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文档简介

第五章瞄准定位与读数测微系统参考书：Opticalcomponents,system,andmeasurementtechniques,RajpalS.Sirohi,Dekker精密仪器设计，薛实福，清华大学出版社瞄准定位1第五章瞄准定位与读数测微系统瞄准定位：光学瞄准，光电瞄准 接触式定位，轴向定位读数测微：光学、机械式读数系统瞄准定位2一光学瞄准法分类：对线法，符合法，双象法，互补色法，反射法符合瞄准法：条件：1.目标两端成像在同一视场，放大倍数一致2.同一视场两个象等速反向运动3.两目标象有明显分界线重合光组分割光组瞄准定位3合像光组与分割光组瞄准定位4二光电瞄准单筒问题：刻线质量不一致，电压波动，元件老化，使位相与对应电压不稳定双筒特点：过零检测，抵消不稳定因素，对称性要求高瞄准定位5线纹检测参考书1特点：只有2倍频的信号时对准瞄准定位6边缘检测参考书1瞄准定位7光学指零器瞄准定位8自准直测角参考书1瞄准定位9白光干涉计测技术，Vol.29，42—46，日语瞄准定位10轴向定位：临界角法参考书1改善由于倾斜和光束不均匀造成的误差瞄准定位11轴向定位：斜光束法参考书1减小离焦的影响

d’瞄准定位12轴向定位：斜光束法Meas.Sci.Technol.Vol.8,262-266Opt.Eng.Vol.33,1950-1952

角度大，灵敏度增加，但出现遮挡问题瞄准定位13轴向定位：象散法参考书1瞄准定位14轴向定位：刀口法（傅科棱镜法）光三次元计测（日语）pp.18-20瞄准定位15轴向定位：刀口法（傅科棱镜法）Opt.Eng.Vo.36,1361-1366瞄准定位16轴向定位：近场光学精密计量与测试（清华大学）p.163瞄准定位17轴向定位：表面等离子法中国激光，vol.A28,pp.1079-1081瞄准定位18三读数测微系统组成：标尺，固定分划板，测微尺（活动分划板）标尺固定分划板测微尺lB

n细分m等分m=10lR读数头

B瞄准定位19带尺读数丝杠式楔块移动式瞄准定位20平板摆动测微Z

d采用正切机构可进行一定补偿，此时用tan代；计算时考虑Z的正负，用Z/2代瞄准定位21光楔移动测微瞄准定位22透镜测微器瞄准定位23读数测微系统小结2种测微：象不动，分划板动分划板不动，象动转换公式：标尺间隔*=分划板范围m分划板间隔

对应测微尺长l测微尺间隔*=视见宽度B标尺固定分划板测微尺lBn’细分m等分m=10读数头

测微尺上一小格测微最小分划值分划板间隔

对应测微尺长瞄准定位24本章小结几种瞄准方法

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