CN114999976B 一种硅片插片机及硅片插片方法 （诺德凯(苏州)智能装备有限公司）

区东吴南路25号城南科技产业园7号承载板上的花篮的多个放置层能够逐一地与输承载板上的花篮下降至输送线体的下方或位于靠近输送带上游的一侧的花篮承载板上升至输向位于远离输送带上游的一侧的花篮承载板移板上的花篮对接，以提高硅片插片机的工作效2输送机构(210)，包括输送线体(211)和绕设于所述输送线体(211)上的输送带(212)，花篮切换机构，包括两个花篮承载板(221)，两个所述花篮承载板于所述花篮承载板(221)上的花篮(100)的多个放置层能够逐一地与所述输送带(212)位于上的所述花篮(100)下降至所述输送线体(211)的下方或位于靠近所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)上升至所述输送线体(211)的上方时，所述输送带(212)位于下游的端部能够朝向位于远离所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)移动，并与位于远离所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)上的所述花篮(100)的料机构(230)能够驱动任意一个所述花篮承载板(221)在所述插片工位和花篮上下料工位3.根据权利要求2所述的硅片插片机，其特征在于，个第一驱动件(231)及两个第二驱动件(232)，两个所述第一驱动件(231)一一对应连接于个所述花篮承载板(221)沿所述输送带(212)的输送4.根据权利要求2所述的硅片插片机，其特征在于，所述花篮第三驱动件(2332)，所述第三驱动件(2332)被配置为驱动所述托板空载的所述花篮(100)由所述托板(2331)移转至5.根据权利要求4所述的硅片插片机，其特征在于，所述托板(2331)固定连接于转轴包括位置检测件(2334)，所述位置检测件(2334)被配置为检测所述转轴(2333)的转动角6.根据权利要求1所述的硅片插片机，其特征在于部(2111)和第二线体部(2112)，所述输送带(212)绕设于所述第一线体部(2111)和所述第二线体部(2112)的一端及所述第二线体部(2112)远离所述第一线体部(2111)的一端分别3设置有第一滚轮(21111)和第二滚轮(21121)，所述第二线体部(2112)滑动连接于基座设置于所述第二线体部(2112)上远离所述第二滚轮(21121)的一端，所述第四滚轮(2222)花篮承载板(221)移动时，位于所述第一滚轮(21111)和所述第二滚轮(21121)之间的所述输送带(212)增加的长度等于位于所述第三滚轮(2221)和所述第四滚轮(2222)之间的所述绕设于所述输送线体(211)上的所述输送带(212)输送所述硅片，(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)沿竖直方向上升或下降，承载于该花篮承载板当承载于位于靠近所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)上的所述花篮(100)下降至所述输送线体(211)的下方或位于靠近所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)上升至所述输送线体(211)的上方时，所述输送带(212)位于下游的端部朝向位于远离所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载位于远离所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)沿竖直方向上升或下降，承载于该花篮承载板(221)上的所述花篮(100)的多个放置层逐一地与所述输送带当承载于位于靠近所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)上的所述花篮(100)下降至所述输送线体(211)的下方或位于靠近所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)上升至所述输送线体(211)的上方时，该花篮承载板(221)移动至花篮上对承载于移动至所述花篮上下料工位的所述花篮承载板(221)上的所述花篮(100)进所述输送带(212)位于下游的端部复位，远离所述输送带(212)上游的承载板(221)与所述输送带(212)同步移动至靠近所述输送带(212)上位于所述花篮上下料工位的所述花篮承载板(221)移动至远离所述输送带(212)上游4的制造过程中将载有硅片的花篮由一个工站降至所述输送线体的下方或位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上升至所驱动两个所述花篮承载板沿所述输送带的输送5述第一线体部的一端分别设置有第一滚轮和第二滚轮，所述第二线体部滑动连接于基座，于所述第一滚轮和所述第二滚轮之间的所述输送带增加的长度等于位于所述第三滚轮和[0021]当承载于位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上的所述花篮下降至所述输送线体的下方或位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上升至所述于该花篮承载板上的所述花篮的多个放置层逐一地与所述输送带位[0024]当承载于位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上的所述花篮下降至所述输送线体的下方或位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上升至所述[0025]对承载于移动至所述花篮上下料工位的所述花篮承载板上的所述花篮进行下料67等方位或位置关系为基于附图所示个花篮承载板221均能够沿竖直方向升降，以使承载于花篮承载板221上的花篮100的多个一侧的花篮承载板221上的花篮100下降至输送线体211的下方或位于靠近输送带212上游的一侧的花篮承载板221上升至输送线体211的上方时，输送带212位于下游的端部能够朝向位于远离输送带212上游的一侧的花篮承载板221移动，并与位于远离输送带212上游的一侧的花篮承载板221上的花篮100的放置带212能够与分别承载于两个花篮承载板221上的两个花篮100的放置层依次对接，当承载远离输送带212上游的一侧的花篮承载板221上的花篮100的放置层对接，以带动硅片直接移动至承载于位于远离输送带212上游的一侧的花篮承载板221上的花篮100处，承载于位于远离输送带212上游的一侧的花篮承载板221上的花篮100直接对硅片进行收料，从而减[0046]绕设于输送线体211上的输送带212输送硅片，位于靠近输送带212上游的一侧的花篮承载板221沿竖直方向上升或下降，承载于该花篮承载板221上的花篮100的多个放置[0047]当承载于位于靠近输送带212上游的一侧的花篮承载板221上的花篮100下降至输送线体211的下方或位于靠近输送带212上游的一侧的花篮承载板221上升至输送线体211的上方时，输送带212位于下游的端部朝向位于远离输送带212上游的一侧的花篮承载板8该花篮承载板221上的花篮100的多个放置层逐一地与输送带212位当承载于该花篮承载板221上的花篮100满载有硅片后，位于第一分位的花篮承载板221继位于第二分位的花篮承载板221上的花篮100的放置层能够依次与输送带212对接，承载于位于第二分位的花篮承载板221上的花篮100对[0052]当承载于位于靠近输送带212上游的一侧的花篮承载板221上的花篮100下降至输送线体211的下方或位于靠近输送带212上游的一侧的花篮承载板221上升至输送线体211[0054]输送带212位于下游的端部复位，远离输送带212上游的一侧的花篮承载板221与输送带212同步移动至靠近输送带212上后，该花篮承载板221能够由第一分位移动至花篮上下料工位，从而对满载有硅片的花篮接于基座213，当输送带212位于下游的端部朝向位于第二分位的花篮承载板221移动或复9一滚轮21111和第二滚轮21121之间的输送带212的长度会伸长或缩短时输送带212能够有片工位处与花篮100的放置层对接，花篮上下料机构230能够驱动任意一个花篮承载板221空载的花篮100的花篮承载板221则由花篮上下料个花篮承载板221沿垂直于输送带212的输送方向的水平方向移动，两个第二驱动件232被配置为分别驱动两个花篮承载板221沿输送带212的输送方向移动，第二驱动件232上连接四驱动件240沿垂直于输送带212的输送方向的水平方向移动来带动花篮承载板221移动，第四驱动件240能够通过驱动第一驱动件231沿竖直方向升降来带动花篮承载板221沿竖直方向升降，当位于第一分位的花篮承载板221继续沿竖直方向上升至输送线体211的上方后，第一驱动件231能够驱动花篮承载板221沿垂直于输送带212的输送方向的水平方向移[0063]为将空载的花篮100放置至花篮承载板221上，本实施例中的花篮上下料机构23023341固定连接于转轴2333上，至少两个槽型光电开关23342绕转轴2333的周向间隔排列，