标准解读

GB/T 47631-2026《光学功能薄膜 表观质量的扫描显微镜测试方法》是一项国家标准，旨在规范使用扫描显微镜技术对光学功能薄膜表面质量进行评估的方法。该标准适用于各种类型的光学功能薄膜，包括但不限于抗反射膜、增透膜、滤光膜等，在研发、生产以及质量控制过程中对于薄膜表观缺陷如划痕、凹坑、颗粒污染等进行检测时可参考执行。

标准详细描述了测试前准备工作的具体步骤，比如样品的选择与处理方式；规定了适合不同类型薄膜特性的扫描电子显微镜（SEM）或原子力显微镜（AFM）参数设置指导原则；明确了图像采集过程中需要注意的关键点，确保所获得数据具有代表性且能够准确反映被测样品的真实状况；还提出了基于图像分析来量化表征薄膜表面缺陷特征的方法论，包括但不限于尺寸测量、形态分类及分布统计等。


如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。

....

查看全部

  • 即将实施
  • 暂未开始实施
  • 2026-05-25 颁布
  • 2026-12-01 实施
©正版授权
GB/T 47631-2026光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜测试方法_第1页
GB/T 47631-2026光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜测试方法_第2页
GB/T 47631-2026光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜测试方法_第3页
免费预览已结束，剩余9页可下载查看

下载本文档

GB/T 47631-2026光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜测试方法-免费下载试读页

文档简介

ICS7108099

CCSG.15.

中华人民共和国国家标准

GB/T47631—2026

光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜

测试方法

Opticalfunctionalfilms—Scanningmicroscopetestmethodsforapparentquality

2026-05-25发布2026-12-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T47631—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国石油和化学工业联合会提出

。

本文件由全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会归口

(SAC/TC431)。

本文件起草单位中国乐凯集团有限公司合肥乐凯科技产业有限公司中国科学院理化技术研究

:、、

所宁波激智科技股份有限公司江阴华美光电科技有限公司安徽省产品质量监督检验研究院

、、、。

本文件主要起草人夏江南高建辉周迪田坤孙璐阳刘世军齐海潮刘玉磊王上丹孙晶晶

:、、、、、、、、、、

徐倩倩周树云余洋姚帮本丁燕

、、、、。

Ⅰ

GB/T47631—2026

光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜

测试方法

警告本文件符合所有关于使用高压和产生激光设备的正常和可接受预防措施

:。

1范围

本文件描述了通过扫描电子显微镜激光扫描共聚焦显微镜对光学功能薄膜产品

(SEM)、(CLSM),

表观质量的检测方法

。

本文件适用于光学功能薄膜

。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

膜内点inclusion

基体中的颗粒

。

32

.

膜外点surfaceparticle

超过的体积在表面上的颗粒

3/4。

33

.

凹坑pit

基体表面出现的小而尖锐近似圆形的凹陷

、。

34

.

划伤scratch

基体表面上的一维缺陷

。

35

.

沟槽groove

基体表面上具有深度和宽度的表面二维缺陷

。

4测试原理

41利用电子束与样品的相互作用通过电子光学系统信号检测与处理系统实现高分辨率的微

.SEM,、

观形貌成像

。

42利用单色激光扫描束经过照明针孔形成点光源对样品内焦平面上的每一点进行扫描样

.CLSM,,

品上的被照射点在检测器的检测针孔处成像由检测针孔后的光电倍增管逐点或逐线接收迅速

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
  • 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
  • 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。

最新文档

评论

0/150

提交评论