珠海莫界科技树脂晶圆及保护片生产线扩建项目环境影响报告表

建设项目环境影响报告表项目名称：珠海莫界科技有限公司树脂晶圆及保护片生产线扩建设项目名称珠海莫界科技有限公司树脂晶圆及保护片生产线扩建项目项目代码2503-440400-04-02-485469建设单位联系人联系方式建设地点广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号智能制造孵化加速基地6栋3层地理坐标（E113度31分27.420秒，N22度23分10.521秒）国民经济行业类别C3961可穿戴智能设备制造建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业3979、智能消费设备制造396建设性质□新建（迁建）□改建☑扩建□技术改造建设项目申报情形☑首次申报项目□不予批准后再次申报项目□超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目项目审批（核准//项目审批（核准/备案）文号（选填）/总投资（万元）环保投资（万元）20015.78%施工工期6个月是否开工建设2062.06专项评价设置情况根据《建设项目环境影响报告表编制指南（污染影响类试行）》，本项目专项评价设置情况见下表：表1本项目专项评价判定一览表专项评价类别设置原则本项目情况大气排放废气含有毒有害污染物1、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标2的建设项目本项目排放废气污染物为颗粒物及非甲烷总烃，不涉及排放有毒有害污染物、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯气，无需设置大气专项评价。地表水新增工业废水直排建设项目（槽罐车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理不涉及，无需设置地表水专项评价。环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量3的建设项目本项目危险物质储存量未超临界量（Q＜1），无需设置环境风险专项评价。生态取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和不涉及，无需设置生态专项评价洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目不涉及，无需设置生态专项评价注：1.废气中有毒有害污染物指纳入《有毒有害大气污染物名录》的污染物（不包括无排放标准的污染物）。2.环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。3.临界量及其计算方法可参考《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169）附录B、附录C。规划情况规划文件名称：《珠海市高新区金鼎基本城市组团控制性详细规划》审批单位：珠海市人民政府审批文号：珠府批[2024]65号规划环境影响评价情况规划文件名称：《珠海高新区（唐家湾地区）分区规划环境影响报告书》召集审查机关：珠海市环境保护局（现为珠海市生态环境局）审查文件名称：关于报送《珠海高新区（唐家湾地区）分区规划环境影响报告书》审查小组审查意见的函”审查文号：珠环函〔2010〕157号规划及规划环境影响评价符合性分析一、与《珠海市高新区金鼎基本城市组团控制性详细规划》相符性分析根据《珠海市高新区金鼎基本城市组团控制性详细规划》要求：规划范围为高新区GX-03金鼎基本城市组团，东至京珠高速连接线、金琴快线，北至五桂山，南至香山路，规划面积约28平方千米；规划定位为金鼎智造城，承担高新区产业智造中心，重点发展智能产业，规划区总用地面积约2798.75公顷，其中建设用地面积约1845.39公顷，占比65.94%；非建设用地面积约953.36公顷，占比34.06%。本项目位于广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号智能制造孵化加速基地6栋3层，属于规划文件中的一类工业用地（见附图10）。本项目主要从事树脂圆晶、保护片的生产，根据建设单位提供的房地产权证（粤（2020）珠海市不动产权第01107244号，本项目所在地用地性质为工业用地，因此是符合《珠海市高新区金鼎基本城市组团控制性详细规划》要求的。二、与《珠海高新区（唐家湾地区）分区规划环境影响报告书》相符性分析1、产业规划符合性项目位于广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号智能制造孵化加速基地6栋3层，属于《珠海高新区（唐家湾地区）分区规划环境影响报告书》规划区域中的高新技术产业园提升区（高新区金鼎工业片区该产区产业定位为以生物技术、新医药、精密仪器及先进制造业等重要产业为主导的高新产业用地，引导化学制品、塑料等产业的合理升级或转型，是符合产业规划的。2、政策规划符合性珠江三角洲高新技术产业带专题规划要求：继续加强电子信息、生物医药、新材料、光机电一体化四大高新技术产业的发展，开拓和开发能源与环保、海洋科技两大产业，突破一批关键技术，全面提高经济整体素质和综合竞争力，本项目从事应用于AR眼镜中的配件树脂晶圆和保护片的生产，项目建成后有利于加强高新技术产业配套产业链的发展。3、规划环评结论符合性（1）环境质量现状及功能区划本项目所在地位于广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号智能制造孵化加速基地6栋3层，根据《珠海市生态环境局关于印发珠海市环境空气质量功能区划分（2022年修订）的通知（珠环〔2022〕197号）》，项目厂址所在地环境空气属于二类区，根据珠海市生态环境局2025年6月13日发布的《2024年珠海市环境质量状况》，项目所在地属于达标区；本项目生活污水处理达标后通过市政污水管网进入珠海北区水质净化厂,最终排入金星门海域，根据《广东省近岸海域环境功能区划》，纳污水体金星门海域为海水三类，执行《海水水质标准》（GB3097-1997）三类标准，根据生态环境部发布的《海水水质监测信息公开系统》（:8888/Water/）公示的2023年4月~2023年10月金星门海域监测结果可知，金星门海域水质监测因子中pH、溶解氧、化学需氧量、石油类均达到《海水水质标准》（GB3097-1997）第三类标准，但无机氮、活性磷酸盐出现不同程度的超标，说明本项目所在区域的纳污水体环境质量一般；根据《珠海市生态环境局关于印发珠海市声环境功能区区划的通知》（珠环〔2020〕177号),本项目所在区域为3类，执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）3类标准，符合规划区环境功能区划要求。（2）大气环境容量本项目产生大气污染物为颗粒物、VOCs等，根据珠海市人民政府关于印发珠海市生态环境保护暨生态文明建设“十四五”规划的通知，实施化学需氧量、氨氮、氮氧化物及挥发性有机物等重点污染物总量控制，按要求实施氮氧化物等量替代、挥发性有机物两倍削减量替代。本项目不会因为污染物的排放导致区域污染物超过大气总量控制指标。（3）大气环境影响本项目加硬固化、丝印、CNC等工艺产生的VOCs、颗粒物收集后经双级活性炭吸附装置处理，其中VOCs（以非甲烷总烃表征）有组织排放执行《印刷工业大气污染物排放标准》（GB41616-2022）表1大气污染物排放限值；厂内VOCs无组织执行广东省地方标准《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）表3厂内VOCs无组织排放限值，颗粒物排放执行广东省地方标准《大气污染排放限值》（DB44/27-2001）表2第二时段二级标准和无组织排放监控浓度限值，项目废气排放不会使得区域大气环境质量产生明显影响。（4）水环境影响生活污水经三级化粪池处理后达到广东省地方标准《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）中的第二时段三级标准限值后纳入市政污水管网，生产废水经自建废水站处理后达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准纳入市政污水管网，项目生活污水和生产废水的排放不会使得区域水环境质量产生明显影响。（5）固体废物处置影响项目产生的固废中一般固废：废包装材料、废板材收集后交由资源回收单位处置；废膜、废污泥及纯水更换固废分类收集交专业公司处理；生活垃圾交环卫部门统一清运；危险废物：废活性炭、废墨水、废洗板水、废抹布、含油抹布和药剂废液交由危险废物处置单位转移处理；一般固废管理要求：贮存过程满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求；危险废物管理要求按照《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）执行。项目固废处置不会区域环境产生明显影响。（6）环境风险影响本项目的危险物质数量较少，泄漏、火灾等事故发生概率较低，环境风险潜势为I，评价提出了一系列风险防范措施，企业在完善物料贮存设施、加强环保风险检查，加强职工风险教育和培训之后，在做好各项环保风险防范措施、应急预案和应急处置措施的情况下，项目环境风险事故对周围环境的影响较小。综上所述，本项目的建设是符合《珠海高新区（唐家湾地区）分区规划环境影响报告书》中的规划要求的。其他符合性分析1产业政策符合性分析本项目属于C3961可穿戴智能设备制造，不属于《产业结构调整指导目录（2024年本）》中的限制类和淘汰类；不属于《市场准入负面清单（2025年版）》中的禁止准入类行业；不属于《珠海市产业发展导向目录（2020年本）》中的限制发展类或禁止发展类，故本项目符合国家及珠海市等相关产业政策的规定。2选址符合性本项目属于扩建项目，位于广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号智能制造孵化加速基地6栋3层，根据房地产权证（粤（2020）珠海市不动产权第0107244号可知，项目所在地属于工业用地，项目符合国土空间用途管制要求。3与挥发性有机物相关政策相符性分析（1）项目与《广东省人民政府办公厅关于印发广东省2023年大气污染物工作方案的通知》（粤办函[2023]50号）相符性分析根据《广东省人民政府办公厅关于印发广东省2023年大气污染物工作方案的通知》（粤办函[2023]50号），“加强低VOCs含量原辅材料的应用，应用涂装工艺的工业企业应当使用低VOCs含量的涂料；严格执行涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂VOCs含量限值标准；开展简易低效VOCs治理设施清理整治严格限制新改扩建项目使用光催化、光氧化、水喷淋(吸收可溶性VOCs除外)、低温等离子等低效VOCs治理设施(恶臭处理除外)”，本项目使用水性环保清洗剂属于碱性清洗剂，不含VOCs成分，采用的水性墨水符合《油墨中可挥发性有机化合物(VOCs)含量的限值》（GB38507-2020）要求，本项目采用活性炭装置处理有机废气，不涉及光催化、光氧化、水喷淋、低温等离子等低效VOCs治理设施。综上，因此本项目符合《广东省人民政府办公厅关于印发广东省2023年大气污染物工作方案的通知》（粤办函[2023]50号）要求。（2）项目与《广东省生态环境保护“十四五”规划》的相符性分析根据《广东省生态环境保护“十四五”规划》要求：“大力推进挥发性有机物（VOCs）源头控制和重点行业深度治理。开展原油、成品油、有机化学品等涉VOCs物质储罐排查，深化重点行业VOCs排放基数调查，系统掌握工业源VOCs产生、处理、排放及分布情况，分类建立台账，实施VOCs精细化管理。在石化、化工、包装印刷、工业涂装等重点行业建立完善源头、过程和末端的VOCs全过程控制体系。大力推进低VOCs含量原辅材料源头替代，严格落实国家和地方产品VOCs含量限值质量标准，禁止建设生产和使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂等项目。严格实施VOCs排放企业分级管控，全面推进涉VOCs排放企业深度治理。”本项目使用水墨均符合《油墨中可挥发性有机化合物(VOCs)含量的限值》（GB38507-2020）要求（详见附件l0）。本项目加硬固化、丝印固化等有机废气收集后经双级活性炭吸附处理系统处理达标后高空排放，对周围环境影响很小。故本项目符合《广东省生态环境保护“十四五”规划》的相关要求。（3）与《挥发性有机物（VOCs）污染防治技术政策》的相符性分析根据《挥发性有机物（VOCs）污染防治技术政策》中建议“含VOCs产品的使用过程中，应采取废气收集措施，提高废气收集效率，减少废气的无组织排放与逸散，并对收集后的废气进行回收或处理后达标排放”，“对于含低浓度VOCs的废气，有回收价值时可采用吸附技术、吸收技术对有机溶剂回收后达标排放；不宜回收时，可采用吸附浓缩燃烧技术、生物技术、吸收技术、等离子体技术或紫外光高级氧化技术等净化后达标排放”，“对于不能再生的过滤材料、吸附剂及催化剂等净化材料，应按照国家固体废物管理的相关规定处理处置”。本项目加硬固化、丝印固化有机废气设有机废气收集设施，收集后经双级活性炭吸附处理系统处理后由排气筒高空排放；为确保废气处理效率，需定期更换活性炭，产生的废活性炭暂存于危险废物暂存点，并定期交由具有危险废物资质的单位进行转移处理。故本项目符合《挥发性有机物（VOCs）污染防治技术政策》要求。（4）项目与《珠海市生态环境保护暨生态文明建设“十四五”规划》相符性分析根据《珠海市生态环境保护暨生态文明建设“十四五”规划》第四章“第四章深入打好污染防治攻坚战推动生态环境质量持续领跑全国”要求：“香洲区：区域内人口相对密集，涉气企业布局较为敏感，臭氧污染问题突出，工业源污染排放以电厂及电子元件、油墨涂料制造、印刷、橡胶和塑料制品等行业的VOCs排放行业为主，应严格落实VOCs减量替代，加强现有企业进行低VOCs含量原辅材料的源头替代，加强无组织排放管控，深挖交通结构、能源结构调整的减排潜力”。本项目使用的涉VOCs原辅材料均符合国家产品VOCs含量限值质量标准，产生有机废气的工序工位均设有废气收集设施，收集后经双级活性炭吸附处理系统处理后高空排放。本项目符合《珠海市生态环境保护暨生态文明建设“十四五”规划》要求。（5）项目与《广东省臭氧污染防治（氮氧化物和挥发性有机物协同减排）实施方案（2023-2025年）》的相符性分析根据《广东省臭氧污染防治（氮氧化物和挥发性有机物协同减排）实施方案（2023-2025年）》中“10.其他涉VOCs排放行业控制”要求：加快推进工程机械、钢结构、船舶制造等行业低VOCs含量原辅材料替代，引导生产和使用企业供应和使用符合国家质量标准产品；企业无组织排放控制措施及相关限值应符合《挥发性有机物无组织排放控制标准（GB37822）》、《固定污染源挥发性有机物排放综合标准（DB44/2367）》和《广东省生态环境厅关于实施厂区内挥发性有机物无组织排放监控要求的通告》（粤环发〔2021〕4号）要求，无法实现低VOCs原辅材料替代的工序，宜在密闭设备、密闭空间作业或安装二次密闭设施；新、改、扩建项目限制使用光催化、光氧化、水喷淋（吸收可溶性VOCs除外）、低温等离子等低效VOCs治理设施（恶臭处理除外组织排查光催化、光氧化、水喷淋、低温等离子及上述组合技术的低效VOCs治理设施，对无法稳定达标的实施更换或升级改造。本项目使用的涉VOCs原辅材料均符合国家产品VOCs含量限值质量标准，本项目加硬固化、丝印固化设有机废气收集设施，收集后经双级活性炭吸附处理系统处理后由排气筒高空排放，不涉及光催化、光氧化、水喷淋、低温等离子等低效VOCs治理设施，本项目是符合《广东省臭氧污染防治（氮氧化物和挥发性有机物协同减排）实施方案（2023-2025年）》要求。经以上分析，本项目符合《广东省2023年大气污染防治工作方案》（粤办函〔2023〕50号）、《广东省生态环境保护“十四五”规划》、《挥发性有机物（VOCs）污染防治技术政策》、《珠海市生态环境保护暨生态文明建设“十四五”规划》和《广东省臭氧污染防治（氮氧化物和挥发性有机物协同减排）实施方案（2023-2025年）》要求。4与“广东省人民政府关于印发广东省“三线一单”生态环境分区管控方案的通知”（粤府[2020]71号）相符性分析表2与（粤府[2020]71号）相符性分析表序号类别要求项目情况相符一、全省总体管控要求1布局管控要求环境质量不达标区域，新建项目需符合环境质量改善要求。加快推进天然气产供储销体系建设，全面实施燃煤锅炉、工业炉窑清洁能源改造和工业园区集中供热，积极促进用热企业向园区集聚。珠海市生态环境局《2024年珠海市环境质量状况》可知，项目所在区域属于达标区域，本项目不设燃煤锅炉、工业炉窑。符合2能源资源利用要求强化自然岸线保护，优化岸线开发利用格局，建立岸线分类管控和长效管护机制，规范岸线开发秩序；除国家重大项目外，全面禁止围填海。落实单位土地面积投资强度、土地利用强度等建设用地控制性指标要求，提高土地利用效率。推动绿色矿山建设，提高矿产资源产出率。积极发展农业资源利用节约化、生产过程清洁化、废弃物利用资源化等生态循环农业模式。本项目仅使用电能，不涉及高污染燃料的使用，符合能源资源利用要求。符合3污染物排放管控要求管控要求优化调整供排水格局，禁止在地表水Ⅰ、Ⅱ类水域新建排污口，已建排污口不得增加污染物排放量。项目不涉及在地表水Ⅰ、Ⅱ类水域新建排污口。符合4环境风险防控要求加强东江、西江、北江和韩江等供水通道干流沿岸以及饮用水水源地、备用水源环境风险防控，强化地表水、地下水和土壤污染风险协同防控，建立完善突发环境事件应急管本项目不属于加强东江、西江、北江和韩江等供水通道干流沿岸以及饮用水水源地、备用水源环境风险防控，强化地表水、地下水和土壤污染风险协同符合理体系。防控。因此，符合环境风险防控要求。二、生态环境分区管控中的（二）“一核一带一区”区域管控要求-珠三角核心区5布局管控要求禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组和企业自备电站，推进现有服役期满及落后老旧的燃煤火电机组有序退出；原则上不再新建燃煤锅炉，逐步淘汰生物质锅炉、集中供热管网覆盖区域内的分散供热锅炉，逐步推动高污染燃料禁燃区全覆盖；禁止新建、扩建水泥、平板玻璃、化学制浆、生皮制革以及国家规划外的钢铁、原油加工等项目。本项目不属于水泥、平板玻璃、化学制浆、生皮制革以及国家规划外的钢铁、原油加工等项目。符合6环境风险防控要求逐步构建城市多水源联网供水格局，建立完善突发环境事件应急管理体系。加强惠州大亚湾石化区、广州石化、珠海高栏港、珠西新材料集聚区等石化、化工重点园区环境风险防控，建立完善污染源在线监控系统，开展有毒有害气体监测，落实环境风险应急预案。本项目位于广东省珠海高新区，不属于惠州大亚湾石化区、广州石化、珠海高栏港、珠西新材料集聚区等石化、化工重点园区管控范围。符合7污染物排放管控要求大力推进固体废物源头减量化、资源化利用和无害化处置，稳步推进“无废城市”试点建设。本项目落实好一般固废及危险废物的规范化处置。符合三、生态环境分区管控8省级工业重点管控单元依法开展园区规划环评，严格落实规划环评管理要求，开展环境质量跟踪监测，发布环境管理状况公告，制定并实施园区突发环境事件应急预案，定期开展环境安全隐患排查，提升风险防控及应急处置能力。项目所在地属于重点管控单元，见附图8。本项目位于广东省珠海高新区，项目建设符合珠海高新区（唐家湾地区）分区规划环境影响报告书》中的规划要求的。符合9水环境质量超标类重点管控单元严格控制耗水量大、污染物排放强度高的行业发展，新建、改建、扩建项目实施重点水污染物减量替代。项目所在地不属于水环境质量超标类重点管控单元。符合大气环境受体敏感类重控单元严格限制新建钢铁、燃煤燃油火电、石化、储油库等项目，产生和排放有毒有害大气污染物项目，以及使用溶剂型油墨、涂料、清洗剂、胶黏剂等高挥发性有机物原辅材料的项目；鼓励现有该类项目逐步搬迁退出。项目不属于新建钢铁、燃煤火电、石化、储油库等项目，不涉及使用溶剂型油墨、涂料、清洗剂、胶粘等高挥发性有机物原辅材料的项目。符合5与《珠海市“三线一单”生态环境分区管控方案》（2023年修订）相符性分析根据《珠海市人民政府关于印发珠海市“三线一单”生态环境分区管控方案的通知》，本项目位于广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号智能制造孵化加速基地6栋3层，属于香洲区唐家湾镇重点管控单元，环境管控单元编码：ZH44040220013，珠海市香洲区陆域环境管控单元图见附图9。项目与全市生态环境准入共性清单相符新分析见表4，与广东珠海香洲区唐家湾镇重点管控单元相符分析见表5。表3项目与全市生态环境准入共性清单相符性一览表管控纬管控要求项目情况相符性区域布局管控要求不得批准明令淘汰的能耗高、环境污染严重、不符合产业政策和市场准入条件的建设项目及国家淘汰的落后生产能力、工艺、设备和产品的项目。禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组和企业自备电站，推进现有服役期满及落后老旧的燃煤火电机组有序退出；原则上不再新建燃煤锅炉，逐步淘汰生物质锅炉、集中供热管网覆盖区域内的分散供热锅炉，逐步推动高污染燃料禁燃区全覆盖。不得新建专业电镀、化学制浆、纺织印染、制革、冶炼、发酵等重污染项目。禁止在磨刀门水道两岸及流域内湖泊、水库最高水位线水平外延五百米范围内新建、扩建废弃物堆放场和处理场。国考、省考断面执行国家、省“十四五”水质目标考核要求，综合管控单元内水体按水环境功能区划水质目标管理。畜禽禁养区内不得从事畜禽养殖业。园区型重点管控单元同时应执行园区规划环境影响评价结论及其审查意见有关要求。对照《珠海巿产业发展导向目录》（2020年版），本项目不属于限制发展类或禁止发展类，行业布局区域合理。本项目范围不在生态保护红线范围，周边无自然保护区；对照《广东省“两高”项目管理目录》（2022年版）中焦化等8个行业的项目，本项目不属于上述8个高耗能行业；项目不涉及新储油库等项目。符合能源资源利用建立重点园区、重要产业建设用地指标倾斜制度，新增建设用地指标向横琴粤澳深度合作区、高新区、珠海经济技术开发区倾斜。保障自然岸线保有率，提高海岸线利用的生态门槛和产业准入门槛，优化岸对照《广东省“两高”项目管理目录》（2022年版）中煤电、石化、化工、钢铁、有色金属、建材、煤化工、焦化等8个行业的符合线利用方式，提高岸线和海域的投资强度、利用效率项目，本项目不属于上述8个高耗能行业。污染物排放管控要求实施重点污染物总量控制，重点污染物排放总量指标优先向重大发展平台、重点建设项目、重点工业园区、战略性产业集群倾斜。新建“两高”项目应依据区域环境质量改善目标，制定配套区域污染物削减方案，采取有效的污染物区域削减措施，腾出足够的环境容量。严格落实国家产品VOCs含量限值标准，大力推进低（无）VOCs含量原辅材料替代。在可核查、可监管的基础上，新建项目原则上实施氮氧化物等量替代，挥发性有机物两倍削减量替代。现有每小时35蒸吨及以上的燃煤锅炉加快实施超低排放治理，每小时35蒸吨以下的燃煤锅炉加快完成清洁能源改造。构建以臭氧为核心的大气污染防控体系，协同推进区域臭氧和PM2.5联防联控。本项目能源均采用电源，属于洁净能源，不涉及锅炉建设。符合环境风险防控推进化工企业规范化建设，加强珠海经济技术开发区园区环境风险防范，尤其是园区内精细化工区、石油化工区和南迳湾油气化学品仓储区，完善污染源在线监控系统，开展有毒有害气体监测，落实环境风险应急预案。进一步完善园区公用工程和基础设施，完善消防供水，提高罐区消防能力。强化水环境风险防范，优先保护饮用水水源，严格控制工业污染、城镇生活污染，防治农业面源污染，积极推进生态治理工程建设，预防、控制和减少水环境污染和生态破坏。水质净化厂、沿海企业应采取有效措施，防止事故废水、废液直接排入水体。本项目不涉及化工建设及饮用水保护区。符合表4项目项目与香洲区唐家湾镇重点管控单元相符性一览表管控纬管控要求项目情况相符性区域布局管控1-1.【产业/鼓励引导类】鼓励工业用地集中布局于金鼎工业片区和科创海岸片区等工业集聚区内，现状零散的一般性加工工业和村级工业规划期内逐步向工业片区内集中，重点以集成电路、生物医药、智能制造等高新技术产业为主导。对照《珠海巿产业发展导向目录》（2020年版本项目不属于限制发展类或禁止发展类，行业布局区域合理。本项目范围不在生态保护红线范围，符合1-2.【生态/禁止类】单元内生态保护红线按照《关于国土空间规划中统筹划定落实三条控制线的指导意见》严格管控，自然保护地核心区原则上禁止人为活动，其他区域严格禁止开发性、生产性建设活动，在符合现行法律法规前提下，除国家重大战略项目外，仅允许对生态功能不造成破坏的8类有限人为活动。1-3.【生态/综合类】一般生态空间内，可开展生态保护红线内允许的活动；在不影响主导生态功能的前提下，还可开展国家和省规定不纳入环评管理的项目建设，以及生态旅游、基础设施建设、村庄建设等人为活动。1-4.【生态/综合类】一般生态空间内的人工商品林，允许依法进行抚育采伐、择伐和树种更新等经营活动。1-5.【生态/综合类】珠海高新凤凰山地方级自然保护区按照自然保护地相关管理要求进行管控。1-6.【大气/鼓励引导类】大气环境布局敏感重点管控区内强化达标监管，有序推进区域内行业企业提标改造。1-7.【其他/禁止类】禁止在单元区域内建设畜禽养殖场、养殖小区。周边无自然保护区。项目不涉及新建钢铁、燃煤火能源资源利用2-1.【其它/限制类】新建高能耗项目单位产品（产值）能耗达到国际国内先进水平。2-2.【水资源/限制类】强化水资源开发利用控制、用水效率控制、水功能区限制纳污三条红线刚性约束。对照《广东省“两高”项中煤电、石化、化工、钢铁、有色金属、建材、煤化工、焦化等8个行业的项目，本项目不属于上述8个高耗能行业。符合污染物排放管控3-1.【水/鼓励引导类】新建住宅项目、城中旧村改造、旧工业厂房改造项目要实现管网雨污分流，着力完善配套污水管网建3-2.【水/鼓励引导类】综合采取控源截污、内源治理、生态修复、活水循环等措施，清理整治东岸排洪渠和鸡山排洪渠黑臭水体沿岸排污口及沿岸垃圾、水面漂浮物、河床底泥。项目所在地规划用途为工业；所在园区已实施雨污分流。符合环境风险防控4-1.【水/综合类】北区水质净化厂和一体化生活污水处理设施应采取有效措施，防止事故废水直接排入水体。本项目不属于“环境风险防控”中提到的类型。符合建设内容1、项目由来珠海莫界科技有限公司（以下简称“公司”）是一家致力于联通虚拟与现实，让用户享受个性化生活的科技公司。公司研发团队已持续多年专注于XR领域，积累了雄厚的研发实力。现已掌握核心的AR显示技术和AR感知技术，并已掌握20余项核心发明专利。在AR显示技术方面，公司具有完整的纳米压印产线，能够自主设计、加工衍射光波导，同时具备多种类型AR投影光机的设计能力。企业历年环保手续见下表。表5企业历年环保手续一览表序号项目名称建设内容环评批复验收情况1珠海莫界科技有限公司建设项目（一期）位于珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号6光波导模组40万件、AR眼镜20万件珠环建表[2022]287号于2023年完成自主验收2珠海莫界科技有限公司增强现实（AR）光芯片生产线扩产项目（二位于广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一年生产波导片150万件。珠环建表[2024]93号尚未建设为满足市场需求，公司新租赁珠海高新发展有限公司广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号智能制造孵化加速基地6栋3层建设“珠海莫界科技有限公司树脂晶圆及保护片生产线扩建项目”（下文简称“三期”），新增建筑面积2062.06平方米，新建一条树脂圆晶生产线和一条保护片生产线，预计年产树脂圆晶60万片、保护片60万片，新增投资1267万元，环保投资200万元。根据《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》，并参照《建设项目环境影响评价分类管理名录》（2020年11月5日修订，2021年1月1日实施）有关规定，本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39，智能消费设备制造396”的“其他（仅分割、焊接、组装的除外）”类别，因此应编制环境影响报告表，为此，珠海莫界科技有限公司委托我司承担本项目的环境影响评价工作。环评技术人员在调查收集和研究与项目有关技术资料的基础上，根据环境影响评价技术导则，编制了本环境影响报告表，并依法向生态环境主管部门申报建设项目的相关环保手续。表6建设项目环境影响评价分类管理名录(摘录)环评类别项目类别报告书报告表登记表三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业3979智能消费设备制造396/全部（仅分割、焊接、组装的除外）/表7排污许可类别辨识表行业类型重点管理简化管理登记管理判定三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业39通信设备制造392，广播电视设备制造393，雷达及配套设备制造394，非专业视听设备制造395，智能消费设备制造396涉及通用工序重点管理的涉及通用工序简化管理的其他登记管理2、工程内容（1）建设内容本项目扩建前后工程组成见下表。表8扩建前后工程内容一览表工程类型工程名称建设内容变动情况备注扩建前扩建后主体工程一期位于园区6栋1层，建筑面积1624.69m2，增强现实AR眼镜生产区域。位于园区6栋1层，建筑面积1624.69m2，增强现实显示光芯片、光波导模组、AR眼镜生产区域。不变依托原有二期位于园区3栋1、2层，建筑面积3843m2，波导片生产区域。位于园区3栋1、2层，建筑面积3843m2，波导片生产不变依托原有三期（本项目）/位于园区6栋3层，主要生脂圆晶、保护片生产区域。新增新建工程辅助工程公共区域特气室、走廊、更衣室、会议室、办公室等区域共432.3m2；层。特气室、大厅、换鞋区、中转区、卸货区会议室、机房、中控室、配电间共526m2。动力房、特气室、走廊、更衣室、会议室、办公室、大厅、换鞋区、中转区等公共区域，共1199.8m2。新增更廊灯公共区域241.5m2新增工程公用工程给水工程由市政供水管网供给。由市政供水管网供给。不变依托原有排水工程厂区雨污分流，生活污水经化粪池预处理后纳入市政污水管网，纯水制备产生的浓水、纯水机反冲洗水、设备循环冷却废水及空调冷凝水排入经WS-6-273-1排放口排放市政污水管网，雨水经厂区雨水溢流口排入市政雨水管网厂区雨污分流，生活污水经化粪池预处理后纳入市政污水管网，纯水制备产生的浓水、纯水机反冲洗水、设备循环冷却废水及空调冷凝水排入经WS-6-273-1排放口排放市政污水管网，雨水经厂区雨水溢流口排入市政雨水管网；生产废水经自建废水站处理后通过新增1套“混凝沉淀+pH调节+过滤装置”废水处理工艺新增废水处理设施，排放口依托WS-6-273-1WS-6-273-1排放口排入市政污水管网供电工程由市政电网供应由市政电网供应不变依托原有储运工程化学品暂存仓位于3栋第2层，存放化学品，面积为46m2。位于3栋第2层，存放化学品，面积为46m2。不变依托原有物料仓位于3栋第2层。存放二期工程普通物料，面积为24m2。位于3栋第2层。存放二期工程普通物料，面积为24m2。不变依托原有敏感物料仓位于3栋第2层。存放敏感物料，面积为24m2。位于3栋第2层。存放敏感物料，面积为24m2。不变依托原有备件仓位于3栋第2层。存放二期备件，面积为49m2。面积为49m2。不变依托原有材料仓库/位于园区6栋3层，存放三期普通物料，面积为67.37m2。新增仓库新增工程普通仓库位于6栋第1层。存放一期普通物料，面积为49m2。不变依托原有成品仓3栋厂房第二层。存放成品，面积为63m2。面积为63m2。6栋第3层，存放三期成品。新增仓库新增工程环保工程废水治理设施员工办公生活污水经化粪池预处理后通过市政污水管网排入北区水质净化纯水机反冲洗水、设备循环冷却废水及空调冷凝水通过WS-6-273-1排放口排入市政污水管网；等离子火炬+水洗处理设施排水、碱液喷淋塔废水及仪器清洗废水委外处理；清洗废水经石英砂、活性炭过滤以及保安过滤器预处理后，进入RO纯水系统回员工办公生活污水经化粪池预处理后通过市政污水管网排入北区水质净化厂。纯水制备排放的浓水、纯水机反冲洗水、设备循环冷却废水及空调冷凝水排入市政污水管网；等离子火炬+水洗处理设施排水、碱液喷淋塔废水及仪器清洗废水委外处理；清洗废水经石英砂、活性炭过滤以及保安过滤器预处理后，进入RO纯水系统回用。新增清洗废水由新增一套“凝沉淀+pH调节+过滤装置”处理后依托现有WS-6-273-1排放口排放。新增1套“混凝沉淀+pH调节+过滤装置”废水处理工艺新增废水处理工程废气治理设施及氨的产污设备接驳负压密闭管道或通风橱收集废气，采用“二级活性炭吸附系统”对刻蚀工序外的有机废气处理，处理后不设置排气筒，无组织排放。刻蚀废气（包括有机废气及酸性废气）的产污设备采用“等离子火炬+水洗+碱液喷淋”处理，处理后经1.一期：有机废气、硫酸雾及氨的产污设备接驳负压密闭管道或通风橱收集废气，采用“二级活性炭吸附系统”对刻蚀工序外的有机废气处理，处理后不设置排气筒，无组织排放。刻蚀废气（包括有机废气及酸性废气）的产污设备采用“等离子火炬+水洗+碱液喷淋”处理，处理后经35m高排气筒化废气新增“双级活性炭吸附新增废气处理工程及排放口35m高排气筒FQ-6-273-1排放。通风橱进行，废气密闭收集后统一引至“二级活性炭吸附系统”处理，处理后经35m高FQ-1排气筒排放；贴合、匀胶、涂墨、增粘、压印、硬板清洗、抗粘工序采用负压密闭管道收集，废气收集后统一引至“二级活性炭吸附系FQ-1排气筒排放。项目切割工序在密闭的激光切割机中进行，废气密闭收集后引至“喷淋+两级活性炭系统”处理，处理后经35m高FQ-2排气筒排放。FQ-6-273-1排放。匀胶、涂墨、增粘、压印、割机中进行，废气密闭收集后引至“喷淋+两级活性炭系统”处理，处理后经35m高FQ-2排气筒排放。（二期暂未建设）。3.三期（本项目）：CNC废气、加硬固化废气、丝印及固化废气经新增双级活性碳装置处理后由35m高排气筒排放。固废贮存设施共设2个一般固废场所，一个位于6栋厂房一层，项目产生的一般固废，一个位于3栋厂房，面积约30m2，存放二期项目产生的一般固废。共设2个一般固废场所，一个位于6栋厂房一层，面积产生的一般固废，一个位于放二期、三期项目产生的一般固废。不变依托原有共设2个危险废物仓库，一个位于3栋厂房二楼，项目危废；一个位于6栋存一期项目危废。不变依托原有噪声治理设施合理布局噪声源，严控生产时间，对强噪声设备加装减震装置等新增设备经合理布局，严控生产时间，对强噪声设备加装减震装置等措施。新增设备新增噪声治理工程（2）产品方案本次扩建新增树脂圆晶及保护片生产线，项目扩建前后产品产能情况见下表。表9项目扩建前后产品产量一览表序号产品名称年产量单位扩建前扩建后变化量1增强现实显示光芯片40400万件2光波导模组40400万件3AR眼镜20200万件4波导片0万件5树脂圆晶060+60万片6保护片060+60万片表10产品规格一览产品名称：树脂圆晶产品名称：保护片规格：单片8寸，约38g规格：单片约4g（3）原辅材料本项目原辅材料用量情况见下表。表11本项目主要原辅材料一览表序号原辅材料名称年用量性质包装规格最大储存量储存位置用途1树脂板材箱2t6栋3层材料仓晶圆生产、保护片生产2五氧化钛300kg30kg6栋3层材料仓镀膜3二氧化硅300kg30kg6栋3层材料仓镀膜4一氧化硅30kg6栋3层材料仓镀膜5氧气2000L气体40L/瓶240L6栋1层特气间镀膜6氩气2000L气体40L/瓶240L6栋1层特气间镀膜7纯水2400t液态管道输送/管道输送水洗8丙烯酸UV固话加硬液1000kg液态20L/桶200kg3栋2层化学品仓加硬9环保洗剂液态20L/桶60L3栋2层化学品仓水洗去渍水500kg液态20L/桶3栋2层化学品仓擦拭液态2.5L/瓶3栋2层化学品仓擦拭PE保护膜2000kg卷300kg6栋3层材料仓包装墨水80kg液态20kg3栋2层化学品仓洗板水液态20L/桶20kg3栋2层化学品仓印刷洗网版棕刚玉25kg/袋500kg6栋3层材料仓喷砂30kg/30kg3栋2层化学品仓废水处理0.6kg/0.6kg3栋2层化学品仓废水处理硫酸45kg液态/45kg3栋2层化学品仓废水处理原辅材料理化性质见下表。表12原辅材料理化性质一览表名称树脂板材板状无色透明固体，比重1.2，主要成分为丙烯酸烷基-甲基丙烯酸甲酯共聚物、聚（4,4‘-异丙基二苯碳酸酯）、丙烯酸甲酯及甲基丙烯酸甲酯，非危化品。丙烯酸UV固话加硬液成分：聚氨酯丙烯酸树脂、聚酯丙烯酸树脂、环氧丙烯酸树脂、光引发剂、无机填料、硅粉、抗起泡剂等；中粘度糊状物，乳白色有特殊气味，闪点：109℃（组件），比重或相对密度：1.0-1.5（25℃时），健康危害：急性毒性（皮肤）：4类，水生环境急性毒性：3类。环保洗剂无色无味透明液体，pH＞11，沸点：100℃,密度：1.03±0.01（水=1），急性毒性：5类（口服、皮肤）去渍水成分：石油醚；无色透明有特殊臭味液体，熔点/凝固点：-73℃,沸点、初沸点和沸程：30~130℃,相对蒸汽密度：2.5，相对密度：0.6~0.7，饱和蒸气压：5.332kPa（20℃),闪点：-20℃,具有高度易燃性，第2类易燃液体，危害水生环境-急性危害：类别2，危害水生环境-长期危害：类别2。墨水成分：树脂40%~45%，填料10%~30%，稀释剂5%~30%，助剂1%~10%，蓝色粘稠液体。闪点：92℃,比重：0.8~1.0（20℃)洗板水成分：LAS5-15%、脂肪醇5-15%、硼砂3-10%、水（余量）；黄色透明液体，密度：1.06±0.01g/ml，pH：8.0~9.2，一般化学品，本品不燃。（4）生产设备本项目设备情况见下表，原有项目设备基本不变，详见下文表17。表13项目生产、辅助设备一览表序号设备名称数量（台/套）使用工序备注摆放位置1CNC线2CNC/6栋3层生产车间2浸涂慢拉机1加硬/6栋3层生产车间3加硬设备1加硬含4个加药槽、10个纯水槽、2个加硬槽、2套烘干系统6栋3层生产车间4真空镀膜机4真空镀膜/6栋3层生产车间5加硬烤箱3加硬、覆膜/6栋3层生产车间6UV光固化机2丝印/6栋3层生产车间7丝印机2丝印/6栋3层生产车间8丝印烤箱2丝印/6栋3层生产车间9喷砂机1喷砂/6栋3层生产车间冰水机4镀膜机冷却/6栋3层生产车间全自动清洗线1清洗含9个水洗槽、1台烘干系统6栋3层生产车间真空等离子机1检测/6栋3层生产车间高温高湿机1检测/6栋3层生产车间盐雾测试机1检测/6栋3层生产车间耐磨机1检测/6栋3层生产车间标旗光谱仪1检测/6栋3层生产车间3nh色差仪1检测/6栋3层生产车间美能达色差仪1检测/6栋3层生产车间接触角测试仪1检测/6栋3层生产车间20面型测试仪1检测/6栋3层生产车间21纯水机1纯水制备/6栋3层生产车间机房22空调1调温/6栋楼顶23空压机1压缩空气/6栋楼顶3、劳动定员、食宿情况及工作制度项目扩建前后劳动定员、食宿情况及工作制度详见下表。表14项目扩建前后劳动定员、食宿情况及工作制度对比一览表类型扩建前扩建后变化情况员工人数200人+50人食宿情况厂内不设置食宿厂内不设置食宿不变年工作天数300天300天不变工作制度每天2班，每班10小时每天2班，每班10小时不变4、水平衡分析（1）员工生活给排水本次扩建新增员工50人，根据广东省地方标准《用水定额》（DB44/T1461.3-2021）第3部分：生活中国家行政机构办公楼有食堂系数：15m3/（人·a则新增生活用水量约为750m3/a，全部由市政供水，生活污水排污系数取0.9，则新增生活污水排放量为675m3/a，依托原有化粪池处理后通过市政污水管网排入北区水质净化厂，最终排向金星门水道。（2）测试给排水本项目新增高温高湿机、盐雾测试机用水，使用自来水，平均单台设备每周用水量约为0.1m3，预计年运行75周，则共需7.5m3，检测过程不添加任何化学品，因此水质较为洁净，产污系数按0.9.则产生测试废水约6.75m3/a，拟转移至自建废水处理处理后通过市政污水管网排入北区水质净化厂，最终排向金星门水道。（3）清洗用水给排水本项目新建一套全自动清洗线，共配制9个清洗槽，含4个加药槽及5个水洗槽，每个槽有效容积约110L，加药槽添加环保洗剂+纯水清洗，单槽添加纯水、清洗剂的用量分别为88.5L、1.5L，则单槽最大清洗液体积约90L，每2周更换一次，本项目年运行42周，则产生药剂废液4*90L*（42/2）/1000=7.56m3/a，妥善转移至废仓暂存，定期交由危废单位转移处置，水洗槽（4）纯水制备本项目纯水主要用于加硬液调配和清洗线，本项目全自动清洗线采用纯水清洗，其中加药槽预计纯水需求量约为4*88.5L*（42/2）/1000≈7.45m3/a，水洗槽单槽有效容积按110L计，共5个，纯水需求量为110L*5+300m3/a（日常补充）=300.55m3/a，加硬液调配纯水用量约1m3/a，则本扩建项目需纯水总计约309m3/a，纯水机效率约60%，则需自来水约514m3/a，产生的浓水量约206m3/a，主要成分为无机盐、SS，仅比自来水水质稍差，属于清净下水，纳入市政污水管网。（5）纯水机反冲洗废水项目RO纯水系统需要定期使用自来水冲洗，过程中会产生一定量的反冲洗废水，主要污染物为COD、SS，根据建设单位提供的资料，纯水反渗透膜约每周冲洗一次，每次水量约为340L，则纯水反冲洗年用水量约为3.96m3/a，排污系数取0.9，则纯水机反冲洗废水排放量约为3.56m3/a，该废水主要含低浓度盐类物质，水质比自来水稍差，属于清洁下水，纳入市政污水管网。本次扩建水平衡图见下。图1扩建项目水平衡图（单位：m3/a）图2扩建后全厂项目水平衡图（单位：m3/a）5、项目四至及平面布置情况本项目位于广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号智能制造孵化加速基地6栋3层，根据现场勘察，项目东面为智能制造孵化加速基地2栋，南面为智能制造孵化加速基地4栋，西面为珠海报业集团印刷物流基地，北面为智能制造孵化加速基地7栋。项目四至情况见附图3-1，四至实况情况见附图3-2。本扩建项目的平面布置图见附图2。工艺流程和产排污环节6、生产工艺（1）工艺流程图本次扩建项目新增树脂圆晶产品及保护片产品，扩建后生产工艺流程及产污节点见图2。图3树脂圆晶生产工艺及产污流程图工艺流程简述：1.CNC加工：运用计算机数字控制（CNC）技术对树脂板材进行精确加工，按设计要求切割、雕刻出晶圆的基础形状。2.加硬：对晶圆翘曲要求较低者，采用浸入式工艺对材料进行加硬处理，材料浸泡在加入纯水和丙烯酸UV固化加硬液的药水槽，以极低的提拉速度（通常为5~30mm/min）匀速取出，利用溶液的粘滞力和表面张力，在材料表面形成均匀的液膜。然后放进烘箱将表面多余水分烘干（设置温度约60℃),再通过UV固化形成硬化层，使树脂板材表面硬度增加，提升耐磨性和耐用性。对晶圆翘曲要求较高者，采用旋涂工艺对材料进行加硬处理，将材料固定在旋转加硬机上，在表面滴上UV固化加硬药水后旋转加硬机将材料提升高度旋转，使加硬药水均匀涂覆在材料上。然后放进烘箱将表面多余水分烘干（设置温度约60℃),再通过UV固化形成硬化层，使树脂板材表面硬度增加，提升耐磨性和耐用性。本项目定期补充因工艺或蒸发损失的加硬液和纯水，加硬槽不产生任何废水及固废。3.水洗：加硬处理后的材料需要进行水洗，采用纯水或中性环保洗剂，配合全自动超声波清洗线进行深层清洁。全自动超声波清洗线设9个水槽，其中材料单独经过1-4号槽（加入纯水和中性环保洗剂）进行清洗，后转移至逆流式的5-9号槽（加入纯水）进一步清洗。清洗后通过自带烘干系统将表面多余水分烘干（设置温度约60℃),保证表面干燥洁净。4.镀膜：镀膜是为了改变树脂晶圆的反射率和透光率，以满足特定的光学需求。在工作过程中会通入氩气和氧气，氩气是工作气体，它属于惰性气体不与其它气体产生反应，氧气用来氧化镀膜材料，利用二氧化硅、五氧化三钛、一氧化硅等材料，通过物理气相沉积（PVD）方法在树脂晶圆表面镀上功能薄膜，属于物理过程，不涉及化学反应；本项目定期采用喷砂装置对镀膜机中固件进行打磨，此过程产生少量粉尘。5.覆膜：在镀膜后的树脂晶圆表面粘贴保护膜，避免周转至后续工序时晶圆表面造成划伤或污染。6.品检：对树脂晶圆进行品质检验。使用去渍水、乙醇清洁后，对树脂晶圆外观目测全检，个别抽检光学、耐磨、色差等性能，挑出不良品。7.水洗：品检合格的晶圆进行水洗，以去除品检过程中可能残留的污染物和杂质。项目采用纯水或中性环保洗剂，配合全自动超声波清洗线进行深层清洁。全自动超声波清洗线设9个水槽，其中材料单独经过1-4号槽（加入纯水和中性环保洗剂）进行清洗，后转移至逆流式的5-9号槽（加入纯水）进一步清洗。清洗后通过自带烘干系统将表面多余水分烘干（设置温度约60℃),保证表面干燥洁净。8.覆膜：对成品树脂晶圆表面粘贴保护膜，以满足保护需求，防止运输和存储过程中出现刮擦或污染。9.包装入库：由人工包装后入库。图4保护片生产工艺流程及产污图工艺流程简述：1.CNC加工：运用计算机数字控制（CNC）技术对树脂板材进行精确加工，按设计要求切割、雕刻出保护片的基础形状。2.水洗：水洗以去除来料、CNC过程中可能残留的污染物和杂质。项目采用纯水、中性环保洗剂，配合全自动超声波清洗线进行深层清洁。全自动超声波清洗线设9个水槽，其中材料单独经过1-4号槽（加入纯水和中性环保洗剂）进行清洗，后转移至逆流式的5-9号槽（加入纯水）进一步清洗。清洗后通过自带烘干系统将表面多余水分烘干（设置温度约60℃),保证表面干燥洁净。3.进行第一次镀膜，工作过程中会通入氩气和氧气，氩气是工作气体，它属于惰性气体不与其它气体产生反应，氧气用来氧化镀膜材料，利用二氧化硅、五氧化三钛、一氧化硅等材料，通过物理气相沉积（PVD）方法在树脂晶圆表面镀上功能薄膜，属于物理过程，不涉及化学反4.水洗：去除镀膜过程中残留的多余杂质，避免影响后续加工，清洗过程和上文相同，清洗后再次烘干。5.镀膜：进行第二面镀膜，镀膜过程和上文相同。6.覆膜：在镀膜后的树脂晶圆表面粘贴保护膜，避免周转至后续工序时晶圆表面造成划伤或污染。7.丝印：通过丝印工艺在保护片表面印制图案、标识等内容。丝印网板需要定期用洗板水进行清洁，本项目采用无挥发成分清洗剂，因此无废气产生，丝印及配套清洗工序会产生危险废物为废油墨及废洗板水。8.CNC加工：运用计算机数字控制（CNC）技术对树脂板材进行精确加工，按设计要求切割、雕刻出晶圆的基础形状。9.水洗：对保护片再次进行水洗，以去除过程中可能残留的污染物和杂质。清洗过程与上文1#清洗线相同，清洗后再次烘干。10.品检：使用去渍水、乙醇清洁后，通过肉眼或显微镜检查保护片片表面是否有划痕、气泡等缺陷。11.覆膜：对成品树脂晶圆表面粘贴保护膜，以满足保护需求，防止运输和存储过程中出现刮擦或污染。12.包装入库：由人工包装后入库。主要污染工序：（1）废水：水洗过程产生的清洗废水，员工办公生活产生的生活污水，纯属制备产生的浓水、纯水机反冲洗废水；（2）废气：加硬固化废气、CNC加工粉尘、丝印固化废气、喷砂废气；（3）噪声：机械设备噪声；（4）固体废物：一般固废（废包装材料、废板材、废膜、废污泥、纯水机更换固废）、危险废物（废活性炭、废墨水、废洗板水、废抹布、含油抹布和药剂废液）。与项目有关的原有环境污染问题一、现有项目回顾及污染源分析（一）现有项目审批内容现有项目主要为两期项目组成，其中一期项目位于珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号6栋1层，主要生产加工产品为增强现实显示光芯片、光波导模组和AR眼镜，产线由模版制作线、波导片生产线、光机基座组装线及成品组装线构成，该项目已于2023年9月26日完成自主竣工环境保护验收，二期项目位于广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号智能制造孵化加速基地3栋1、2层，主要生产加工产品为波导片，由拼版制作线及波导片生产线构成，目前正在建设中。（1）现有项目原辅料情况表15现有项目原辅料情况一览表序号原辅材料名称年用量性质包装规格本项目最大储存量本项目储存位置备注1玻璃晶元25片/盒200盒辅料仓作为衬底，规格为8寸，可制作5片镜片2树脂片材50万片25片/盒500盒辅料仓作为衬底，规格为8寸，可制作6片镜片3硅母板50盒辅料仓测试用片4纳米压印胶2715.5kg液态1kg/桶250桶2F化学品暂存仓防爆柜形成结构5PET膜材0.5t200张/袋辅料仓工作模具基材6PE膜10000片/包辅料仓保护作用7保护膜4t10000片/包辅料仓保护作用8菲林膜60片2片/套辅料仓拼板、抗黏9PE袋//辅料仓包装增粘剂液态35g/瓶200瓶2F化学品暂存仓防爆柜拼板增加附着力脱模剂液态35g/瓶200瓶2F化学品暂存仓防爆柜脱除模板消光油墨513kg液态30g/瓶200瓶2F化学品暂存仓防爆柜消杂散光异丙醇5060L液态20L/桶2F化学品暂存仓防爆柜擦洗去胶液1000L液态0.5L/瓶2F化学品暂存仓防爆柜硬板清洗N-甲基吡咯烷酮3200.5L液态20L/桶62.5L2F化学品暂存仓防爆柜擦洗、清洗匀胶机丙二醇甲醚醋酸酯8502.9kg液态25L/桶2F化学品暂存仓防爆柜匀胶擦边2000L液态0.5L/桶2F化学品暂存仓防爆柜产品擦拭抗粘剂50kg液态25g/瓶1.25L2F化学品暂存仓防爆柜产品擦拭纯水8308.34m3液态//管道输送清洗用水、设备循环冷却水、清洗仪器用水203500m3气态40L/瓶特气室清洗/相关设备供液动力气体21OCA光学胶2000卷20卷/箱200卷辅料仓贴合22无尘布20包/箱辅料仓产品擦拭23200L气态40L/瓶40L特气室清洗/相关设备供液动力气体24200L气态40L/瓶40L特气室清洗/相关设备供液动力气体25成品吸塑盒30000个50个/盒辅料仓包装26成品纸箱/650个辅料仓包装27泡沫板6T/5000个辅料仓包装（2）现有项目生产辅助设备情况表16现有设备情况一览表序号设备名称数量使用工序1全自动打标机2台打码2全自动清洗机玻璃晶圆清洗34-6半自动清洗机4等离子体清洗机5全自动匀胶机旋涂胶材6半自动匀胶机2台7纳米压印机2台纳米压印8纳米压印系统9300mmCLIV纳米压印设备2台激光切割机将整版物料分为单元物料全自动贴合机4台贴合全自动涂墨点胶机在镜片边缘涂墨避免反光并封逃气孔无尘烘箱烘烤硬化压缩空气供气系统4套制造干燥压缩空气真空泵2台进行抽气而获得真空超纯水系统2套制造纯水制氮机以空气为原料，利用物理方法将其中的氧和氮分离而获得氮气冷热冲击试验箱80L检测试样因热胀冷缩所引起的化学变化或物理伤害。快速温变箱408L透过加速应力来使潜存于产品的瑕疵浮现20恒温恒湿箱80L2台模拟自然环境的温度和湿度条件下，对产品恒定的湿度和温度的性能检测21恒温恒湿箱408L4台22高低温试验箱150L2台模拟和测试产品在极端温度条件下的性能和可靠性23高低温试验箱408L2台24淋雨试验箱测试产品在潮湿环境中的性能和可靠性25紫外老化箱通过模拟自然阳光中的紫外辐射和冷凝，对材料进行加速耐候性试验26RCA纸带耐磨试验机耐磨耗试验27铅笔硬度计硬度测试28单柱拉力试验机拉力强度试验29显微镜观测细微瑕疵30钢丝绒耐磨试验机用于产品表面的钢丝绒测试31沙尘试验箱模拟沙尘暴天气对产品的破坏32氙灯老化箱模拟全阳光光谱的氙弧灯来再现不同环境下存在的破坏性光波33镜框扭曲测试仪对镜框进行扭转测试34线材弯折试验机检测断线率35FPC弯折测试机弯折测试36按键寿命试验机对按键进行寿命测试37微跌试验机跌落试验38镜腿弯折寿命试验机对镜腿进行弯折寿命试验39铰链弯折机弯折试验40真空密封性测试仪密闭性测试41滚筒输送42跌落试验机跌落测试43振动测试仪振动测试44X荧光光谱仪(ROHS1.0）X射线测试45XRFROHS2.0RoHS筛查和通用分析46波导性能检测机4台对产品进行波导性能检测1、工艺流程（1）一期项目工艺流程图5模版制作工艺（一期）生产流程图工艺流程简述：①擦洗：在通风橱内，用抹布依次蘸取丙酮、异丙醇、酒精等溶液，擦除硅片上面的杂质、颗粒物。此过程会产生废气、危废。废气由通风橱收集后通过“二级活性炭吸附系统”处理。危废为沾染有机物或化学品的废无尘布、废一次性手套，收集后暂存于危废仓，定期由有资质的单位处理。②匀胶1#：通过全自动匀胶机将电子束胶滴在硅片表面，在设备内部电机带动物料高速旋转，使得电子束胶在硅片表面均匀分布，同时使用丙二醇甲醚醋酸酯去除硅片外围多余的电子束胶，电子束胶保护部分物料区域不被刻蚀。因电子束胶及丙二醇甲醚醋酸酯含VOCs成分，此过程会产生废气、废液。全自动匀胶机为密闭运行，整体框架由优质不锈钢钣金密闭组成，设有排气支管连接匀胶机及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。废液作为危废，收集后暂存于危废仓，定期由有资质的单位处理。③烘烤：原项目使用无尘烤箱对带有电子束胶的物料进行恒温加热约30秒，温度为80℃,使电子束胶固化。此过程会产生废气。无尘烤箱为密闭运行，设有排气支管连接无尘烤箱及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。④电子束曝光：将带有图形的光线、电子束照射物料，形成特定图案。被光照射后的电子束胶发生化学变化，以便后续使用显影液将发生化学变化的电子束胶去除。此过程不产生废气、废液。⑤显定影：将物料放入显影液，使被光照到的部分电子束胶溶解后使用定影液清洗显影液，将感光的电子束胶去除，在电子束胶上形成沟槽，没有感光的电子束胶则不会被清洗下来，便于定影工序的进行，定影液为异丙醇。此过程会产生废气。显影机运行时为密闭，设有排气支管连接显影机及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。⑥烘干：将显定影后的物料使用热板机进行烘干，此过程会产生废气。热板机运行时盖上盖板形成密闭环境，设有排气支管连接无尘烤箱及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。⑦刻蚀：物料上电子束胶薄膜层形成了微图形结构，为获得设计图形的结构，需要通过刻蚀，在电子束胶下面的材料上重现电子束胶上的图形，实现图形的转移。原项目采用干法刻蚀，使用氮气、氩气、氧气、六氟化硫、八氟环丁烷、三氟甲烷、氦气、氯气、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷、氢气等气体，把基片上没有电子束胶掩盖的部分加工表面腐蚀掉，刻蚀工序年操作时间为1984h。干法刻蚀原理：依靠高频辉光放电形成的化学活性有利基与被腐蚀材料发生化学反应的一种选择性蚀刻方法。气体中总存在的微量的自由电子，在外电场的作用下，电子加速运动。当电子获得足够的能量后与气体分子发生碰撞，使气体分子电离发出二次电子，二次电子进一步与气体分子发生碰撞电离，产生更多的电子和离子。当电离与复合过程达到平衡时，出现稳定的辉光放电现象，形成稳定的等离子体（PLASMA）。等离子体中包括有电子、离子、处于激发态的分子、原子及各种原子团（同称游离基）。游离基具有高度的化学活性，正式游离基与被腐蚀材料的表面发生化学反应，形成挥发性的产物，使材料不断被腐蚀。此过程会产生废气。刻蚀过程中刻蚀设备一直处于密闭状态，设有固定管道连接刻蚀设备，使刻蚀设备一直处于负压密闭状态，将尾气送至“等离子火炬+水洗+碱液喷淋”处理，处理后通过36m高的排气筒高空排放，产生的废水委外处理。⑧去胶：在通风橱内，用丁酮、酒精、异丙醇等溶液将基片上保留的电子束胶清洗掉。此过程会产生废气、危废。废气由通风橱收集后通过“二级活性炭吸附系统”处理。危废为沾染有机物或化学品的废无尘布、废一次性手套，收集后暂存于危废仓，定期由有资质的单位处理。⑨抗粘：在通风橱内，手动在基片表面涂抗粘剂、过氧化氢、浓硫酸。利用浓硫酸+过氧化氢将残余的电子束胶中的碳氧化成二氧化碳，将电子束胶进一步从物料上清除，再人工在物料表面涂一层全氟癸基三氯硅烷，形成一层分子涂层，使复制模板时脱模变得容易，起到了抗粘连的作用。此过程会产生废气、危废。废气由通风橱收集后通过“二级活性炭吸附系统”处理。危废为沾染有机物或化学品的废无尘布、废一次性手套，收集后暂存于危废仓，定期由有资质的单位处理。⑩制作模板：经上述的研发工序后，符合要求的物料使用纳米压印胶及底涂剂，在匀胶机内操作制作成模板用于后续生产，此过程会产生废气、废液。全自动匀胶机为密闭运行，整体框架由优质不锈钢钣金密闭组成，设有排气支管连接匀胶机及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。废液作为危废，收集后暂存于危废仓，定期由有资质的单位处理。图6波导片（一期）生产工艺流程图工艺流程简述：①清洗：一期项目光波导镜片使用玻璃晶元或树脂片材作为衬底，根据客户需求选择使用，树脂片材较玻璃晶元轻。原料需使用纯水进行清洗。一期项目采用喷淋清洗机进行清洗，喷淋出的纯水使工件表面污垢剥离，达到清洗物体表面的目的，同时还可以改善材料本身的表面性能，清洗后的物料在清洗机内离心甩干。清洗机需定期补充纯水，清洗废水经石英砂、活性炭过滤以及保安过滤器预处理后，进入RO纯水系统处理后回用于清洗工序，纯水系统产生的浓水排入市政污水管网。②匀胶2#：一期项目使用全自动匀胶机，将纳米压印胶滴在玻璃晶元或树脂片材表面，在设备内部电机带动物料高速旋转，使得纳米压印胶在圆盘形物料表面均匀分布，同时使用丙二醇甲醚醋酸酯去除玻璃晶元或树脂片材圆盘外圆多余的纳米压印胶。因纳米压印胶及丙二醇甲醚醋酸酯含VOCs成分，此过程会产生废气、废液。全自动匀胶机为密闭运行，整体框架由优质不锈钢钣金密闭组成，设有排气支管连接匀胶机及主管道，使设备内部保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。废液作为危废，收集后暂存于危废仓，定期由有资质的单位处理。③烘烤：原项目使用无尘烤箱对带有纳米压印胶的物料进行恒温加热约30秒，温度为80℃,使纳米压印胶固化，由于烘烤温度较低，时间较短，纳米压印胶中的有机溶剂挥发成为有机废气，其他物质则作为涂层牢固地附着在玻璃晶元或树脂片材表面。无尘烤箱为密闭运行，设有排气支管连接无尘烤箱及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。④纳米压印：将烘烤后的物料与PET膜材在纳米压印设备内进行压印，丁酮使掩膜层剥离，最终物料表面成型。此过程会产生废气、废液。纳米压印系统为密闭运行，设有排气支管连接纳米压印系统及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理，并通过“二级活性炭吸附系统”处理。废液作为危废，收集后暂存于危废仓，定期由有资质的单位处理。⑤激光切割：一期项目使用激光切割机，将纳米压印后的物料切割为按需求的尺寸大小，此过程不会产生污染排放。⑥盖板贴合：一期项目使用自动盖板机，在被贴合物料之间填入微量粘合胶，用于后续贴保护膜，此过程会产生废气。自动贴合机为密闭运行，设有排气支管连接自动贴合机及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。⑦涂墨：一期项目使用消光油墨对物料进行边缘的涂墨处理，避免边缘光线干扰影响，此过程会产生废气。涂墨机为密闭运行，设有排气支管连接自动涂墨机及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。⑧包装覆膜：一期项目使用PE膜通过覆膜机热压到物料表面，起到保护及增加光泽的作用，此工序结束后波导片生产完成。图7光机组装（一期）工艺流程图工艺流程简述：①光机基座清洗：项目采用喷淋清洗机对光机基座进行清洗，喷淋出的纯水使工件表面污垢剥离，达到清洗物体表面的目的，同时还可以改善材料本身的表面性能，清洗后的物料在清洗机内离心甩干。清洗机需定期补充纯水，清洗废水经石英砂、活性炭过滤以及保安过滤器预处理后，进入RO纯水系统处理后回用于清洗工序，纯水系统产生的浓水排入市政污水管网。②镜头组件清洗：项目采用喷淋清洗机对镜头组件进行清洗，喷淋出的纯水使工件表面污垢剥离，达到清洗物体表面的目的，同时还可以改善材料本身的表面性能，清洗后的物料在清洗机内离心甩干。清洗机需定期补充纯水清洗废水经石英砂、活性炭过滤以及保安过滤器预处理后，进入RO纯水系统处理后回用于清洗工序，纯水系统产生的浓水排入市政污水管网。③底座粘合：将清洗后的镜头组件与光机基座通过贴合机使镜头组件粘合在光机基座上，过程会用到少量组装贴合胶水，会产生废气。覆膜机为密闭运行，设有排气支管连接覆膜机及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。④底座粘合后烘烤：将底座粘合后的物料送入无尘烤箱对带有组装贴合胶水的物料进行恒温加热约1800秒，温度为70℃,使组装贴合胶水固化，此过程会产生废气。无尘烤箱为密闭运行，设有排气支管连接无尘烤箱及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。⑤剥单：将摄像头模组从高温胶载板上剥离，按预先设定的排列放置到下料盘上。⑥贴装：将摄像头在AA机内进行定位、调焦、点胶、固化。过程会用到少量组装贴合胶水，过程产生少量有机废气在车间内无组织排放。⑦贴装后烘烤：将贴装后的物料送入无尘烤箱对带有组装贴合胶水的物料进行恒温加热约1800秒，温度为70℃,使组装贴合胶水固化，过程产生少量有机废气在车间内无组织排放。⑧封逃气孔：项目使用点胶机把摄像头模组上特定的逃气孔位置进行点胶、固化，过程会用到UV胶，产生少量有机废气在车间内无组织排放。⑨贴辅料：给组装完成的摄像头模组贴上保护膜。⑩包装入库：将贴了保护膜后的摄像头模组入库储存。图8成品组装生产（一期）工艺流程图工艺流程简述：①成品手工组装：人工对波导片及摄像机模组组装成AR眼镜成品，需要用到螺丝、双面胶等，此过程会产生一般固废。②测试：组装后通过跌落试验机、盐雾试验机进行产品环境可靠性测试。③包装出货：测试成功后的产品通过PE袋、塑料盒、纸箱等包装后出货。此过程会产生一般工业固体废物，定期交由相关单位回收处置。（2）二期项目（暂未建设）图9拼版制作生产流程图简述及产污分析：①1#清洗：在全自动清洗机内，选择对应玻璃晶圆尺寸以及对应晶圆工艺配方后，通过三个阶段“纯水清洗-高压清洗-纯水清洗”将物料表面的脏污、异物清洗干净。此过程产生清洗废水，清洗废水经石英砂、活性炭过滤以及保安过滤器预处理后，进入RO纯水系统处理后回用于清洗工序，纯水系统产生的浓水排入市政污水管网。②增粘：在全自动匀胶机使用手动点胶模式，手动在玻璃晶圆上均匀涂抹增粘剂，使增粘剂铺满整个吸盘结构，待匀胶结束后吸盘会将玻璃晶圆送至加热板内，在120℃环境下加热1min，增粘工艺结束。此过程会产生有机废气，全自动匀胶机为密闭运行，整体框架由优质不锈钢钣金密闭组成，设有排气支管连接匀胶机及主管道，使设备内部保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理。③1#压印：在半自动匀胶机内对硅母板进行匀胶，取出硅母板并手动对其擦边，将PET膜和工装夹具放入半自动压印机内，将擦边完成的硅母板放入半自动压印机对位，选择对应的产品工艺配方进行工作模具压印，压印结束取出硅母板。将玻璃晶圆放入半自动压印机进行首件压印。在工作治具上拆下已压印好的PET膜，使用保护膜覆盖其结构区后送至全自动拼板机，在工作治具上对菲林、PET膜、对位卡进行对位，对位完成后将工作夹具放入全自动拼板机内，将已匀胶好的玻璃晶圆放置在全自动拼板机的吸盘结构上，选择对应产品的工艺配方，随后进行拼板压印。此过程产生有机废气和废PET膜、废菲林、废保护膜。纳米压印系统为密闭运行，设有排气支管连接纳米压印系统及主管道，使设备内保持负压，运行时将废气送入“二级活性炭吸附系统”处理后引至35m高排气筒排放。废PET膜、废菲林、废保护膜收集后暂存于一般工业固废仓，定期由相关资源单位回收处理。④硬板清洗：使用半自动、全自动匀胶机的拼板清洗工艺对硬板进行清洗，先使用去胶液浸泡3min，再使用乙醇洗掉表面去胶液，重复两组后清洗完成。半自动、全自动匀胶机为密闭运行