CN115326817B 基板检查方法和基板检查装置 （东京毅力科创株式会社）

US2011199476A1,2011.0本发明提供一种能够探测基板背面的异常方向排列有多个受光元件的线阵相机来对所述2一边使用叉来搬送基板，一边使用沿与搬送方向正交的宽度方基于搬送所述基板时的所述叉的轨迹信息，来校正在所述拍基于所述校正图像来确定特征部信息，该特征部信息包含存在于所其中，所述叉的轨迹信息包含将时刻与所述叉的水平位置及在所述生成的工序中，基于拍摄到图像的时刻的所述叉的水所述特征部信息包含形成于所述基板的槽口或定向在所述拍摄的工序中，使用所述设置了多个的所述线阵相一边使用所述叉来搬送所述基板，一边使用所述线阵相机来对所述基于搬送所述基板时的所述叉的轨迹信息，来校正在所述拍基于所述校正图像来确定特征部信息，该特征部信息包含存在于所3其中，所述叉的轨迹信息包含将时刻与所述叉的水平位置及在所述生成的工序中，基于拍摄到图像的时刻的所述叉的水4使用沿与搬送方向正交的宽度方向排列有多个受光元件的线阵相机来对所述基板的背面5搬送机构TR1使用叉FK11、FK12来保持基板W，并对处理装置PM1～PM4及加载互锁室LL1~[0026]加载互锁室LL1～LL3分别经由闸阀G21～G23来与真空搬送室VTM连接，且分别经[0029]整体控制部CU例如可以是计算机。整体控制部CU具备CPU(CentralProcessingUnit：中央处理单元)、RAM(RandomAccessMemory：随机存取存储器)、ROM(ReadOnly[0032]基板检查装置10构成为能够通过对基板W的背面进行拍摄来探测基板W的背面的[0036]线阵相机13设置于在叉FK21将基板W搬入基板检查装置10时和/或叉FK21将基板W从基板检查装置10搬出时能够对由叉FK21搬送中的基板W的背面进行拍摄的位置。线阵相6机13逐行地对由叉FK21搬送中的基板W的背面进行拍摄，并逐行地将摄像图像发送到控制可以构成为在宽度方向上具有150mm～250mm的摄像区域，能够对包括基板W的背面的中心PM1～PM4之前的基板W和在处理装置PM1～PM4中被实施了各种处理的基板W中的至少任一方进行实施方式的基板检查方法。通过对被搬送到处理装置PM1～PM4之前的基板W进行实对在处理装置PM1～PM4中被实施了各种处理的基板W进行实施方式的基板检查方法，能够式的基板检查方法，能够探测在处理装置PM1～PM4中被实施的各种处理所导致的基板W的的多个图像A11～A19合成后的图像A20。各图像A11～A19的X方向的长度例如是300mm~装置10内的台座12的上方搬送基板W时的叉FK21的轨迹信息。叉FK21的轨迹信息包含将时刻与叉FK21的水平位置(X位置及Y位置)及铅直位置(Z位置)建立对应关系所得到的时间序出在水平方向(X方向及Y方向)及铅直方向(Z方向)上略微蛇行并移动的7摄到各图像A11～A19的时刻的叉FK21的X位置来对齐各图像A11～A19的X方向的中心位置。S2中生成的校正图像进行二值化处理等图像处理来确定存在于基板W的背面的异常部。异[0047]异常显示部A30显示与在步骤S3中确定出的异常部有关的信息。在图8的例子中，生成的校正图像来确定异常部。由此，能够准确地确定存在于基板W的背面的异常部的大[0051]特别是在使用叉FK21保持基板W并以高速(例如2m/秒)搬送该基板W的情况下，有8[0052]相对于此，在实施方式的基板检查方法中，基于搬送基板W时的叉FK21的轨迹信的轨迹信息来校正线阵相机13拍摄到的基板W的背面的图像并生成校正图像的情况，但不施方式的基板检查方法中，说明了控制器14基于所生成的校正图像来确定异常部的情况，述的实施方式在不脱离所附的权利要求的范围及其主旨的情况下也可以以各种形式进行9