CN114624636B 电子束控制线圈磁场检测系统及其检测方法 （核工业理化工程研究院）

电子束控制线圈磁场检测系统及其检测方法本发明公开了一种电子束控制线圈磁场检移模块驱动在所述电子束控制线圈产生的磁场内移动的磁场测量传感器以及与所述磁场测量2述电子束控制线圈产生的磁场内移动的磁场测量传感器以及与所述磁场测量传感器通讯所述多维电控位移模块包括五维电控位移平台和控制五维电控位移平台中各电机移及调整所述磁场测量传感器旋转半径的电控平移台U轴，所述磁场测量传感器固定于所述定于电控旋转台W轴的旋转台面上，第五步进电机通过联轴器与第五传动丝杠连接以带动圈包括磁场线圈以及与其电连接的磁场线圈电源，所述磁场线圈包括聚焦线圈和扫描线6.如权利要求1所述的电子束控制线圈磁场检测系7.如权利要求6所述的电子束控制线圈磁场检38.如权利要求7所述的电子束控制线圈磁场检测系统9.如权利要求8所述的电子束控制线圈磁场检测系10.如权利要求1-9中任一项所述电子束控制线圈磁场检测系统进行磁场分布扫描的45[0005]本发明的目的是针对现有技术中存在的无法精确分析线圈内部整体的磁场分布制线圈产生的磁场内移动的磁场测量传感器以及与所述磁场测量传感器通讯连接的测试[0009]所述多维电控位移模块包括五维电控位移平台和控制五维电控位移平台中各电轴以及调整所述磁场测量传感器旋转半径的电控平移台U轴，所述磁场测量传感器固定于6[0012]在上述技术方案中，电子束控制线圈通过定位工装安装于无磁光学平台的台面第一传动丝杠的带动下在第一传动导轨上自由滑动，以实现在笛卡尔坐标系下沿水平面X的带动下在第二传动导轨上自由滑动，以实现在笛卡尔坐标系下沿水平面Y轴方向的平移7[0022]本发明的另一方面，所述电子束控制线圈磁场检测系统进行磁场分布扫描的方将磁场测量传感器移动至被测的电子束控制线[0036](2)如不需再进行其他的测试，则关闭控制模块，将测试控制器和电机控制器断[0039]2.本发明采用的多维电控位移系统具有空间四个平移自8[0041]4.本发明采用的主控模块(上位机中的控制软件)同时兼备磁场数据采集和位移于所述无磁光学平台1上的多维电控位移模块、受所述多维电控位移模块驱动在所述电子束控制线圈产生的磁场内移动的磁场测量传感器以及与所述磁场测量传感器通讯连接的[0048]所述多维电控位移模块包括五维电控位移平台和控制五维电控位移平台中各电轴以及调整所述磁场测量传感器旋转半径的电控平移台U轴，所述磁场测量传感器固定于9通讯功能，所述运动控制主板接收到上位机的控制指令后发送指定个数PWM脉冲至所述步式为三个霍尔芯片提供2～10mA工作电流，三轴霍尔探针27的三个霍尔芯片在磁场中由霍个霍尔芯片的校准数据(磁场-电压对应关系)计算各通道测量的磁场强度数据，并通过串[0056]作为优选的，所述电子束控制线圈包括磁场线圈以及与其电连接的磁场线圈电一滑块6在第一传动丝杠4的带动下在第一传动导轨5上自由滑动，以实现在笛卡尔坐标系一滑块6上，第二步进电机11通过联轴器与第二传动丝杠10连接以带动第二传动丝杠10旋蜗杆传动机构19通过螺钉固定于电控平移台Z轴的第三滑块15伸出的带动下第五滑块25在第五传动导轨24上自由滑动。电控平移台U轴的第五底板22与电控旋制器；将磁场测量传感器(三轴霍尔探针27)通过屏蔽线缆连接至测试控制器(三轴高斯将磁场测量传感器(三轴霍尔探针27)移动至被测轴和电控平移台Z轴(竖直面)或电控平移台Y轴和电控平移台Z轴(竖直面)的运行参数；如[0079](1)如需进行下一次测试