CN113919728B 工艺流程管理方法及设备 （长鑫存储技术有限公司）

本申请实施例提供了一种工艺流程管理方该主流程包括按预设顺序设置的多个主工艺步业节点和第二作业节点之间至少包含一个主工2提供工件待加工的主流程，所述主流程包括按预设顺序设置的多个于所述多个主工艺步骤前后以及各相邻所述主工艺接收对所述工件的流程项目变更请求，所述流程项目变更请求包括变所述变更作业时间控制区间请求包括新增或修改试验流程，以得到第当所述第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间若所述第一试验流程未设置安全作业时间，则输出所述若所述已删除的试验流程设置有安全作业时间，则输出若存在所述第一试验流程，则输出所述第一提醒消息，所述第一提醒在删除所述作业时间控制区间后，确定是否存在起始作业节点与若存在所述目标子流程，则输出第二提醒消息，所述第二存储模块，用于提供工件待加工的主流程，所述主流程包括按预3接收模块，用于接收对所述工件的流程项目变更请求，所述流当所述第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间若所述第一试验流程未设置安全作业时间，则输出所述若所述已删除的试验流程设置有安全作业时间，则输出若存在所述第一试验流程，则输出所述第一提醒消息，所述第一提醒在删除所述作业时间控制区间后，确定是否存在起始作业节点与若存在所述目标子流程，则输出第二提醒消息，所述第二所述至少一个处理器执行所述存储器存储的计算机执行指令，使得所4所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，当处理器执行所述计算机程序被处理器执行时，实现权利要求1至3任一项所述的工艺流程管理方5[0006]提供工件待加工的主流程，所述主流程包括按预设顺序和位于各所述主工艺步骤前后以及相邻所述主工业节点和所述第二作业节点之间至少包含一个所述主[0013]当所述第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制提醒消息用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全6提醒消息用于提醒用户删除所述已删除的试验流程对应的安全第二作业节点，所述第一作业节点和所述第二作业节点取自所述主流程上的所述作业节7[0039]当所述第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制提醒消息用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全提醒消息用于提醒用户删除所述已删除的试验流程对应的安全[0062]本申请实施例所提供的工艺流程管理方法及设备，在变8[0077]在集成电路领域或半导体(Semiconductor)领域中，部分生产工艺段落需要严格控制作业时间，除了在单个流程上设定作业时间外，还可能需要跨流程(主流程与实验流9骤的加工总时长需要控制在每个作业时间控制区间预设的作业[0099]示例性的，上述流程项目变更请求可以包括在主流程中新增作业时间控制区间、取流程项目变更请求中新增/修改/删除的作业时间控制区间的起始作业节点与结束作业继续判断上述生产系统数据库中或者上述流程项目变更请求中是否存在对应实验流程取[0106]若判断出实验流程的起始作业节点与结束作业节点只有一个在主流程的某个时验流程；若第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间[0125]假设上述变更作业时间控制区间请求为在主流程中新增“作业时间控制区间d~作业节点时，则可以确定用户是否存在删除起始触发时间节点与结束触发时间节点的操束触发时间节点2为新增或者修改后的作业节点时，需要确定切出作业节点与切入作业节节点2为需要删除的作业节点时，则可以确定用户是否存在删除切入作业节点与切出作业业节点被相关的两个触发时间节点分割/跳过，或者相关的两个触发时间节点被切出作业[0144]基于上述实施例中所描述的内容，本申请实施例中还提供一种工艺流程管理装间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或模块的间接耦合或通信连部设备互连(PeripheralComponent，PCI)总线或扩展工业标准体系结构(Extended[0180]上述存储介质可以是由任何类型的易失性或非易失性存储设备或者它们的组合[0181]一种示例性的存储介质耦合至处理器，从而使处理器能够从该存储介质读取信储介质可以位于专用集成电路(ApplicationSpecificIntegratedCircuits，简称：