CN114964041B 孔径相关共聚焦显微测量系统及其三维重构方法 （长春长光辰英生物科学仪器有限公司）

113.孔径相关共聚焦显微测量系统及其三维重本发明孔径相关共聚焦显微测量系统及其针对孔径相关的共聚焦显微镜提出了一种三维2所述第一准直透镜设置在所述光源下方，所述第一偏振片设置在所述第所述第二偏振片设置在所述偏振分光器左侧，所述成像透镜设置在通过移动位移台z轴对样品各高度位置的显微图像进行采集，结合样品各高度位置的S5:通过共聚焦复合图像减去一定比例系数的宽场图像，以获得各个高度下的纯共焦S6:所述图像堆栈中各图像同一位置的像素构成对应样品点的轴向响应曲线，对轴向所述数据拟合所采用的方法为基于加权最小二乘及其迭代处理方法的高S7:计算拟合度并与预先设定的拟合度要求阈值对比，在大噪声条件下会出现不符合2.根据权利要求1所述的基于孔径相关共聚焦显微测量系统的三维重构方法，其特征后的光线再次被所述镜筒透镜聚焦于物镜后焦面，期间照明光再通过所述1/4波片变为圆33.根据权利要求2所述的基于孔径相关共聚焦显微测量系统的三维重构方法，其特征4.根据权利要求3所述的基于孔径相关共聚焦显微测量系统的三维重构方法，其特征6.根据权利要求1所述的基于孔径相关共聚焦显微测量系统的三维重构方法，其特征为了实现样品轮廓的高精度测量，需要对样品的4该方法将非线性拟合问题转换为线性拟合问题，拥有极快7.根据权利要求6所述的基于孔径相关共聚焦显微测量系统的三维重构方法，其特征k-18.根据权利要求7所述的基于孔径相关共聚焦显微测量系统的三维重构方法，其特征5者各种掩膜图案达到相近的共焦效果，然后通过旋转圆盘实现对样品表面的多点或线扫快速扫描特点的同时，通过从复合图像中减去离焦干扰(即一定强度的宽场图像)的方式，6制后的光线再次被所述镜筒透镜聚焦于物镜后焦面，期间照明光再通过所述1/4波片变为[0020]基于孔径相关共聚焦显微测量系统的三维重构方法，通过移动位移台z轴对样品[0026]S5:通过共聚焦复合图像减去一定比例系数的宽场图像，以获得各个高度下的纯[0027]S6:所述图像堆栈中各图像同一位置的像素构成对应样品点的轴向响应曲线，对7[0037]根据最小二乘原理，将某一点各光学切片上的坐标值(zi，yi)代8[0060]S7:计算拟合度并与预先设定的拟合度要求阈值对比，在大噪声条件下会出现不[0061]观测值ftc)即为第一二乘法及其迭代处理方法的高斯拟合，可以快速高精度地拟合得到样品表面点的高度位9[0070]图2是本发明孔径相关共聚焦显微测量系统之三维重构方法的原理设计参考框[0075]所述第一准直透镜102设置在所述光源101下方，所述第一偏振片103设置在所述[0077]所述第二偏振片109设置在所述偏振分光器104左侧，所述成像透镜110设置在所偏振片109的光轴与所述第一偏振片103第二偏振片109对第二反射光进一步过滤以除去杂光后经成像透镜110汇聚到所述探测器移台移动样品112可得到多个极薄的光学切片图像；随着物镜108聚焦在样品112表面的某台z轴对样品各高度位置的显微图像进行采集，结合样品各高度位置的显微图像重建出样[0089]S5:通过共聚焦复合图像减去一定比例系数的宽场图像，以获得各个高度下的纯[0091]S6:所述图像堆栈中各图像同一位置的像素构成对应样品点的轴向响应曲线，对[0101]根据最小二乘原理，将某一点各光学切片上的坐标值(zi,yi)代入方程得平方差[0112]fc)=rtc)+A公式8[0124]S7:计算拟合度并与预先设定的拟合度要求阈值对比，在大噪声条件下会出现不[0125]观测值ftc)即为第一二乘法及其迭