CN114690576B 具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法 （上海微电子装备（集团）股份有限公司）

号US2009115983A1,2009具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞本发明提供了一种具有碰撞测试功能的浸测试仪通过所述测试线路分别与所述浸没单元所述浸没单元和所述测试件之间的电阻和/或电浸没单元与测试件在运行过程中二者之间是否2其中，所述测试件具有相对的导电面和支撑面，所述导电面运行浸没单元与其下方的承载单元，且在运行的过程中采用根据所述浸没单元和所述测试件之间的电阻和电容、或者电阻判断3其中，所述测试件具有相对的导电面和支撑面，所述导电面12.如权利要求11所述的碰撞测试方法，其特征在于，所述支撑面与所述承载单元接述电气测试仪测试所述浸没单元与所述测试件4[0006]本发明的目的在于提供一种具有碰撞测试功能的浸没光5述测试件之间的电阻和/或电容，以判断所述浸没单元和所述测试件在运行过程中二者之[0023]根据所述浸没单元和所述测试件之间的电阻和/或电容判断所述浸没单元和所述6[0030]可选的，所述碰撞测试方法还包括将所述电气测试仪测试到的电阻和/或电容传没单元和测试件之间的电阻和/或电容，使得能够准确判断浸没单元与测试件在运行过程中二者之间是否发生碰撞以及发生碰撞的位置，进而使得能够评估防碰撞功能的有效性，承载单元上的测试件之间的电阻和/或电容，使得能够准确判断浸没单元与测试件在运行7试件12之间的电阻和/或电容，以判断所述浸没单元11和所述测试件12在运行过程中二者[0049]下面参阅图1～图5更为详细的介绍本实施例提供的具有碰撞测试功能的浸没光气测试仪14与所述测试件12之间的测试线路为第一测试线路131，定义所述电气测试仪14与所述浸没单元11之间的测试线路为第二测试线路件12位于所述微动台152上。所述微动台152上具有一放置所述测试件12的凹槽(未图示)，台152和所述运动台151带动所述测试件1[0054]所述浸没单元11的内圈形状是与所述投影物镜18的最下方镜片181的形状匹配的锥形结构，所述浸没单元11使得所述投影物镜18的最下方镜片181与所述测试件12之间维18和所述浸没流场20之后曝光成像在涂有光刻胶的所述测试[0056]所述测试件12具有相对的导电面121和支撑面122，所述支撑面122与所述微动台置有第一输出端123，所述第一输出端123与所述测试线路(即所述第一测试线路131)电连不同的所述导电区之间通过并联的方式汇总连接至所述第一输出端123。如图2a～图2b以8互绝缘的导电区，各个导电区的电阻R1～电阻R12并联汇总连接至所述第一输出端123。并动的方式或借助其他部件结构的自动化方式将所述测试件12放置于输出端123与所述输入端1521接触以电连接，所述输入端1521与所述第二输出端1522电连[0062]所述电气测试仪14用于测试所述浸没单元11和所述测试件12之间的电阻和/或电[0063]其中，由于所述浸没单元11向下运动的极限与所述微动台152向上运动的极限存所述第一测试线路131和所述测试件12形成的回路断路，断开的位置处为空气或所述浸没912形成的回路连通，所述电气测试仪14能够测试到具体的电阻值(例如10a～50a等)。并仪14能够根据测试到的电阻获得所述导电面121上与所述浸没单元11发生碰撞的对应的导气测试仪14测得的所述浸没单元11与所述测试件12之间的电容越大。若防碰撞功能有效，气测试仪14测得的所述浸没单元11与所述测试件12之间的电间的电阻和/或电容，以判断所述浸没单元和所述测试件在运行过程中二者之间是否发生发明的具有碰撞测试功能的浸没光刻装置能够准确判断浸没单元与测试件在运行过程中测试所述浸没单元和所述承载单元上的测试件[0074]步骤S2，根据所述浸没单元和所述测试件之间的电阻和/或电容判断所述浸没单气测试仪14测试所述浸没单元11和所述承载单元15上的测试件12之间的电阻和[0077]所述电气测试仪14通过第一测试线路131与所述测试件12电连接，所述电气测试仪14通过第二测试线路132与所述浸没单元[0078]所述承载单元15包括运动台151和设置于所述运动台151上的微动台152，所述测试件12位于所述微动台152上。所述微动台152上具有一放置所述测试件12的凹槽(未图微动台152和所述运动台151带动所述测试件12投影物镜18的最下方镜片181的形状匹配的锥形结构，所述浸没单元11使得所述投影物镜18的最下方镜片181与所述测试件12之间维持有浸没流场20，掩膜版上的集成电路的图形[0081]所述测试件12具有相对的导电面121和支撑面122，所述支撑面122与所述微动台置有第一输出端123，所述第一输出端123与所述测试线路(即所述第一测试线路131)电连121上的导电区的划分情况以及所述第一输出端123的设置位置的情况参见上述对所述具[0083]按照步骤S2，根据所述浸没单元11和所述测试件12之间的电阻和/或电容判断所述浸没单元11和所述测试件12之间是否[0084]当根据所述浸没单元11和所述测试件12之间的电阻判断二者之间是否发生碰撞使得所述电气测试仪14能够测试到具体的电阻值(例如10a～50a等)。因此，若所述电气述电气测试仪14能够根据测试到的电阻获得所述导电面121上与所述浸没单元11发生碰撞[0087]当根据所述浸没单元11和所述测试件12之间的电容判断二者之间是否发生碰撞[0089]上述的碰撞测试方法能够在光刻机中设置的防碰撞功能且，能够在正常生产过程中定期监控所述浸没单元11与所述测试件12之间是否会发生碰[0090]另外，所述碰撞测试方法还包括将所述电气测试仪14测试到的电阻和/或电容传输给光刻机工作站16，所述电气测试仪14通过第三测试线路133与所述光刻机工作站16信