CN115074832B 一种判断籽晶接液水平度的装置及方法 （北京清研半导科技有限公司）_第1页
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文档简介

本发明公开一种判断籽晶接液水平度的装上的单个正极石墨电极和两个及以上负极石墨多个电极处于同一水平面内，将籽晶下降至液2石墨籽晶杆，所述石墨籽晶杆的顶部与不锈钢籽晶杆相连，所石墨籽晶托，所述石墨籽晶杆的底部连接有所述石墨籽晶托，所述石墨坩埚的外层包裹有保温材料；所述不锈钢籽晶杆通过上下法兰7.一种判断籽晶接液水平度的方法，应用于权利要求1-6中任一项所述的判断籽晶接将碳化硅籽晶粘接在石墨籽晶托底部，在所述石墨籽晶托中插入呈旋通过导线连接到石墨坩埚的生长腔外，每个电极与电源连接的支路上均串联有一个电流通过线圈电磁感应将所述碳化硅籽晶加热至完全熔化若碳化硅籽晶与液面水平接触，多个电流表指针同时偏转，通3极，多个所述石墨电极置于所述石墨籽晶托的边缘并以石墨籽晶托的中心点旋转对称排4[0015]在其中一个实施例中，所述石墨电极的底表面平齐于所述石所述石墨电极与石墨籽晶托之间有碳化硅电5锈钢籽晶杆用于带动石墨籽晶杆1沿石墨坩埚4的6[0044]将碳化硅籽晶6粘接在石墨籽晶托5底部，在石墨籽晶托5中插入呈旋转对称的三过导线连接到石墨坩埚4的生长腔外，每个电极与电源连接的支路上均串联有一个电流表产生的感应电流，避免电流表9指针的浮动，同时尽可能减少对生长腔内部磁场的电磁干

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