CN114690596B 对准装置、光刻机及对准方法 （上海微电子装备（集团）股份有限公司）

号一光束和第三光束经光栅标记发生衍射并产生经第一偏振分光棱镜分为第一偏振光和第二偏2所述分光单元包括第一镜组和第二镜组；所述第一镜组用于将所述光照转为具有第一偏振方向的第三光束；所述第一光束和所述第三光束经一光栅标记发生衍其中，当移动所述光栅标记至所述第一探测器和所述第二探所述第一光束经所述第二偏振分光棱镜反射至所述第二光束透过所述第二偏振分光棱镜进入所述第三偏振分光镜反射后形成所述第三光束，所述第三偏振分光棱镜将所述第三光束反射至所述光栅标所述第一光束和所述第三光束经所述光栅标记发生衍射，并分别产其中，所述第一光束的衍射光经所述第三偏振分光棱镜反射后次透过所述第三偏振分光棱镜和所述第二偏振分光棱镜后传播至所述第三光束的衍射光经所述第二偏振分光棱镜反射至所述3所述第一光束经所述第四偏振分光棱镜反射至所述第二光束透过所述第四偏振分光棱镜并经所述第三波片透射后，依所述第一光束和所述第三光束经所述光栅标记发生衍射，并分别产其中，所述第一光束的衍射光经所述第五偏振分光棱镜反所述第三光束的衍射光经所述第四偏振分光棱镜反射至所述所述第一光束先经所述第六偏振分光棱镜反射，再依次经所述第六反射所述第二光束透过所述第六偏振分光棱镜后，经所述第四波片透射所述第一光束和所述第三光束经所述光栅标记发生衍射，并分别产其中，所述第一光束的衍射光先经所述第七偏振分光棱镜所述第三光束的衍射光先依次经所述第九反射镜、所述第八反射镜、4所述第一光束经所述第一镜组后，依次经所述第五波片和所述第所述第三光束经所述第七波片透射，改变偏振方向为左旋偏振，并所述第一光束和所述第三光束经所述光栅标记分别产生所述第一光束的衍射光和所所述第三光束的衍射光依次经所述第六波片和所述第五波片透射后，所述第一光束的衍射光经所述第七波片透射后，改变偏振方向为第其中，所述第一光束和所述第三光束经所述物镜传播至所所述光照经所述分光单元中的所述第一镜组，将所述光照分为所述第一光束和所述第三光束经一光栅标记发生衍射，并分别产生第一所述第一光束的衍射光和所述第三光束的衍射光经所述第一波所述第一探测器获取第一偏振光的光能量，所述第二探测器获取第二偏振光的光能移动工件台以带动所述光栅标记移动，当所述第一探测器和所述5[0002]在集成电路制造技术领域中，光刻机能够将掩模版图案施加至硅片(也可以称为6再依次透过所述第三偏振分光棱镜和所述第二偏振分光棱镜后传播至所7[0042]所述第一光束和所述第三光束经所述光栅标记分别产生所述第一光束的衍射光[0044]所述第一光束的衍射光经所述第七波片透射后，改变偏8[0053]所述第一光束的衍射光和所述第三光束的衍射光经所述第一波片后改变偏振方9[0068]PBS1-第一偏振分光棱镜；PBS2-第二偏振分光棱镜；PBS3-第三偏振分光棱镜；[0072]所述光照单元10用于提供光照。所述光照单元10包括发光器101和第三镜组10所述发光器提供具有至少一种波长以及至少一种偏振方向的光照，且所述光照为线偏振[0073]所述分光单元20包括第一镜组201和第二镜组202。所述第一镜组201用于将所述述第一光束a的衍射光依次经所述第二镜组202和所述第一镜组201后进入所述探测单元变偏振方向为+45度偏振方向和\或-45度偏振方向，以在第一偏振方向上和第二偏振方向一偏振分光棱镜PBS1分为第一偏振光和第二偏振光。所述第一探测器301获取第一偏振光[0075]当移动所述光栅标记M至所述第一探测器301和所述第二探测器302分别获取的所束c的衍射光和所述第一光束a的衍射光的光路方向，本实施例的图示中均仅标出+1/-1级次衍射光来替代对应的所述第三光束c的衍射光和所述第一光束a的[0078]所述光照经所述第二偏振分光棱镜PBS2，被分为具有第一偏振方向的第一光束a栅标记M上，所述第二光束b透过所述第二偏振分光棱镜PBS2进入所述第二镜组202中。因经所述第二波片2021透射以及所述第一反射镜2022反射。再次经所述第二波片2021透射。传播至所述第三偏振分光棱镜PBS3。则所述第一光束a的衍射光经所述第三偏振分光棱镜束a的衍射光依次透过所述第三偏振分光棱镜PBS3和所述第二偏振分光棱镜PBS2，进入探[0081]具有第一偏振方向的所述第三光束c的衍射光和具有第二偏振方向的所述第一光束c的衍射光和所述一光束a的衍射光的偏振方向均偏转45度，为+45度偏振方向和\或-45[0082]当移动所述光栅标记M至所述第一探测器302和所述第二探测器303分别获取的所[0087]所述第一探测302获取的第一偏振光中具有的所述第一光束的-1级衍射光的光能[0089]所述第二探测303获取的第二偏振光中具有的所述第一光束的-1级衍射光的光能[0091]所述第三光束的+1级衍射光依次经过物镜40，第二偏振分光棱镜PBS2,第一波片[0092]所述第一探测302获取的第一偏振光中具有的所述第三光束的+1级衍射光的光能[0094]所述第二探测303获取的第二偏振光中具有的所述第三光束的+1级衍射光的光能公式中下标为1和2，分别表示对应光束为第一偏振方向的光和第二偏振方[0097]所述第一光束的-1级衍射光和所述第三光束的+1级衍射光经所述第一波片301述第三光束c的+1级衍射光经所述第一光束a的逆光路，故所述第一光束a的-1级衍射光和所述第三光束c的+1级衍射光的光程相同，则所述第一探测302和所述第二探测器303最终移x变化包括第一方向的位移量和第二方向的位移量，且所述第一方向和所述第二方向相[0104]所述光照经所述分光单元20中的所述第一镜组201，将所述光照分为具有第一偏202将所述第二光束a转为具有第一偏振方向的第[0105]所述第一光束a和所述第三光束c经所述光栅标记M发生衍射，并分别产生第一光述第一镜组201后进入所述探测单元30，所述第三光束c的衍射光经所述第一镜组201后进[0106]所述第一光束a的衍射光和所述第三光束c的衍射光经所述第一波片301后改变偏振方向为+45度偏振方向和\或-45度偏振方向，以在第一偏振方向上和第二偏振方向上分振分光棱镜PBS1分为第一偏振光和第二器302获取的所述光能量I1和所述第二探测器303获取的所述光能量I2之间的关[0116]所述对准装置包括图2所示分光单元20。所述对准装置的其余部件可参见实施例四偏振分光棱镜PBS4，所述第二镜组包括第三波片2023、第二反射镜2024、第三反射镜因所述第三波片为二分之一波片，故所述第二光束b的偏振方向有第二偏振方向变为第一的偏振方向为第一偏振方向，则所述第二光束b经所述第五偏振分光棱镜PBS5反射形成所路传播。具有第一偏振方向的所述第三光束c的衍射光经所述第四偏振分光棱镜PBS4反射2024的反射以及所述第三波片2023透射后，所述第一光束a的衍射光的偏振方向变为第二[0122]其中，图2中仅标注了第一方向X上分布的所述第一光束a的-1级衍射光以及所述射光，但在对准测量过程中还包括所述光栅标记M在所述第一方向X与第二方向Y形成的平面内的方向上分布的所述第三光束c的衍射光和所述第一光束a束a和第三光束c投影至硅片上的光斑大小也不一致，进而导致产生的衍射光能量有差异，可调。二镜组202包括第四波片2028和所述第七偏振分光棱镜PBS7。所述第四波片2028为二分之二偏振分光棱镜PBS2关于Z轴对称，所述第七偏振分光棱镜PBS7设置方式与实施例一中的[0129]所述第一光束a和所述第三光束c经所述物镜40传播至所述光栅标记M上发生衍所述第二镜组202和所述第一镜组201后进入所述探测单元30，所述第三光束c的衍射光经[0130]所述第一光束a的衍射光和所述第三光束c的衍射光经所述第一波片301后改变偏振方向为+45度偏振方向和\或-45度偏振方向，以在第一偏振方向上和第二偏振方向上分[0133]所述第一光束a的衍射光具有第一偏振方向，则经所述第七偏振分光棱镜PBS7反述第七偏振分光棱镜PBS7为边长为h的正方体。所述等腰直角三棱镜的一直角边所在面紧2013和所述第九反射镜2014的大小与所述等腰直角三棱镜的斜面相同。所述第七反射镜第八反射镜2013和所述第九反射镜2014相互平行设置，且之间间距为h。所述第七反射镜[0135]如图5所示，所述光照从进入所述第六偏振分光棱镜PBS6至从所述第九反射镜[0136]所述光照从进入所述第六偏振分光棱镜PBS6至从所述第七偏振分光棱镜PBS7射有多种波长以及多种偏振方向的所述光照，本实施例中的所述光照单元10还包括合束器将所述第一偏振光恢复为具有多种波长的第一光信号；所述第二分束器305用于将所述第[0140]同时，为避免光栅标记M对第一偏振方向的光束响应能量低导致获取的光信号较波片60和第七波片70均为四分之一波片。当所述第一光束a经过所述第五波片50透射后所述第一光束a的