激光测量技术第六章激光其他测量技术

激光测量技术第六章激光其他测量技术第1页，共51页。第一节激光多普勒(Doppler)测速技术1842年Doppler发现: 任何形式的波传播，由于波源、接收器、传播介质或散射体的运动，会使频率发生变化，即所谓的多普勒频移。1964年，Yeh和Cummins首次观察到水流中粒子的散射光有频移，证实了可用激光多普勒频移技术来确定粒子流动速度。激光多普勒频移技术应用:流体力学、空气动力学、燃烧学、生物医学以及工业生产中的速度测量。2006年3月6日星期一第2页，共51页。一、多普勒测速原理激光多普勒侧速术(LDV)的工作原理:基于运动物体散射光线的多普勒效应多普勒效应引起多普勒频移的原因:a波源或者接收器的移动b波传输通道中的物体运动产生对于a种情况:

2006年3月6日星期一第3页，共51页。b波传输通道中的物体运动产生这种情况是LDV的基本测速原理从p点看:从U处看:因为:2006年3月6日星期一第4页，共51页。b波传输通道中的物体运动产生如果接收散射光和光源人射光之间的夹角为θ，则式(6-7)可以写为或从6-8式知,测出频移即可以计算出移动速度来由于光频率极高,一般采用在实际测量中，多采用光外差多普勒测速技术，即把人射光和散射光同时送到光接收器上，由光电器件的平方律检波特性，在它们的输出电流中只包含两束光的差频部分，这样能接收到由于粒子的运动速度所引起的光频微小变化。2006年3月6日星期一第5页，共51页。二、激光多普勒测速仪的组成激光多普勒测速仪(LaserDopplerVelocimeterLDV)组成:激光器、光学系统、信号处理系统2006年3月6日星期一第6页，共51页。二、激光多普勒测速仪的组成(一)激光器

多普勒频移相对光源波动频率来说变化很小，因此，必须用频带窄及能量集中的激光作光源。为便于连续工作，通常使用气体激光器.如He-Ne激光器:功率较小，适用于流速较低或者被测粒子较 大的情况氩离子激光器:功率较大，信号较强，用得最广。(二)光学系统LDV按光学系统的结构不同，可分为:双散射型、参考光束型和单光束型三种光路。参考光束型和单光束型LDV在使用和调整方面条件要求苛刻，一般不采用。常用双散射型2006年3月6日星期一第7页，共51页。二、激光多普勒测速仪的组成A单光束型

特点:测量速度高,适合超音速测量,调整麻烦,测量结果与角度有关2006年3月6日星期一第8页，共51页。二、激光多普勒测速仪的组成B、参考光束型2006年3月6日星期一第9页，共51页。二、激光多普勒测速仪的组成C、双散射型特点：散射光的频差与光电探测器的方向无关。使用时不受现场条件的限制，可在任意方向测量，且可使用大口径的接收透镜，粒子散射的光能量极大地得到利用，信噪比高。进人光电探测器的散射光来自两束具有同样强度的光线的交点，它对所有尺寸的散射微粒都发生高效率的拍频作用。避免了信号的“脱落”现象。调整时只需根据两束光交点处干涉条纹的清晰度进行调整，使用很方便。2006年3月6日星期一第10页，共51页。(三)信号处理系统激光多普勒信号非常复杂：由于流速起伏，所以频率在一定范围内起伏变化，是一个变频信号。因粒子的尺寸及浓度不同，散射光强发生变化，则频移的幅值也按一定的规律变化。粒子是离散的，每个粒子通过测量区又是随机的，故波形有断续且随机变化。光学系统、光电探测器及电子线路存在噪声，加上外界环境因素的千扰，使信号中伴随许多噪声。 信号处理系统的任务是从这些复杂的信号中提取那些反映流速的真实信息，传统的测频仪很难满足要求。2006年3月6日星期一第11页，共51页。(三)信号处理系统多普勒信号处理方法主要有:

频谱分析法、频率跟踪法、频率计数法、滤波器组分析法、光子计数相关法扫描干涉法等。1）频率跟踪法2006年3月6日星期一第12页，共51页。(三)信号处理系统1）频率计数法原理:计算n个脉冲的时间,计算出多普勒频移的平均周期,从而计算出频移,n为设定的脉冲数目,N为时钟数目,T为时钟周期2006年3月6日星期一第13页，共51页。三、激光多普勒测速技术的应用激光多普勒测速仪(LDV)特点:具有非接触测量不干扰测量对象测量装置可远离被测物体应用:生物医学流体力学空气动力学燃烧学等领域2006年3月6日星期一第14页，共51页。三、激光多普勒测速技术的应用1)血液流动/定位2006年3月6日星期一第15页，共51页。三、激光多普勒测速技术的应用2)管道内流体的测量2006年3月6日星期一第16页，共51页。四、多普勒全场测速技术LDV是对流场中的某一固定点进行测量，如要做全场测量，则需逐点扫描，故只限于变化较小的流动，不能用于非定量流多普勒全场测速技术(DopplerGlobalVelometerDGV)，可对流体做全场测量，对粒子的选择、播发没有严格的要求，特别适合于气流测量。1）DGV原理利用了某些物质的选择吸收特性，把多普勒频移转换成光的强度，通过视频相机拍摄后进行处理，获得全场的速度信息，从而实现全场、实时及三维测量。2006年3月6日星期一第17页，共51页。1）DGV原理分子碘、溴蒸气或碱蒸气是最合适的吸收物质，它们的原子和分子有很多吸收线能匹配现有的激光频率，氢粒子激光的514.5nm谱线在碘吸收线的近旁，YAG激光倍频后的532.0nm谱线与碘及嗅相配。一般工作在f1-f2段，中心频率fi处于激光器的中心频率附近，f1-f2的带宽约为600MHz。由于不同频率对应不同的透过率，这样把频率变化转化为光强的大小2006年3月6日星期一第18页，共51页。1）DGV原理将分子蒸气灌注在一个密封容器中，并保持恒温，如把缓冲气体加进分子蒸气室中，可增加吸收区以扩宽频率范围。由于从不同方向人射于分子蒸气的光线互不干扰，故可对整个视场各点同时进行测量。此分子室成为一个分析器，或称做鉴频器，它是本技术的一个关键部件。光线经过鉴频器后,转化为光强分布术的一个关键部件。用一台视频相机(如CCD摄像机)对被光屏照明的物面进行拍摄，记录由该物面散射并透过鉴频器后的光线。视频信号采集后送人计算机进行分析处理，得到实时的全场定量速度值。2006年3月6日星期一第19页，共51页。1）DGV原理3D速度测量:需要三套测量装置,不同放置来建立方程获得2.测量装置2006年3月6日星期一第20页，共51页。2.测量装置测量过程:1)t=CCD1/CCD2求出每一点的透射率设3分光镜的透射率为t1,光强为I,则CCD1路的光强为：I/（1+t1）CCD2路的光强为：I*t1/（1+t1）6滤光片的透射率为tf5鉴频器的透射率为T(f)CCD的转化效率为a则CCD1和2的输出电压分别为

2006年3月6日星期一第21页，共51页。测量过程:2)由t查表查出每一点的频率f已知t=F(f)3)求出每一点的频移Δf=f-f04)求出每一点的速度:Δf=V﹒

(U-K)/λ2006年3月6日星期一第22页，共51页。DGV注意事项由于两CCD要求像面完全重合,光程应该尽量一致测量为CCD1与CCD2输出电压的比值,因此两CCD参数尽量一致,其物理参数尽量一致的同时,曝光时间、采样间隔应严格同步由于求频率是由鉴频器的特性决定,鉴频器应该恒压\恒温措施2006年3月6日星期一第23页，共51页。第二节激光扫描测径技术激光扫描测量直径是1972年Zygo公司发展起来的一种技术，有人称之为LaserTele-metricsystem，有人称之为LasershadowGauge近在工件外形尺寸测量中得到广泛应用，应用最多的是侧量线材直径。其原理:用一束平行光以恒定的速度扫描线材，并由放在线材对面的光电接收器接收，投射到光电接收器上的光线在光束扫描线材时被遮断，所以光电接收器输出的是一个方波脉冲，脉冲宽度与线材直径成正比。2006年3月6日星期一第24页，共51页。一、转镜扫描测径2006年3月6日星期一第25页，共51页。一、转镜扫描测径设晶体的振荡频率为V，，电机转速为n，多面体的面数为N，透镜焦距为f’，通光孔径为D，被测件扫描的平均次数为m，则电机转动的角速度ω=2πn反射光束转动的角速2ω线速度:V扫=f’*2ω=4

πnf’一个计数脉冲对应的间距为:δ=V扫*1/V=4

πnf’/Vd直径对应的脉冲数:A=d/δ=dV/4

πnf’所以:d=4

πnf’A/V从公式上看:V越大,分辨率越高,f’越小分辨率越高2006年3月6日星期一第26页，共51页。1.转镜扫描测径仪的组成转镜扫描测径仪由三部分组成:测量头、数字显示装置以及电源。测量头由激光器、同步电机、多面体反射镜、光学系统和光电管等组成一个整体。根据被侧件情况，必须相应考虑冷却、通风及防尘等措施。数字显示装置可以显示被测件直径的绝对值或偏差值。电源部分包括氦氖激光电源和同步电机专用电源。 转镜扫描侧径仪通常用于直径较大的线材直径侧量。根据不同参数的测量头，可测直径为0.5---30mm。仪器可以设计成同时测量水平、垂直两个方向的直径，以便获得被测件的椭圆度。2006年3月6日星期一第27页，共51页。2.大直径的测量2006年3月6日星期一第28页，共51页。二、音叉扫描测径对于线径在0.5mm以下的物体，由于线径小，扫描区间窄，扫描镜不需要大幅度的转动，因此可以采用音叉或电流计等作为镜偏转驱动装置。音叉扫描测径方法适合于测量线径60一200um的金属丝或光导纤维，(当丝无横向运动时可达500um左右)测量精度为1%。2006年3月6日星期一第29页，共51页。二、音叉扫描测径1.原理图2006年3月6日星期一第30页，共51页。二、音叉扫描测径设扫描光点的运动方程为:

光点在扫描方向横切细线两侧的时间为t1和t2,坐标为S1和S2，则

如果参考信号的运动方程为:

2006年3月6日星期一第31页，共51页。二、音叉扫描测径在t1和t2时所截取的电压分别是电压差:2006年3月6日星期一第32页，共51页。三、扫描镜电流计测径2006年3月6日星期一第33页，共51页。四、位相调制扫描测量技术影响激光扫描测量精度的主要因素：

工件边缘的衍射现象。衍射使被测工件的边界模糊，用时间脉冲计数时，必然引人误差，使前述的光点扫描测量精度限制在士0.01mm。位相调制扫描测量技术采用空间调制光束来扫描工件，通过测量位相，而不是测时间来获得被测件的尺寸，测量精度可达士1um，适合于各种高温、高压下做非接触高精度现场测量。2006年3月6日星期一第34页，共51页。四、位相调制扫描测量技术2006年3月6日星期一第35页，共51页。四、位相调制扫描测量技术设PBS分开的两束光的光强相等，则扫描光①、②、③之间的光强I1,I2.I3，有如下关系:若Pockels调制器的振荡频率为。，由图6-18可知，光束①+③是(I1+I3)(1+sinwt)。而光束②的方程是I2(1-sinwt)。对任意时刻，调制扫描光束的表达式为2006年3月6日星期一第36页，共51页。四、位相调制扫描测量技术1当光束③与工件相遇时为a区，扫描光束扫过工件后为a‘区2当工件边缘开始挡住光束③或①时，这时为b区和b'区3当工件边缘开始挡住光束②到全部挡住光束②时2和3的信号正好相差pi2006年3月6日星期一第37页，共51页。四、位相调制扫描测量技术2006年3月6日星期一第38页，共51页。第三节激光测距技术常用的测距技术:雷达/无线电测距时间回波超声测距回波相位激光测距无导轨测距:短程:合成波长半导体激光调频测距远距离(几千米)测量的技术:激光相位测距 脉冲激光测距2006年3月6日星期一第39页，共51页。一、激光相位测距(一)激光相位测距原理·相位测距是通过对光的强度进行调制来实现的。波的传播方程若测量出某一时刻的相位，则测出波通过的距离2006年3月6日星期一第40页，共51页。一、激光相位测距为方便测量出相位变化，一般采用反射式。L=λ/2（m+Δm)实际上：1.cos为2π周期的函数，不能直接测出m的变化量2.一般的检相电路,只能检出0-2π之间的相位变化3.激光频率高达1014一般技术难以检测;即使能检测,波长很短无太多使用价值2006年3月6日星期一第41页，共51页。(一)激光相位测距原理相位测量技术只能测量出不足2π的相位尾数△φ，即只能确定余数△m=△φ/2

π，而不能确定相位的整周期数m。因此，当被测距离L大于Ls时，用一把光尺是无法测定距离的。当距离小于Ls时，即m=0时，可确定距离所以:一般采用调制技术,变相增大测量范围,即增大波长 为能实现长距高精度测量，可同时使用L。不同的几把光尺。最短的尺用于保证必要的测距精度，最长的尺用于保证测距仪的量程。目前，采用的测距技术主要有直接测尺频率和间接测尺频率两种。2006年3月6日星期一第42页，共51页。(二)激光相位测距技术1.直接测尺频率由测尺量度Ls。可得光尺的调制频率这种方法所选定的测尺频率fs直接和测尺长度Ls相对应，即测尺长度直接由测尺频率决定，所以这种方式称为直接测尺频率方式。直接测尺频率一般应用于短程测距2006年3月6日星期一第43页，共51页。2.间接测尺频率(合成波长)间接测尺频率法测距的基本原理:即通过测量fs1和fs2频率的相位尾数并取其差值来间接测定相应的差频频率的相位尾数。通常把fs1和fs2称为间接侧尺频率，而把差频频率称为相当侧尺频率。36和37式分别乘fs2fs1相减得式中：2006年3月6日星期一第44页，共51页。(三)相位测量技术2006年3月6日星期一第45页，共51页。(三)相位测量技术2006年3月6日星期一第46