CN115138977B 激光加工装置、激光加工方法 （深圳烁光精密科技有限公司）

预设的相位图对所述第一脉冲激光进行偏振调色区域的部分和经过所述相位图的白色区域的部分的线偏振方向相互垂直，得到第二脉冲激2激光整形模块，用于获取第一脉冲激光，并根据预设的相位图对偏振过滤模块，用于对所述第二脉冲激光进行偏振过滤，激光输入模块，所述激光输入模块用于产生所述第一脉冲激光，其中，所述第一脉冲激光为皮秒脉冲激光或飞秒脉冲激光所述激光输入模块还包括下列至少一项：所述偏振调节组件用于将所述第一脉冲激光调制为具所述空间光调制器用于根据所述相位图对所述线偏振光进行逐像所述线偏振光经过所述相位图的灰色区域的部分和经过所述相位图的白色区域的部分的所述聚焦组件，用于根据所述加工处理要求将所述第三脉冲激光缩束3将具有规定偏振方向的线偏振的第一脉冲激光射入根据所述相位图，在所述空间光调制器中对所述第一脉对所述第二脉冲激光进行偏振过滤，将所述第二脉冲激光整将所述第三脉冲激光聚焦至待加工表面，并使所述第三脉冲激光在4述第一脉冲激光经过所述相位图的灰色区域的部分和经过所述相位图的白色区域的部分5所述相位图的白色区域的部分的线偏振方向相所述加工处理要求将所述第三脉冲激光缩束并聚焦至所述待据所述相位图，在所述空间光调制器中对所述第一脉冲激光的偏振方向进行逐像素调控，使所述第一脉冲激光经过所述相位图灰色区域的部分的线偏振方向与经过所述相位图白过相位图灰色区域的部分的线偏振方向与经过相位图白色区域的部分的线偏振方向相互67于流程图中的顺序执行所示出或描述的步骤。说明书和权利要求书及上述附图中的术语度值与施加到液晶空间光调制器像素单元上的驱动电压一一对应。通过改变图像的灰度准直激光光源组件110发出的原始激光的光路并作为第一脉冲激光输出至激光整形模块控制。通过控制器500可以控制能量调节组件120从而调节激光输入模块100输出的第一脉8汇入主光路，偏振光经过该相位图白色部分的偏振方向和灰色部分的偏振方向相互垂直。312。经过空间光调制器222调制的第二脉冲激光经过第二反射镜223进入第一四分之一波9面10上产生的加工光斑与待加工表面10按照预定的[0074]图4是本申请实施例的一种具体实施例的光路图，激光器1冲激光经过由电动半波片121和格兰棱镜122组成的能量调节组件120进行激光能量调节，加工控制系统能够控制电动半波片121从而实现对激光能量的控制。并进一步通过由第一生规定偏振方向的线偏振高斯光束，进而该线偏振高斯光束经过第一反射镜221照射至空镜223再次进入主光路。进入主光路的光束再依次经过由第一四分之一波片311和偏振片镜413组成的4f缩束系统聚焦到加工表面。通过三轴精密位移台421与上述激光器111的联的激光加工装置即使不设置偏振选择组件320仍可以达到一次图案化加工的提高加工效率定必须在激光加工装置内部设置有激光输入模块100。本申请实施例的激光加工装置也可以使用外来的激光脉冲来实现加工，例如可以在激光加工装置的外设置一个飞秒激光器，[0081]虽然在上述实施方式中，提及了使用格兰透镜和电动半波片构成能量调节组件[0082]虽然在上述实施方式中，使用液晶的空间光调制器220进行激光整形，但不限于宽度像素数为180个。相位图需保留光斑能量部分灰度值为215(即相位图中白色的部分)，如五角星正模图案和五角星反模外框。需过滤光斑部分灰度值为85(即相位图中灰色的部电动半波片121的快轴方向与水平方向夹角为-22.5°,初始水平线偏振激光通过后偏振方用丙酮和无水酒精对待加工表面10进行15min超声波清洗，然后在无尘环境中利用氮气吹[0102]结合图4，对一种图案化单脉冲光刻法实现图案单元内多个微纳结构一次曝光的之一波片311的快轴方向与水平方向夹角为45°,偏振片312的水平轴与水平方向夹角为用丙酮和无水酒精对待加工表面10进行15min超声波清洗，然后在无尘环境中利用氮气吹[0117]结合图4对本实施例的一种图案化单脉冲光刻法加工一维纳米光栅的方法，进行之一波片311的快轴方向与水平方向夹角成45°,偏振片312的水平轴与水平方向夹角为向与水平方向夹角为22.5°,最终加工所用整形激光偏振为方向与矩形长轴方向平行的线[0128]本实施例的加工效果参见图19、图20，加工所得一维光栅周期为509nm，线宽为丙酮和无水酒精对待加工样品进行15min超声波清洗，然后在无尘环境中利用氮气吹干得脉冲能量为0.2μJ，刻写六边形，菱形，正方形排布阵列的速度分为47.5mm/s、47mm/s、所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本申请实施例