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文档简介
司中反应生成四氟化硅气体和含有氟化氢的硫酸含有氟化氢的硫酸溶液经升温后再次进入反应2将第一部分含有氟化氢的硫酸溶液在100~160℃下进行一级蒸馏;将所述一级蒸馏后的溶液在130~180℃下进行二级蒸馏;将第二部分含有氟化氢的硫酸溶液进行加热并回所述第一部分含有氟化氢的硫酸溶液和所述第二部分含有氟化氢的硫酸溶液的体积将所述两段式分离得到的母液进行汽提,得到高温氟化氢气体,硫酸塔;所述硫酸塔的液体进口与所述反应装置的第二液体出口所述汽提塔的进口与所述两段式分离器的液3[0007]A)浓氟硅酸和浓硫酸在反应装置中反应生成四氟化硅气体和含有氟化氢的硫酸[0013]将第一部分含有氟化氢的硫酸溶液[0014]将所述一级蒸馏后的溶液4[0030]A)浓氟硅酸和浓硫酸在反应装置中反应生成四氟化硅气体和含有氟化氢的硫酸[0034]浓氟硅酸和浓硫酸在反应装置中反应生成四氟化硅气体和含有氟化氢的硫酸溶[0035]在本发明的某些实施例中,所述浓氟硅酸的质量浓度为2555优选为35%~45所述浓硫酸的质量浓度为8098%。5[0042]将第一部分含有氟化氢的硫酸溶液[0043]将所述一级蒸馏后的溶液含有氟化氢的硫酸溶液混合后进行换热。加热后的含有氟化氢的硫酸溶液回用于反应装置的液体出口相连。所述第一蒸馏装置和所述第二蒸馏装置均可以为一般市售的蒸馏装装置的第二液体出口相连;所述硫酸塔的液体出口与所述反应装置的回用液体进口相连。述两段式分离器的液体出口相连;所述汽提塔的气体出口与所述硫酸塔的气体进口相连。6[0058]本发明经反应后引出的另一路含有氟化氢的硫酸溶液在硫酸塔中升温后再次进[0063]1)浓氟硅酸(质量浓度为45%)和浓硫酸(质量浓度为98%)在反应装置中反应生[0070]所述第一部分含有氟化氢的硫酸溶液和所述第二部分含有氟化氢的硫酸溶液的[0071]原料氟硅酸和原料浓硫酸在反应装置中反应生成四氟化硅气体和含有氟化氢的中含有H2氢的硫酸溶液和流经四氟化硅发生塔的硫酸溶液混合,并且作为原料硫酸回用于主反应7[0078]本实施例与实施例1不同之处在于,一级蒸馏温度为100℃,二级蒸馏温度为180[0080]本实施例与实施例1不同之处在于,一级蒸馏温度为120℃,二级蒸馏温度为150[0082]本实施例与实施例1不同之处在于,一级蒸馏温度为160℃,二级蒸馏温度为180[0084]本实施例采用如图2所示的分离系统进行含氟化氢和硫酸混合溶液的分离,与实[0087]1)浓氟硅酸(质量浓度为45%)和浓硫酸(质量浓度为98%)在反应装置中反应生[0092]将第二部分含有氟化氢的硫酸溶液输送至硫酸塔中进行加热所述硫酸塔的工作温度高于所述反应装置的工[0093]所述第一部分含有氟化氢的硫酸溶液和所述第二部分含有氟化氢的硫酸溶液的[0098]1)浓氟硅酸(质量浓度为45%)和浓硫酸(质量浓度为98%)在反应装置中反应生8[0103]将第二部分含有氟化氢的硫酸溶液输送至硫酸塔中进行加热所述硫酸塔的工作温度高于所述反应装置的工[0104]所述第一部分含有氟化氢的硫酸溶液和所述第二部分含有氟化氢的硫酸溶液的[0105]3)两段式分离后得到的氟化氢气体经HF发生塔除去水分后通入净化塔进行预净[0110]
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