CN119394921A 一种用于湿度检测的超构表面、其制备方法以及湿度传感器 （宁波大学）_第1页
CN119394921A 一种用于湿度检测的超构表面、其制备方法以及湿度传感器 （宁波大学）_第2页
CN119394921A 一种用于湿度检测的超构表面、其制备方法以及湿度传感器 （宁波大学）_第3页
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其制备方法以及湿度传感器，涉及光学器件领所述检测模组的排布在光学能带上呈现对称保支持的对称保护的连续域中束缚态有强大的光学增强效应其保证了其能够实现宽带高灵敏度2SA：使用磁控溅射、电子束蒸镀或原子层沉积方法，在洁净硅片上依次沉积的钛层9.一种湿度传感器，其特征在于，包括用于将湿度变3[0002]目前湿度传感器主要采用依赖于测量湿度敏感材料在不同环境湿度下的物理性4对称结构所支持的位于能带Γ点上的连续束缚态被转变为非对称结构中的准连续域中束[0013]本发明第三方面提供另一种第一方面所述用于湿度检测5面在不同湿度下对特定波长的光具有不同吸收，光经过超构表面上反射后被光谱仪采集，6时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。镜3自包括上而下层叠设置的金层31和钛感层1的对称性从介电常数和几何两个方向上被打破，此时对称结构所支持的位于能带Γ7反射光在光谱仪中的反射光谱也会发生改变，相关数据在通过光谱仪输出后被单片机接8束缚态2[0049]参见图5，本实施例提供用于湿度检测的超构表面的另一制备方法，包括以下步9[0051]采用实施例1提供的超构表面，在35%~90%湿度条件下测拟合为（S1=0.45/RH高湿度下，超构表面通过相对强度定义灵敏度的线性拟合为（S2=

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