JJF(鄂) 111-2024 晶圆测试系统校准规范

湖北省市场监督管理局发布JJF（鄂）111—2024晶圆测试系统系统JJF（鄂）111－2024JJF（鄂）111－2024 （II） （1） （1） （1） （2） （3） （7） （7） （13）JJF（鄂）111－2024JJF（鄂）111－2024晶圆测试系统校准规范裸晶圆片进行测试的能力。在集成电路生产测试、验证测试、性能测试、工艺改进、测的探针台。晶圆片放置于探针台的承片台上通过探针与测量单元联接，通过测试程序控制测量单元及探针台，完成对晶圆片的功能及参数测试。因此，通过对集成电路测量单JJF（鄂）111－20242b)相对湿度：3075%;2)直流电压输出最大允许误差：0.2%×测量值+1mV；2)直流电压测量最大允许误差：0.2%×测量值+1mV；JJF（鄂）111－20243对晶圆测试系统的外观进行检查。被校准的测试系统，应配有使用说明书和相应的编程手册；应具有产品合格证书以及全部必备附件。测试系统的外形结构应完好。开关、控制旋钮、按键等操作灵活可靠，标志清晰明确，外露件不应有松动和机械损伤。其铭牌或外壳上应标明其名称、生产厂家、型号、编号和出厂日期。外观和附件检查记录格对晶圆测试系统进行操作时，应采取防静电措施，如使用防静电手镯等，以避免静电图1电压输出校准连接图JJF（鄂）111－20244b）数字多用表设置为直流电压模式；AU=U-U(1)SS●X单元图2电流输出单元校准连接图b）数字多用表设置为直流电流模式；），量点设置电流输出单元的输出电流值IX，用数字多用表测量该单元的输出电流IS；JJF（鄂）111－2024IX——输出电压示值，A；IS——输出电压标准值，A。USUS图3电压测量校准连接图b）直流电源设置为电压模式；），JJF（鄂）111－20246SSb）直流电源设置为电流模式；），设置该直流电源的输出值IS，用该单元测IS——电源输出值，A。激光干涉仪激光干涉仪晶圆测试系统图5位移校准光路图c）记录位移测量单元位移值LX，激光干涉仪位移测量单元位移值LS。JJF（鄂）111－2024LX——位移测量值，mm；LS——激光干涉仪示值，mm。根据被校准测试系统的各校准项目的校准结果，出具校准证书或校准报告，加盖校准JJF（鄂）111－20248附录A以电压输出单元的9.000V、电流输出单元的0.600A和位移单元的50mm测量不确定度评定为例，说明晶圆测试系统校准项目的测量不确定度评定程序。由于校准方法和所用设A.2电压输出单元校准的测量不确定度评定（9.0A.4.1.1电压输出单元分辨力引入的不确定度ux由晶圆测试系统的技术资料得知，分辨力为100mV。按B类评定，视 A.4.1.2电压输出单元重复性引入的不确定度uA表A.1电压输出单元测量结果数据次数12345测量值（V）9.0329.0319.0329.0329.032次数6789JJF（鄂）111－2024测量值（V）9.0319.0329.0319.0309.031A.4.1.3晶圆测试系统校准装置电压测量示值误差引入的不确定度uSA.4.1.4合成标准不确定度ucA.5电流输出单元校准的测量不确定度评定(0.6IS——电流输出标准值，A。A.5.3.1电流输出单元分辨力引入的不确定度uxJJF（鄂）111－2024由晶圆测试系统的技术资料得知，分辨力10mA。按B类评定，视为均匀分布，A.5.3.2电流输出单元重复性引入的不确定度uA在相同条件下，测量晶圆测试系统相同电流输出值10次，测试点0.600次数12345测量值（A）0.6020.6030.6040.6030.602次数6789测量值（A）0.6030.6020.6040.6010.603A.5.3.3晶圆测试系统校准装置电流测量示值误差引入的不确定度uS根据晶圆测试系统校准装置指标及实验观测，传递标准在0.600A点的不确定度为A.5.3.4合成标准不确定度ucA.5.3.6电压测量单元校准的测量不确定度评定（50.00JJF（鄂）111－2024LX——位移测量值，mm；A.5.3.10晶圆测试系统位移单元分辨力引入的不确定度ux位移单元在校准点的分辨力为0.0002mm，假设其服从概率分布为均匀分布：k-5,则其引入的不确定度ux按（A.14）式计算：A.5.3.11晶圆测试系统位移测量单元重复性引入的不确定次数12345测量值（mm）50.00150.00350.00150.00050.001次数6789测量值（mm）50.00150.00350.00250.00150.001A.5.3.12激光干涉仪位移示值误差引入的不确定度uSA.5.3.13合成标准不确定度ucJJF（鄂）111－2024JJF（鄂）111－2024附录B表B.1电压输出校准数据记录表标准值US示值UX误差ΔU最大允许误差合成标准不确扩展不确定度U∶∶∶表B.2电流输出校准数据记录表标准值IS示值IX误差ΔI最大允许误差合成标准不确扩展不确定度U∶∶∶表B.3电压测量校准数据记录表标准值US示值UM误差ΔU最大允许误差合成标准不确扩展不确定度U∶JJF（鄂）111－2024表B.3（续）