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文档简介

使用说明1管式炉用途：目前有大小两种管式炉，两者均能通氮气（惰性气氛）进行热处理实验；大炉子开始应用于CVD（化学气相沉积）。装置：气体流量；石英管；炉子。使用说明2管式炉使用方法如图示，顺时针旋转解开lock，显示turnon的状态。按下右上角A/M键开始设置温度和时间，每设置好一个参数按下左上角按钮确定。程序升温即表示升温过程按设定参数进行，C01经过t01后达到C02，再经过t02达到C03，以此类推。设定的参数为起始/终止温度及其时间段。实验前要了解实验所需升温速率及保温时间设置参数完毕，同时按下第一排的两个按钮归位至起点，长按左下角RUN开启升温。使用说明3气体流量装置流量装置可通入氢气，氮气，乙炔和甲烷（左到右）。目前使用：氮气和乙炔惰性气氛热处理，需要先氮气吹扫。开启流量装置和相应气体，将示数下的档位拨至清洗档即吹扫10min，再拨至阀控档即可开始升温。使用说明4使用管式炉，石英管1)Fig1,石英管右端装有法兰，适当调整长度a<b,以免管子产生应力损坏；承受温度≤900℃；2)Fig2,瓷舟内含KOH样品膨胀较大会引起样品受热区域的改变，可适当调整位置。可适当减少样品量减少KOH对石英管的腐蚀；3)Fig3,高温区域尽量避免管子可能腐蚀损坏的位置。另外，CVD系统单独使用石英管。使用说明5马弗炉用途及使用方法马弗炉常用于制备氧化物材料中的热处理过程。马弗炉不能通入惰性气体。

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