。纳米合金可通过同时蒸发两种或数种金属物质得到。纳米氧化物的制备可在蒸发过程中或制得的团簇后，在真空室内通以纯氧使之氧化得到。

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷高能机械球磨法是一个无外部热能供给的、干的高能球磨过程，是一个由大晶粒变为小晶粒的过程。

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷通过晶化过程的控制，将非晶材料转变为纳米材料是目前较为常用的方法，尤其用于薄膜材料与磁性材料的研究中。

深度塑性变形法是指材料在准静态压力下发生严重的塑性变形，从而将材料的晶粒尺寸细化到亚微米或纳米量级。

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷低能团簇束沉积是近年来出现的一种纳米薄膜制备技术。该技术首先将沉积材料激发成原子状态，以Ar、He作为载气使之形成团簇，同时采用电子束使团簇离化，利用飞时间质谱仪进行分离，从而控制一定质量、一定能量的团簇束沉积而形成薄膜。

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷物理气相沉积方法作为一类常规的薄膜制备手段被广泛地应用于纳米薄膜的制备与研究工作，包括蒸镀、电子束蒸镀、溅射等。

7.3纳米材料的制备第七章纳米陶瓷纳米薄膜的获得主要通过两种途径：

在非晶薄膜晶化的过程中控制纳米结构的形成控制纳米结构的形成，