CN113725145B 晶圆转移机械臂、转移方法以及晶圆夹具 （上海大族富创得科技股份有限公司）

司CN216288367U,2022.04.12KR20090012702A,2009本体用于带动晶圆夹具平移和/或旋转。本发明2机械臂本体，所述晶圆夹具设置于所述机械臂本体上，所述机械臂所述托爪盘上设置有四个呈一矩形排布的所述托爪块，四个所述托爪3相邻两所述限位面的之间的最小距离小于所述限位装置，所述限位装置包括推杆和驱动机构，所述驱动机构所述托爪盘上设置有四个呈一矩形排布的所述托爪块，四个所述托爪9.根据权利要求5所述的晶圆夹具，其特征在于，包括多个依次间隔层叠设置的托爪和/或同一所述托爪盘模组内的多个所述托爪盘的相对4所述托爪盘包括承托部和连接部，所述连接部与所述壳体连接，56[0019]S104控制所述推杆向所述收容空间移动，以推动位于其内的所述晶圆向一侧移包括至少一组相互连接的承托面和限位面，以形成至少一用于容纳并承托晶圆的收容空容空间的相邻两所述限位面的之间的最小距述托爪盘模组内的多个所述托爪盘的相对高度可调。7盘的厚度方向的相对两侧，且所述托爪盘上对应所述传感器的检测工位设置有第二避让[0045](1)本发明通过设置包含有限位装置的晶圆夹具，将位于收容空间内的晶圆进一[0046](2)本发明通过设置托爪盘模组达到设置多个托爪盘，提高了托爪盘装配效率和8基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有9位于收容空间内的晶圆1进一步夹持限位在推杆523和托爪块522之间，从而避免晶圆夹具穿设于第一避让孔52111内，并在驱动机构524的驱动下沿第一避让孔52111的长度方向进[0079]可以理解的是，此时，收容空间为由多个托爪块522的对应承托面5222和限位面还可以设置更多组相互连接的承托面5222和限位面5221，形成了更个不同直径的收容空[0080]同一收容空间内的相邻两个限位面5221的最小距离小于晶圆1的直径，使得推杆外部延伸，从而形成类似喇叭的形状，使得限位面5221同时能够引导晶圆1滑向承托面爪盘模组521包括连接座5212和与连接座5212连接的多个托爪盘5211，且多个托爪盘5211沿连接座5212的高度方向依次间隔层叠设置。具体地，本实施例中设置有个托爪盘模组[0089]优选地多个托爪盘模组521的相对高度可调，和/或同一托爪盘模组521内的多个装到立板上，让最上层支撑块或其他层支撑块对应设置的搭接耳52123与支撑耳板5251搭个承托面5222和限位面5221连接处所形成感器526的发射端和接收端分别设置于托爪盘5211的厚度方向的相对两侧，且托爪盘5211上对应传感器526的检测工位设置有第二避让孔52112。第二避让孔52112可以与第一避让[0094]本实施例中，托爪盘5211上设置有四个呈一矩形排布的托爪块522，四个托爪块2为晶圆1在原载具中的水平偏移距离，w1为所述承托面5222在水平面上正投影的