JJF(军工) 189-2018 超大规模集成电路老炼测试系统校准规范

国防军工计量技术规范超大规模集成电路老炼测试系统校准规范2018-11-08发布JJF(军工)189—2018CalibrationSpecificationofVLSIBurn-InTestSystem主要起草单位：国防科技工业微电子一级计量站参与起草单位：上海机电工程研究所JFL军工)189-2018孙崇钧(国防科技工业微电子一级计量站)刘倩(国防科技工业微电子一级计量站)杨志文(国防科技工业微电子一级计量站)卞付国(上海机电工程研究所)刘冰(国防科技工业微电子一级计量站)韩亦乾(国防科技工业微电子一级计量站)倪珂(国防科技工业微电子一级计量站) 1 1 1 1 2 2 2 2 24.4数字通道直流输出电压 2 2 2 24.8精密测量单元输出电流 24.9精密测量单元测量电流 3 3 3 3 36校准项目和校准方法 4 4 4 11 1附录A校准记录参考格式 12 16超大规模集成电路老炼测试系统校准规范老炼测试系统是VLSI老炼中测试(TDBI,Tesing对其电性能进行测试，最大限度检测VLSI的可恢复性故障d)温度波动度：±0.5℃.b)负载调整率：0.01%~3%.3a)示值范围：98.0%(mol/mol)~99.9%(mb)最大允许误差：±10%.a)环境温度：18℃~28℃;4)时间常数：<15s。叶00Uxi—被校程控电源输出电压的设置值，V: 6开叶叶90b)按6.2.2的b)条款设定校准时老炼试验g)数字通道其他校准点重复d)-).b)校准记录格式参见附录A表A.4。b)按6.22的b)条款设定校准时老炼试验箱的温一般选择方波信号重复频率范围的10%、50%以及100%点。d)按照校准点设置被校数字通道输出频率值为反的连A=/x-(4)JHFI军工189-2018030%、60%以及100%点。AU,=U-U(5)般选择PMU测量电压量程的30%60%以及100%点10(6)Rs两端的电压值Us,负载电阻R和标准电阻Rg的取值见一般选择PMU测量电流量程的30%、60%以及100%点。d)按照校准点设置PMU输出电压，负载电阻R和标准电阻R的取值见表2。用数字多用表直流电压档测量标准电阻Rs两端的电压值Us,同时读取PMU测量电流值(9)校准记录参考格式::温度偏差：℃温度均匀度：℃温度波动度：℃::::::::A/A:::校准结果不确定度评定示例4——老炼试验箱显示温度，℃:显示结果均为150℃,所以该不确定度分量可忽略程控电源负载调整率校准通过数字多用表的直流电压档在UE—被校程控电源在空载状态下的数字多用表的电压测量值，V.相同条件下，测量程控电源满载时的同一电压值10次，测试点24V.测量结果数相同条件下，测量程控电源空载时的同一电压值10次2JJE(军工)189-2018相同条件下，测量PMU输出电压的同一电压值10次，测试点10V.JJE(军工)189-2018按A类评定，(Ua)=s(x)=0.045mVb)数字多用表测量直流电压的不准确引入的不确定d)连接线带来的测量不准确引入的不确定度分在80℃高温下，估算得到连接线带来的测量不准确引入的不确定度分量n,(U,)=200μV..=√A(Ua)+a2(UA)+2(UA)+(U)-0.31mVB.3.6扩展不确定度取k=2,U=k×a=0.62mVB.4PMU测量电流校准结果的测量不确定度分析PMU测量电流范围为±(10pA~200mA).取200mA进行不确定度分析。校准时，B.4.2测量模型将PMU输出端与负载电阻R及标准电阻Rs相连，设置PMU输出直流电压信号，量电流值为200mA点时，采用1000负载电阻和1Ω标准电阻A/6被校PMU测量电流的示值误差。A;u6—被校PMU测量电流值，A:Uss—被校PMU测量电流时数字多用表的测量值，V:b)标准电阻的不准确a,(R5):相同条件下，测量标准电阻两端的同一电压值10次。测量2在80℃高温下，估算得到连接线带来的测量不准确引入的不确定度分量=√/c)n(R)+(e)r(A)+(a)}U)+(c)nA=fx-f反—被校数字通道方波信号重复频率设置值a)频率计测量重复性引入的不确定度成():在相同条件下，测量信号频率的同一频率值10次。测量结果JLE(军工)189-2018b)频率计测量频率不准确引入的不确定度分频率计时基的频率准确度为±1.5×104,当被测频率为5MHz时允许误差为在80℃高温下，估算得到连接线带来的测量不准确引入的不确定度分量氯气含量示值范围为98.0%6(mol/mo)~99.9%(moV/moAN——被校老炼试验箱氮气含量的示值误差，%(mol/mol):Nx—被校老炼试验箱氮气含量示值，%(molmol):N气体含量分析仪氯气含量测量值，%(moHE(军工I189-201812345测量值(mol/mol)6789测量值(mol/mol)按A类评定，n(N