CN114972173B 缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统 （深圳中科飞测科技股份有限公司）

道同胜社区上横朗第四工业区2号本发明实施例公开的缺陷检测方法例如包实施例公开的缺陷检测方法能提高微小缺陷检2将所述待测晶粒图像分别与所述第一灰阶参考图像和所述第三灰阶参考图像进行对基于预设筛选信息对所述缺陷可疑区域进行区域筛选处理，得根据所述目标待测区域、所述待测晶粒图像以及所述第二灰阶参考其中，所述第一灰阶参考图像、所述第二灰阶参考图像和所将所述目标像素点的所述灰度值分别与所述第一灰阶参考图像上对应像素点的所述第一灰度值和所述第三灰阶参考图像上对应像素点的所述第三灰度值进行比较得到比较根据所述比较结果确定所述第一待测晶粒的缺陷当所述比较结果为所述待测晶粒图像的所述目标像素点的所述灰度值小于所述第一灰阶图像上对应像素点的所述第一灰度值或者大于所述第三灰阶参考图像上对应像素点将灰度值为所述第一标记灰度值的像素点形成的区域作为所述缺陷保留面积不小于所述面积阈值的缺陷可疑区域作为所3根据所述缺陷可疑区域的位置信息和尺寸信息与所述预设非检测区域的位置信息和根据所述第二边界尺寸阈值对所述筛选出的所述目标待测区域进晶粒待测图像以及所述第二灰阶参考图像检测所述待测晶圆上的所述第一待测晶粒上的根据所述目标待测区域确定所述第二灰阶参考图像中的根据缺陷判定阈值、所述待测晶粒图像和所述平坦区域确定所述待在所述第二灰阶参考图像中于所述目标待测区域对应的中心参考子区域周围确定与考子区域的分辨率与所述中心参考子区域的分辨率相同、且以所述中心参考子区域为中获取所述第二灰阶参考图像中的所述周边参考子区域和所述中心参考子区域内像素根据所述第二灰度值分别计算所述周边参考子区域和所述中心参考子区域各自的综逐一将所述多个周边参考子区域的综合灰度数据与所述中心参考子区域的综合灰度分别将预设综合灰度数据差值与所述多个综合将综合灰度数据差值不大于所述预设综合灰度数据差值对应的周边参考子区域和所4晶粒图像和所述平坦区域确定所述待测晶粒图像中的所述目标待测区域是否为缺陷获取所述待测晶粒图像中与所述平坦区域对应的区域内根据所述平坦区域内像素点的所述灰度值确定所述待测晶粒图像的所述平坦区域的将所述待测晶粒图像的所述平坦区域的综合灰度数据与所述第二灰阶参考图像中的根据所述至少一个参考晶粒的参考晶粒图像、所述第二灰阶参考图参考图像获取模块，用于获取第一灰阶参考图像、第二灰阶参考对比模块，用于将所述待测晶粒图像分别与所述第一灰阶参考图筛选模块，用于基于预设筛选信息对所述缺陷可疑区检测模块，用于根据所述目标待测区域、所述待测晶粒图像以及所其中所述图像采集设备用于采集待测晶圆的待测晶圆图5第三灰阶参考图像为根据与所述待测晶圆的制程相同的历史晶圆上多个晶粒的图像得到6测技术还存在不少问题比如存在漏检和误检的问题。尤其是当晶粒灰度图像存在噪声第一待测晶粒的缺陷可疑区域；基于预设筛选信息对所述缺陷可疑区域进行区域筛选处像以及所述第二灰阶参考图像检测所述待测晶圆上的所述第一待测晶考图像上对应像素点的所述第一灰度值和所述第三灰阶参考图像上对应像素点的所述第[0006]在一个实施例中，所述根据所述比较结果确定所述第一待测晶粒的缺陷可疑区当所述比较结果为所述待测晶粒图像的所述目标像素点的所述灰度值小于所述第一灰阶图像上对应像素点的所述第一灰度值或者大于所述第三灰阶参考图像上对应像素点的所7可疑区域的位置信息和尺寸信息与所述预设非检测区域的位置信息和尺寸信息确定所述测区域；以及根据所述第二边界尺寸阈值对所述筛选出的所述目标待测区域进行矫正处阶参考图像中的所述周边参考子区域和所述中心参考子区域内像素点的所述第二灰度值；根据所述第二灰度值分别计算所述周边参考子区域和所述中心参考子区域各自的综合灰应的周边参考子区域和所述中心参考子区域形成的区域作为所述平8平坦区域的综合灰度数据与所述第二灰阶参考图像中的所述平坦区域的综合灰度数据进图像以及所述第二灰阶参考图像检测所述待测晶圆上的所述第一待测理器执行操作以进行如前述任意一项实施例所述的缺陷待测晶粒图像以及所述第二灰阶参考图像检测所述待测晶圆上的所述第一待测晶粒上的9[0026]图5为本发明一个实施例提供的一种缺陷检测方法中第一灰阶参考图、第二灰阶[0029]图8为本发明一个实施例提供的一种缺陷检测方法中参考区域的综合灰度数据的[0039]本发明第一实施例提供了一种缺陷检测方法，图1为本发明一个实施例提供的缺检测系统300例如包括处理器302和连接处理器302的图像采集设备301。图像采集设备301例如用于采集待测晶圆的待测晶圆图像并发送待测晶圆图像至处理器302。图像采集设备行步骤S1至S5的计算机或者处理芯片或Die中某一个Die对应的完整的图像，在本实施例中例如以图3所示的Die为第一待测晶粒，括多个像素点(例如共M行*N列个像素点)，将第一灰阶参考图像上的像素点的灰度值称为置为横坐标，列位置为纵坐标建立一个参考坐标系，则第i行第j列的像素点的坐标为(i,第j列的像素点(例如标记为Mij，其第二灰度值标记为g_Mij)和第三灰阶参考图像上第i行第j列的像素点(例如标记为Hij，其第三灰度值标记为g_Hij)为与第一灰阶参考图像上第i同待测晶粒可以采用相同的第一灰阶参考图像、第二灰阶参考图像和第三灰阶参考图像。而预存的第一灰阶参考图像、第二灰阶参考图像和第三灰阶参考图像可通过如下方式生应。从起始像素点位置(例如第一行第一列)逐个像素点地遍历图像获取N张图的灰度值并[0052]步骤S32：将所述目标像素点的所述灰度值分别与所述第一灰阶参考图像上对应像素点的所述第一灰度值和所述第三灰阶参考图像上对应像素点的所述第三灰度值进行[0056]当所述比较结果为所述待测晶粒图像的所述目标像素点的所述灰度值小于所述第一灰阶图像上对应像素点的所述第一灰度值或者大于所述第三灰阶参考图像上对应像[0058]其中步骤S31所述的目标像素点例如为待测晶粒图像中每个像素点，即需要对待测晶粒图像中的每一个像素点执行步骤S32中的比较步骤，并且在步骤S33中根据步骤S32中对应每个像素点位置的比较结果对标记图像上每个像素点的灰度值进行是否赋值为第待测晶粒图像在待测晶圆图像中的坐标和待测晶粒图像的大中第i行第j列的像素点的灰度值赋值为第一标记灰度值，具体的第一标记灰度值例如为将第i行第j列的像素点赋值为第一标记灰度值后，标记图像上原来黑色的像素点变为白的像素点生成一个灰度值为0的像素点，最后由这些灰度值为255或者0的像素点根据其对第1行第1列的像素点以外的其他像素点均满足g_Lij≤g_Tij≤g_Hij时替换成第一方向长度阈值，则步骤S42保留第一方向长度小于第一方向长度阈值的缺陷可疑区域。其中第一长度方向例如为图6中的横向。或者将面积阈值替换成第二方向长度阈中的任意两者或者三者对缺陷可疑区域进行筛选，则步骤S42中例如保留同时满足面积不小于面积阈值且第一方向长度不小于第一方向长度阈值且第二方向长度不小于第二方向S43：根据所述缺陷可疑区域的位置信息和尺寸信息与所述预设非检测区域的位置信息和S43和步骤S44例如可以执行在步骤S42之后，则步骤S43和步骤S44中所述的缺陷可疑区域为步骤S42筛选保留后的缺陷可疑区域，例如步骤S42中过滤掉了图6中位于中下位置的一[0068]更进一步地，预设筛选信息例如还包括第一边界尺寸阈值和第二边界尺寸阈第一边界尺寸阈值为长50个像素，宽50个像素，则步骤S45中筛选出长度小于等于50个像留该目标待测区域原来的边界尺寸(即7*6)。矫正后的目标待测区域在待测晶粒图像上的[0073]其中步骤S51具体包括：在所述第二灰阶参考图像中于所述目标待测区域对应的中心参考子区域周围确定与所述中心参考子区域相邻的多个周边参考子区域得到所述参考子区域为第二灰阶参考图像上与待测晶粒子图像上的目标待测区域外接矩形大小相同分辨率也为7行*6列个像素。则该第二灰阶参考图像中的参考区域为左上角坐标为(x5-6,域的综合灰度数据进行减法运算得到多个综合灰[0079]步骤S524：分别将预设综合灰度数据差值与所述多个综合灰度数据差值进行比考子区域和所述中心参考子区域形成的区域作为所述[0081]例如参照图8，左起第一个九宫格为第二灰阶图像中的参考区域的示意图，其中A11为编号为I的周边参考子区域的综合灰度数据，A12为编号为II的周边参考子区域的综周边参考子区域的综合灰度数据。步骤S522中例如通过求平均值的方式获得综合灰度数号为V的中心参考子区域形成的区域作为平坦区域，说明第二灰阶参考图像中该参考区域该两个综合灰度数据差值对应的编号为II和编号为VIII的两个周边子区域与编号为V的中心参考子区域形成的区域作为平坦区域，说明第二灰阶参考图像中该参考区域纵向平坦。参考图像中的所述平坦区域的综合灰度数据进行减法运算得到平坦区域综合灰度数据差S531中只需要获取待测晶粒图像上对应该II、V、VIII子区域内的像素点的灰度值。步骤对应的区域为例，则步骤S533中得到的平坦区域综合灰度数据差值(其为绝对值)为|B14-标待测区域以及所述平坦区域确定所述缺陷判坦区域的综合灰度数据与所述第二灰阶参考图像中的所述平坦区域的综合灰度数据进行[0090]本发明上述实施例提供的缺陷检测方法通过将第一待测晶粒的待测晶粒图像分块12用于执行前述步骤S2获取第一灰阶参考图像、第二灰阶参考图像和第三灰阶参考图例如还可从外部存储器中获取待测晶圆图像，直接根据待测晶圆图像得到待测晶粒图像、[0094]参照图10，本发明的第三实施例提供的一种缺陷检测系统200，例如包括处理器得处理器201执行操作以进行前述第一实施例中任意一[0095]本发明第三实施例提供的缺陷检测系统200的功能和技术效果可参考前述第一实500存储有计算机可读指令501，计算机可读指令501包括用于执行前述第一实施例中任意[0098]本发明第四实施例提供的计算机可读介质500的功能和技术效果可参考与前述第[0100]所述作为分离部件说