2021 纳米技术 纳米材料电阻率的接触式测量方法 通则

犌犅／犜４０００７—２０２１

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４．２834567（Ｂ7）………………２

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５．１A(?@……………４

５．２B(?@……………４

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７FGH@…………………６

７．１IJ…………………６

７．２KL…………………６

７．３MN…………………６

７．４JOPQC.………………………６

８FGCD…………………６

８．１R7ST……………６

８．２Ａ7…………………７

８．３Ｂ7…………………７

８．４Ｃ7…………………８

９UVWX…………………９

９．１YZD[;\]C.R7^UV…………………９

９．２_`ab[;\]C.R7^UV………………９

９．３cd[;\]C.R7^UV……………………９

１０CDef…………………９

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ghＢ（iL&gh）Ｂ7CDjk……………………１３

ghＣ（iL&gh）Ｃ7CDjk……………………１６

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犌犅／犜４０００７—２０２１

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犌犅／犜４０００７—２０２１

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ＧＢ／Ｔ３２２６９>.^?@()+,-./&('o)*。

３．１

%&)*狀犪狀狅犿犪狋犲狉犻犪犾

ÞABC=d、DCEFGHIJ'‚Pd^ˆL。

［ＧＢ／Ｔ３０５４４．１—２０１４，./２．４］

３．２

+,-狉犲狊犻狊狋犻狏犻狋狔

ρ

ˆLDC^;K;Lbd-M3;KNdOP，QŒNRD^NR;ü。

３．３

DEFGH5狊狋犪狋犻犮犳狅狌狉狆狉狅犫犲犿犲狋犺狅犱

‚MNˆLSaÏT，(456;ü]CD=CDÏTFGUVz，y'WXY_a，ZCÏT

FG^aÉNd[X2\-]，CD^aÉNd(^;ü]^R7。

３．４

IEFGH5犱狔狀犪犿犻犮犳狅狌狉狆狉狅犫犲犿犲狋犺狅犱

‚MNˆL-_SaÏT，(456;ü]CD=CDUVz，y'XY`a，ZCG^aÉN

d-`]„，CDZCGa-baÉNd(^;ü]^R7。

１

犌犅／犜４０００７—２０２１

４JK

４．１DEFGH5（犃5）

CD01cd１［１］。e)ÏAf9^456gfaahWi¹^FGjkFGl。Bm56１、5

6４nA;K犐，Dm56２、56３noÏ;a犝pÛ。qFGrd犺＞４犾Ã，456gsFG^;

ü]ρrsµÿ（１）®t，FGrd犺≤４犾Ã，456gsFG^;ü]ρrsµÿ（２）®t。

犝

ρ＝２π犾犐…………（１）

犝

ρ＝２π犾犐·犉…………（２）

ÿz：

ρ———456gsFG^;ü]，Œuvwx‚（Ω·ｃｍ）；

犾———56yz，Œux‚（ｃｍ）；

犝———Dm:{;<”C^fK;a|，Œu}ž（Ｖ）；

犐———Bm:{;<”_`fK;K|，Œu

~（Ａ）；

犉———8yz，{€FGrd犺、f犇-56yz犾，‚=>^8yzFƒ„。

L１DEFGH523JKMNL

４．２IEFGH5（犅5）

CD01cd２。…‚MNˆL†‡ˆ‰FGŠz，FGA‹GŒe)ÏAf9^456N

ýþ，[FGŠD^FGŽ#_，‚MNˆLŽ‘’a，CDFGa-baÉNd(^;ü]

ρ，Œ“aÉNd”3(;ü]^CD01-４．１z234567^CD01A•，®tbÿ（１）E

ÿ（２）。CD-baÉNd犱(;ü]ρ，f–‚MNˆL’aÉ，;ü]—'M.，˜™犱ρšy›

9d，cd３。

２

犌犅／犜４０００７—２０２１

L２IEFGH523JKMNL

L３犱ρOPQR

４．３IEFRS+T5（犆5）

CD01cd４。…‚MNˆL‡œˆ‰FGŠz，l、(pq;<ŒZCGNýþ，l、(

pq;<žý`a‡Ÿ，aA.^a(，AUpq;<tFG:‹A;K犐，;aFCDl、(pq;

<On^;a犝，{€vw.

，FG^;ü]rµÿ（３）®t。Ž‘¡`_aa，CD-baÉNd

犱(^;ü]ρ，f–‚MNˆL’aÉ，;ü]—'M.，˜™犱ρšy›9d，bd３。

犝犛

ρ＝犐×犺×１０－１…………（３）

ÿz：

ρ———FG^;ü]，Œuvwx‚（Ω·ｃｍ）；

犝———l、(pq;<n^;a，Œu}ž（Ｖ）；

犐———l、(pq;<n^fK;K|，Œu

~（Ａ）；

犛———ˆL¢£GR，ŒujR¤‚（ｍｍ２）；

犺———FGŠzFG^rd，Œu¤‚（ｍｍ）。

３

犌犅／犜４０００７—２０２１

L４IEFRS+T5+,-23JK

５UVWX

５．１6=WX

A(?@ËÌ!"¥K;¿、z¦;aF、§¨©、;²ªj、rd®E«‰F。

５．２Y=WX

５．２．１犃5UVWX

５．２．１．１aO¬：7¹ab–/１５ＭＰａ，­®¯°f犇≥１０犾（^­®.…MNFGaÏrd犺≤４犾

^I±O，犾u56n²）E犇≥１１犾（^­®.…MNFGaÏrd犺＞４犾^³ˆErd犺≤４犾^I±

O，犾u56n²）。

５．２．１．２´J¬Eµ¶‡Ÿ。

５．２．１．３456‡Ÿ。

５．２．２犅5UVWX

５．２．２．１`a‡Ÿ：`a·ýþFG‹uˆ‰ˆL。

５．２．２．２FGŠ：D¸uˆ‰ˆL，¯°f犇≥１０犾（^­®.…MNFG'aHÏrd犺≤４犾^I±

O）E犇≥１１犾（^­®.…MNFGaÏrd犺＞４犾^³ˆErd犺≤４犾^I±O）。

５．２．２．３456‡Ÿ：456¹6ºB，6»C‰S!¼a(（El）`a·ˆ‰ˆL½，6ºŒ`a·

J'bAjG，56n^ˆ‰;ü（!"6ŒB¾）¹'１０３ＭΩ。cd５。

４

犌犅／犜４０００７—２０２１

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２———l`aÀ；６———(·；１０———FGŠˆ‰DÇ；１４———;aCDpÛ。

３———l`a·；７———aÁÂ>；１１———rdCD=；

４———FGŠ；８———ÃÄ；１２———456；

L５IEFGH+,-23UZ[MNL

５．２．３犆5UVWX

５．２．３．１¥a`ȇŸ，`a·ýþFG‹u±ojÀ‡^pq;<，l、(pq;<ŒFGŠ®³

ÉÊËÌd，;<FGjÍ，.NýþFGFG；D¸uˆ‰ˆL^FGŠ。Îd６”j。

¿Ó：

１———`a‡Ÿ；４———FGŠD¸；７———aÁÂ>；１０———FGŠ；

２———rdCD=；５———(pq;<；８———aÕj>；１１———;aF；

３———lpq;<；６———ÏÐ\Ñ·；９———FG；１２———¥K;¿。

L６IEFRS+T+,-UZ[MNL

５

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６23\?

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６．２u×¹ØsÙÚÛó>aCD;Ûz.¾'œÜó;K，ÝÞ;ü]CDa;ßàáE*(

âã。

６．３a6äÒÓE*(âãCDÃ，*aCDefz1Ó。

７]^_X

７．１`a

…‚IJ§¨–¥å，æçŸ'§¨>zèé–ÊÔ@(。êSJ1˜™^IJHÏf犇≥

１０犾^%I±O–/３O，EFG뉙ÞA56^7s²ì≥１０犾^Oˆ–/３O，í[OˆFG

îïjÍ。

７．２b*

…‚ˆLKHÏIJ，¹ðñò，§¨çJórd犺ôu２５μｍ，õ.{€Éö*(÷øÍ，ù*

úûrd犺≤４犾。êSJ1˜™^IJHÏf犇≥１０犾^%±O–/３O，EFG뉙ÞA56

^7s²ì≥１０犾^Oˆ–/３O，í[OˆFGîïjÍ。

７．３cd

７．３．１…‚MN§¨–¥å@(。

７．３．２…A.«D（犿）^‚MNˆLŸ'aO¬D，aA.^ab（狆）(aÏrd犺≤４犾^îïj

Í^I±O，EaÏrd犺＞４犾FG뉙ÞA56^7s²ì≥４犾^³ˆ，æç…aÊ^FG§

¨–¥å@(。^#$&('Ａ7。

７．４aefg2B

C˜７．１、７．２-７．３．２zI±OE´ó^rdu犺，fu犇。

８]^23

８．１45hi

SJ1ç^FG{€F１STÌ&^R7âãCD。

j１`a、b*、cd+,-2B.2345hi

CDR7IJKLMN

Ａ7.S(.S(.S(

Ｂ7-.(-.(.S(

Ｃ7-.(-.(.S(

６

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８．２犃5

８．２．１犃523

８．２．１．１456;ü]CD=–/Sü３０ｍｉｎ。

８．２．１．２ZCG^rd犺≤４犾Ã，STI±OCD­ÿ；ZCG^rd犺＞４犾Ã，ST³ˆ（ErO）C

D­ÿ。

８．２．１．３…56(ЙFGFG，4566º‹ý)^z¬þaFGz¬，ÿŒFGFGNýþ。

８．２．１．４rF２S!Ì&;KDV，CD;ü]ρ，"hCDz€。

j２FGH523kl+,-]^+m3nhij

#$;ü]／（Ω·ｃｍ）;KDV／ｍＡ

１＜０．０１≤１００

２０．０１～１≤１０

３１～３０≤１

４３０～１００≤０．１

５１００～３０００≤１×１０－３

６＞３０００≤３×１０－６

８．２．１．５…FGjG‰%&'３０°～９０°，å(８．２．１．３、８．２．１．４^CD#$，–/C３“)^z€，!j

î|u^±O^C.H*。

８．２．１．６A“FG，–/C.+“I±O，FG^;ü]7,H*u-+“I±O^jî|。

８．２．１．７CDjklcghＡ。

８．２．２犃5op

８．２．２．１FG^aɔ3?aÉNd犱Fj，rsµÿ（４）®t：

犿

犱＝狊×犺×１０３…………（４）

ÿz：

犱———aÉNd，Œu./0Rx‚（ｇ／ｃｍ３）

犿———FG^«D，Œu.（ｇ）；

狊———FGŠ^¢£GR，ŒujR¤‚（ｍｍ２）；

犺———FG^rd，Œu¤‚（ｍｍ）。

８．２．２．２qFG^rd犺＞４犾，FG뉙ÞA56^7s²ì≥４犾Ã，FGa^aÉNd犱(^;

ü]ρrµÿ（１）®t。FG^rd犺≤４犾Ã，FGa^aÉNd犱(^;ü]ρrµÿ（２）®t。

８．３犅5

８．３．１犅523

８．３．１．１83456;ü]CD=–/Sü３０ｍｉｎ。

８．３．１．２1!A.«D（犿）SJ1Ê^FGŸ'83456;ü]CD=^FGŠD，FGaŠD

‰2îïjk。

７

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８．３．１．３3œ`a·，[FG45_a，‚w5a45/6A.a（Eab），CDFG^rd犺-

;ü]ρ，f–;ü]ρ—'M.。`aUVz，qFGrd犺＞４犾，(³ˆ­ÿ，qFG’a™rd

犺≤４犾，(I±O­ÿ。

８．３．１．４A“FG，–/jãC.:7。

８．３．１．５CDjklcghＢ。

８．３．２犅5op

８．３．２．１FGa8Aa(^aÉNd犱rsµÿ（４）®t。

８．３．２．２_aUVz，aŒ“a(，FG^;ü]ρrµÿ（１）Eµÿ（２）âã®t，^|A9456

;ü]CD=:.?;8tu。

８．３．２．３<ZCG^犱ρšy›9d，cd３。

８．４犆5

８．４．１犆523

８．４．１．１8349:;<;ü]=–/Sü３０ｍｉｎ。

８．４．１．２1!A.DSJ1Ê^FGŸ'8349:;<;ü]=^FGŠD，FGaŠD‰2î

ïjk。

８．４．１．３3œlpq;<，[FGâã_a，‚w5a45/6A.a（Eab），rF３S!Ì&

^;K，CDFG^rd犺-;ü]ρ，f–;ü]—'M.。

j３kl+,-]^+mhij

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１００ｍＡ１０－３～１０－１１０－１～２——

１０ｍＡ—１０－１～２２～２００—

１ｍＡ——１０～２００２００～２０００

１００μＡ———１０００～２×１０４

１０μＡ———１×１０４～２×１０５

１μＡ———１×１０５～２×１０６

q：q;KDVST-qÃ，‡u=;K>t-û，?ÏCD@A^=B，”?aCDA“CDˆLÃ，.?ES

(Ö;KCD，æ玑`¹;K，?˜™FGí^CD。

８．４．１．４A“FG，–/jãC.:7。

８．４．１．５CDjklcghＣ。

８．４．２犆5op

８．４．２．１FGa8Aa(^aÉNd犱rsµÿ（４）®t。

８．４．２．２_aUVz，aŒ“a(，FG^;ü]ρrµÿ（３）âã®t，^|A949:;<;ü]

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８．４．２．３<ZCG^犱ρšy›9d，cd３。

８

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Î*ˆLYZ…\•ˆL;ü]C.©óCDAH，WIa÷;ü]CD!，ZCG*§¨J1。

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ａ）CD23；

ｂ）CDP@Œ；

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ｄ）Go^STUV，!"W¥、#)$；

ｅ）CDÒÓÔcd；

ｆ）CD”(R7；

ｇ）jãCDH*^Õ[AH；

ｈ）CD=>^XT-T$；

ｉ）F¤z€。

９

犌犅／犜４０００７—２０２１

‚ƒ犃

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犃523M…

犃．１]^

‚‘Y\;KL。

犃．２UV

犃．２．１rd=，Gdu０．０１ｍｍ。

犃．２．２ZO¬，ZOf１０ｍｍ。

犃．２．３;8´[\§¬，´2]d０ｍｍ／ｓ～１００ｍｍ／ｓ.ø；7Ù`üÔd２００℃；

犃．２．４456;ü]CD=。

犃．３23†‡

CDKVcFＡ．１。

j犃．１DEFGH523%&ˆ‰y+b*+,-.23mn

#$#$djUV

１）…‘Y\;KL(;8´J¬îï´^a

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２）…;8´J¬`üÔd?ŸaÌ&Ôd，?

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３）(§b、cd^J…´Ê^IJeazn；

２aO４）(aO¬…´Ê^IJaÏf犇＝

１０ｍｍ^%I±O６O

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犌犅／犜４０００７—２０２１

j犃．１（Y）

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５）(rd®‰%CDIJ-_Ã^rd；

３CDrd６）IJrdKð_Ãrdu‘Y\;KL´

órd犺

７）…I±OeXa456;ü]CD=l，f

56ŒZCI±Og‰ýþ；

８）aCDh*l，STI±O;ü]­ÿ，i

œI±Of-（´ó）rd；

456CD犇犺

）ST;8CD，{€h*jkøl;K；

４±O;ü]９

１０）h*tuI±O^;ü]|；

１１）…56mw，êZC±OZj&'A.n

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１２）o(A“I±O，rs#$４#$âãC

５jãCD

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犃．４23Š‹

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j犃．２DEFGH523%&ˆ‰y+b*+,-Š‹

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FGp1jã±OŒ);ü]／（·ｃｍ）ŒO;ü]／（·ｃｍ）FG;ü]／（·ｃｍ）

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０．１９

I±O１０．１８０．１９

０．１９

０．２０

I±O２０．１９０．２０

０．２０

‚‘Y０．１９５．２％

\;KL０．１７

I±O３０．１９０．１８

０．１７

０．１８

I±O４０．１８０．１８

０．１９

１１

犌犅／犜４０００７—２０２１

j犃．２（Y）

Õ[pq

FGp1jã±OŒ);ü]／（·ｃｍ）ŒO;ü]／（·ｃｍ）FG;ü]／（·ｃｍ）

ΩΩΩLH

０．１９

I±O５０．２００．２０

‚‘Y０．２０

０．１９５．２％

\;KL０．１７

I±O６０．１８０．１８

０．１８

１２

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‚ƒ犅

（„*;‚ƒ）

犅523M…

犅．１]^

8q˜„¦§¨MN。

犅．２UVA]Œ

犅．２．１rs§¨©。

犅．２．２;²ªj，Gdu０．０１ｇ。

犅．２．３83456;ü]CD=，!"Î(‡Ÿ：

ａ）`a‡Ÿ：.žY`a，ÿ®³¥ajkølt¾，Gd±１Ｎ；`a·ýþFG‹uˆ‰ˆ

L；456¹6º，6»C‰S!¼a(（El）`a·ˆ‰ˆL½，6ºŒ`a·J'bAj

G，56Œ`a·DÇ^ˆ‰;ü¹'１０３ＭΩ；

ｂ）56‡Ÿ：56uu„v56，6ºhu５０μｍj^±£G；56n²u１ｍｍ，n²Lw]

Gí–０．０１ｍｍ；56n^¬xÅw]Δ犾／犾＜０．３％（Δ犾u56n²^7¹¬xÅwD，犾u

56n²）；56n^ˆ‰;ü（!"6ŒB¾）¹'１０３ＭΩ；

ｃ）FGŠ：D¸uˆ‰ˆL，Du１６ｍｍ±０．０１ｍｍ；

ｄ）DŸ«‰F：Gdu０．０１ｍｍ。

犅．３23†‡

CDKVcFＢ．１。

j犅．１IEFGH523Žcd+,-23mn

#$#$djUV

１）…¦§¨MNŸ'８５℃±５℃^rs§¨©z§¨–¥

１§¨、1Då，ç'§¨>zèé–ÊÔ@(；

２）1３Áb%«D^¦§¨MN@(

３）…1Ê^¦§¨MN‡œ83456;ü]CD=^F

２‡G

GŠz

１３

犌犅／犜４０００７—２０２１

j犅．１（Y）

#$#$djUV

４）…‡ÊFG^FGŠ3Ÿ'83456;ü]CD=z

`aC，‡l456;<，[FG`a；

３CD;ü]５）a犉Ž‘¡`，/n6３００Ｎ～５００Ｎy!A“a(

FGrd|犺，æça456CDh*liœrd犺?@

FGŠD，CD;ü]ρ，f–;ü]-z]„

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４６）FojãG，rs#$３#$âãCD

Gª

犅．４23Š‹

犅．４．１{€µÿ（１）Eµÿ（２）®t/“a)(¦§¨^;ü]，Eh*fýtu/“a)(¦§

¨^;ü]。FＢ．２Õjûyh*fýtu^３“jãG^;ü]z€。

j犅．２IEFGH523Žcd+,-Š‹

rd／aÉNd／;ü]／rd／aÉNd／;ü]／rd／aÉNd／;ü]／

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７０００．９９７．７２０．０９１０．６９７．５２０．０９１０．１８７．５２０．０９１０．２８

１０００１．４２６．７８０．１０４．４１６．５１０．１１３．９９６．５１０．１１４．４８

１３００１．８４６．１４０．１２３．６９５．８６０．１２３．１７５．８６０．１２３．５０

１６００２．２６５．６４０．１３３．２０５．３６０．１３２．６３５．３６０．１３３．０５

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２２００３．１１４．９２０．１４２．５６４．６５０．１５２．０１４．６５０．１５２．５３

２５００３．５４４．６４０．１５２．３６４．３７０．１６１．８２４．３７０．１６２．０５

２８００３．９６４．３８０．１６２．２１４．１１０．１７１．６６４．１１０．１７１．９０

３１００４．３９４．１６０．１７２．０９３．８７０．１８１．５４３．８７０．１８１．７４

３４００４．８１３．９３０．１８１．９６３．６４０．１９１．４５３．６４０．１９１．６４

３７００５．２４３．６９０．１９１．８８３．４４０．２１１．３５３．４４０．２１１．５６

１４

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４０００５．６６３．５２０．２０１．８２３．２５０．２２１．２７３．２５０．２２１．５０

４３００６．０９３．２８０．２２１．７２３．０５０．２３１．２１３．０５０．２３１．４５

¦§¨４６００６．５１３．０８０．２３１．６０２．８６０．２５１．１５２．８６０．２５１．３５

４９００６．９４２．８９０．２５１．５８２．６６０．２７１．１０２．６６０．２７１．３４

５０００７．０８２．７３０．２６１．５６２．５４０．２８１．０８２．５４０．２８１．３２

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jãCD３１．３４Ω·ｃｍ狔＝１．６１－１．０４８狓１．６１Ω·ｃｍ

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１５

犌犅／犜４０００７—２０２１

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