拓荆科技薄膜沉积设备龙头收购无锡尚积加速平台化升级

正文目录一、膜积备头三维成局续进 4二、收无尚，强PVD刻特工备布局 71PVD1272、险示 图表目录图1：拓科产情况 4图2：2020-2026Q1公营业入同比 5图3：2020-2025公利率 5图4：2020-2026Q1公归母利及比 6图5：2020-2026Q1公扣非利及比 6图6：2020-2026Q1公存货同比 6图7：2020-2026Q1公合同债同比 6图8：无尚发历程 7图9：薄沉设应用 8图10：法蚀备用 8图11：球备晶造设占比 10图12：球ALDCVDPVD设市竞格局 10表1：本交概况 7表2：无尚各主产品况 9表3：标公主财情况 9一、薄膜沉积设备龙头，三维集成布局持续推进 公司目前已形成PECVDALDSACVDHDPCVD、FlowableCVD和配套量检测设备产品。PECVD设备：PECVDMicro-OLED2025PECVD3,400个反400pX和ALD设备：ALD225年AD设备累计出货超过10PE-ALDSiO2SiNSiCOThermal-ALDAl2O3、AlNTiNTiONTiNHDPCVD、SACVD、FlowableCVDSACVD7:15:1CVD宽比大于7:1的沟槽填充，可支持浅槽隔离、金属前介质层等关键工艺环节。CISHBMChipletW2WW2W图1：拓荆科技产品情况公司年报，招商证券整理202565.19PECVD51.423.011.3611.1256.97%图2：2020-2026Q1公司营业收入及同比营收（亿元） 同比（）

2020 2021 2022 2023 2024 2025

140%120%100%80%60%40%20%0%，公司公告，招商证券毛利率在新产品验证及量产爬坡阶段有所波动。2020-2023年，公司毛利率由34.1%51.0%；202441.7%2025业收入增长而增加，且营业成本增速高于收入增速。26Q1公司毛利率回升至41.7%图3：2020-2025公司毛利率毛利率()60%50%40%30%20%10%0%2020 2021 2022 2023 2024 2025 26Q1，公司公告，招商证券2025实现归母净利润9.27亿元，同比+34.7%；扣非归母净利润7.23亿元，同比26Q15.711.02+156.7%图4：2020-2026Q1公司归母净利润及同比 图5：2020-2026Q1公司扣非净利润及同比归母净利润（亿元） 归母同比（） 扣非净利润（亿元） 扣非同比（）2020 2021 2022 2023 2024 2025 26Q110 800% 82020 2021 2022 2023 2024 2025 26Q18700% 786600% 6 500% 4 400% 32300% 221200% 0 100% -2 0% -2

350%2020 22020 21 2022 2023 2024 2025 26Q102250%200%150%100%50%0%-50%-100%公司公告， 招商证券 公司公告， 招商证券存货与合同负债维持高位，公司订单储备及后续收入转化基础较为充足。202578.26+8.45%48.5226Q182.144.96%48.770.53%图6：2020-2026Q1公司存货及同比 图7：2020-2026Q1公司合同负债及同比存货 存货同比90807060504030201002020 2021 2022 2023 2024 2025

100%90%80%70%60%50%40%30%20%10%0%

合同负债 合同负债同比60504030201002020 2021 2022 2023 2024 2025

140%120%100%80%60%40%20%0%公司公告， 招商证券 公司公告， 招商证券二、拟收购无锡尚积，补强二、拟收购无锡尚积，补强PVD与刻蚀特色工艺设备布局1、无锡尚积：聚焦PVD与干法刻蚀，特色工艺设备能力向12英寸平台延伸100%82.97%100%100%100%383.57元/表1：本次交易概况项目 交易安排交易方式 发行股份及支付现金购买资产，并募集配套资金交易对方 王世宽、夏小军、无锡芯聚等34名交易对直接收购资产 无锡尚积82.97%股份间接收购资产 上海泰纳微100%股权、无锡宽行100%股权交易完成后持股 拓荆科技直接及间接持有无锡尚积100%股发行价格 383.57元/股交易价格 尚未确定，待审计评估完成后披露公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金预案，招商证券无锡尚积专注于半导体关键制程设备研发，产品覆盖PVD、PECVD及ETCH等设备。公司成立于2021年6月，总部位于江苏无锡，主要面向功率器件、MEMS、2008MEMSVOxGetterHotAl填孔、Si/SiCSiTaNLiftOffTC-SAWHDSiO₂2024PVD及CVD图8：无锡尚积发展历程公司官网，招商证券“才计划”“标+FSMBSM薄TSV/TGV1077730图9：公司PVD设备布局 图10：公司干法刻蚀设备布局公司官网，招商证券 公司官网，招商证券无锡尚积主要产品系PVDMEMS设备和干法刻蚀设备等主要产品均已通过国内多家晶圆厂技术要求严格的全流无锡尚积累积落地多台12英寸订单，PVD覆盖深宽比15:1以上TSV/TGV铜12其PVD15:1TSV/TGVRDL202412PVD12PVD12PVD表2：无锡尚积各类主要产品情况产品类别 目前主要应用领域 竞争优势 代表性产品图示①采用集群模块化真空架构，搭载自研APS调度系统，具备多PVD

MEMS、功率半导

级真空、批量脱气、精准温控、高精度定位等全流程质控能力；②薄膜均匀性、衬底适配性优异，可实现复杂形貌结构均匀镀膜，设备自动化程度高、客户综合使用成本低；③覆盖氧化钒（VOx）薄膜、吸气剂（Getter）薄膜、碳化硅TSV电阻薄膜等多种特色或通用工艺。设备

MEMS

①高真空集群式平台，适配硅、碳化硅、氮化镓、玻璃等多种衬底；ESC能，可实现高精度、高均匀性、高选择比、低损伤等关键刻蚀工艺能力；TSV刻蚀、氮化镓（GaN）氧化钒（VOx）刻蚀、玻璃基片光电刻蚀等多种特色或通用工艺。公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金预案，招商证券无锡尚积收入规模增长，盈利能力提升。2024-2025年，无锡尚积营业收入由21431950200420261-51.190.1311.3%公司 项目2024年2025年2026公司 项目2024年2025年2026年1-5月资产总额（亿元）7.048.649.40所有者权益（亿元）3.736.666.81营业收入（亿元）2.143.411.19净利润（亿元）0.200.340.13无锡尚积公司发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金预案，招商证券202511%115786%3DNAND、DRAM/HBM前222025255中93PECVDPVD设备占比19AD设备占比约为11%CC、FlowableCVD图11：全球设备及晶圆制造设备占比拓荆科技年报，招商证券薄膜沉积设备由AMATASMILAMTELGartner和ASMI31%29%40%85%CVDAMAT/LAM/TEL30%/21%/19%70%图12：全球ALD、CVD、PVD设备市场竞争格局Gartner、招商证券拓荆科技与无锡尚积同属于半导体设备企业，产品线具备互补性；交易完成后，及刻蚀设备能力，强化产品矩阵、下游应用场景和客户服务能力。补齐PVDPECVD、ALDGap-FillCVDPVDCVD/ALDPVD强化三维集成平台能力，提升客户粘性与单客户价值量。PVDRDL、TSVTGV2、风险提示及先进封装投资进度不及预期，公司薄膜沉积设备、三维集成设备及无锡尚积PVD/刻蚀设备订单释放可能受到影响，进而对公司收入增长和盈利能力产生不利影响。PECVDALDSACVDHDPCVD、FlowableCVD12周期拉长、客户导入进度不及预期，或量产稳定性、良率表现未达到客户要求，公司订单转化和收入确认节奏可能低于预期。100%PDD12荆科技收购后的业务协同和投资回报。资产负债表单位：百万元202420252026E资产负债表单位：百万元202420252026E2027E2028E流动资产1268716279175652378832394利润表单位：百万元202420252026E2027E2028E营业总收入4103651988771270117678营业成本239342415449771510614营业税金及附加1132446488营业费用290407533699884管理费用210314399572796研发费用756770106514611945财务费用6585(133)(191)(265)资产减值损失(50)(213)(185)(185)(185)20455125125125其他收益144313200200200投资收益150252525营业利润679875168525473782现金30035300353742505780交易性投资193890890890890应收票据129131825应收款项14731407191627413815其它应收款1245710存货72167826100561423919588其他778844114816432286非流动资产262735444198475952422024 2025 2026E 2027E 2028E长期股权投资2493003002024 2025 2026E 2027E 2028E长期股权投资249300300300300固定资产8931691237829703479无形资产商誉176262236212191其他13081290128312771272资产总计1531419824217622854737636流动负债683111366116971642122464营业外收入01000营业外支出01000利润总额679876168525473782所得税(9)(39)(17)(25)(38)少数股东损益(1)(12)(5)(5)(5)688927170625773825短期借款119186000应付账款22453056392755607648预收账款298348526235882812144其他14843272153520342671长期负债31851342134213421342长期借款2794850850850850其他391492492492492负债合计1001512708130391776323806股本280股本280282282282282资本公积金32853761376137613761留存收益17152567418062459297少数股东权益19506501496491营业总收入52%59%36%43%39%营业利润-7%29%92%51%48%归母净利润4%35%84%51%48%52805280661082231028813340负债及权益合计1531419824217622854737636现金流量表单位：百万元202420252026E2027E2028E经营活动现金流(283)363395916072610毛利率41.7%35.0%38.6%39.3%40.0%净利率16.8%14.2%19.2%20.3%21.6%ROE13.9%15.6%23.0%27.8%32.4%ROIC9.7%10.5%15.9%22.4%27.0%资产负债率65.4%64.1%59.9%资产负债率65.4%64.1%59.9%62.2%63.3%净负债比率23.8%15.3%3.9%3.0%2.3%流动比率1.91.41.51.41.4速动比率营运能力0.80.70.60.60.6净利润687915170125723820折旧摊销81148269361439财务费用9689(133)(191)(265)投资收益(1)(50)(350)(350)(350)营运资金变动(1130)2637(529)(785)(1034)其它(15)(106)000总资产周转率0.30.40.40.50.5存货周转率0.40.60.60.60.6应收账款周转率4.14.55.35.45.4应付账款周转率1.41.61.61.61.6每股资料(元)投资活动现金流(892)(1329)(573)投资活动现金流(892)(1329)(573)(573)(573)资本支出(686)(575)(923)(923)(923)其他投资(206)(754)350350350筹资活动现金流1361(64)(2149)(321)(508)借款变动1584(469)(2189)00