CN117081424B 超大负载堆叠型摩擦式压电磁力混动微纳台及驱动方法 （浙江大学）

超大负载堆叠型摩擦式压电磁力混动微纳本发明提供了一种超大负载堆叠型摩擦式磁驱动单元施加较大的直流电压使得滑块获得驱动单元电信号使其在压电驱动单元电压快速升高时滑块受到的合力为0，以抑制此阶段压电2所述超大负载堆叠型摩擦式压电磁力混动微纳台的驱棒与连接板和预压簧片之间的总摩擦力可满足磁铁组件和滑块产生与摩擦棒相同速度所3有两个柔性机构固定通孔（3_3_4侧面中间开设一个基米螺钉安装螺纹孔（3_3_4[0003]目前压电惯性驱动器可分类惯性冲击式压电驱动器与摩擦驱动式压电惯性驱动[0004]本发明针对摩擦式压电惯性驱动器面临位移回退及水平负载与垂直负载较低等一平面；所述线圈组件伸出磁铁组件的一端固定连接在基座单元的线圈组件安装凸台上，所述磁铁组件固定连接在两个滑块上可随滑块接板分别与两条导轨组件的滑块固定连接；柔性机构固定安装在基座单元的水平台座上，5柔性机构内部中空并在中空区域内设置有压电堆叠，所述摩擦棒一端与柔性机构固定连[0010]本发明还提供了一种所述的超大负载堆叠型摩擦式压电磁力混动微纳台的驱动时摩擦棒与连接板和预压簧片之间的总摩擦力可满足磁铁组件和滑块产生与摩擦棒相同驱动单元电信号使其在压电驱动单元电压快速升高时滑块受到的合力为0，以抑制此阶段6容的示范且不圈定限制范围。本发明中各个实施方式的技术特征在没有相互冲突的前提[0029]本发明所设计的超大负载堆叠型摩擦式压电磁力复合精密驱动平台整体示意图7[0031]本发明的基座单元主要作为各组件的安装基础并提供导轨组件从而使其上的部[0034]线圈组件安装凸台2_1_1两侧与两个封装侧板2_1_4形成U字型开口竖直分布在基纹孔2_1_7用于压电驱动单元3的固定；所述封装侧盖2_3中下部开设装配避让凹槽2_3_3，用于预留压电驱动单元3安装所需的部分空间，上端部两端均布两个封装侧盖装配沉头孔2_3_1，中间开设预紧调节避让通孔2_3_2用于压电驱动单元3预紧力调节时为扳手提供操铁组件1_2之上的通孔并拧入至将磁铁组件1_2滑块2_2_1之上的螺纹孔将磁铁组件1_2固定于滑块之上；采用四颗螺钉穿过线圈组件1_1之上的通孔并拧入线圈组件安装螺纹孔2_1_2将线圈组件1_1固定于基座2_1的线圈组件安装凸台2_1_1之上；磁铁组件1_2可随滑块3_1_3两侧连接有两个连接板基板3_1_2，两个连接板基板3_1_2之上均布两个簧片安装螺8压电堆叠3_5固定在柔性机构3_3之中；所述摩擦棒3_6一端固定连接与柔性机构前直梁3_通孔3_2_3同心对齐，采用螺钉穿过簧片安装螺纹孔3_1_4并拧入簧片安装通孔3_2_3将三纤维棒或轴承钢等耐磨性材料；螺钉穿过柔性机构固定通孔3_3_4并拧入柔性机构安装螺[0039]本发明超大负载堆叠型摩擦式压电磁力复合精密驱动平台占空比为a％表示锯齿波的一个周期中，电压上升段的持续时间占一个周期时间的比例为[0040]当电压快速升高时，压电堆叠快速伸长并带动柔性机构此时由于摩擦棒与连接板和预压簧片之间的总摩擦力小于磁铁组件和滑块产生与摩擦棒与连接板和预压簧片之间的总摩擦力可满足磁铁组件和滑块产生与摩擦棒相同速度所需电信号使其在压电驱动单元电压快速升高时滑块受到的合力为0，以抑制此阶段压电驱动9电磁驱动单元用电磁驱动力提升单一压电驱动单元引起的驱动速度慢、负载能力弱的问