JJF(鄂) 109-2024 集成电路测试系统加载板校准规范

湖北省地方计量技术规范JJF（鄂）109—2024集成电路测试系统加载板校准规范TestSystem2024-05-14发布2024-09-01实施湖北省市场监督管理局发布JJF（鄂）109—2024集成电路测试系统加载板校准规范ofIntegratedCircuJJF（鄂）109—2024归口单位：湖北省市场监督管理局主要起草单位：中国船舶集团有限公司第七〇九研究所JJF（鄂）109—2024本规范主要起草人：孙崇钧（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）刘倩（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）丁超（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）薄涛（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）张明虎（中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）JJF（鄂）109—2024 3） （9） （13）JJF（鄂）109—2024JJF（鄂）109—2024集成电路测试系统加载板校准规范集成电路测试系统测试通道口与被测集成电路引脚之间的连接电路，通常是以绝缘板加载板能够实现集成电路测试系统输入/输出端口与被测集成电路的输入/输出引脚之成电路测试系统内部总线到达测试系统的测试通道口弹簧针（PogoPin再通过加载板11100010……加载板被测集成电路测试系统PogopinDUTI/O11100010……加载板被测集成电路测试系统信号发射/比较模块图1加载板工作原理示意图如图2所示，加载板通常安装在固定架（Stiffener）上以实现与测试系统的完全适配，待测芯片置于加载板中间位置，通过测试座（DUTSocket）与加载板中间过孔（PogoBlocks）连接，上下两排过孔位于两边位置，与集成电路测试系统测试头上的弹JJF（鄂）109—20242图2加载板结构示意图a)环境温度：15℃~30℃;JJF（鄂）109—20245.2.1校准用设备应经过法定计量技术机构检定或校准，满足校准使用要求，并在有效期2）最大允许误差：±1×10-5。3）上升时间范围350ps；表1校准项目一览表序号校准项目校准方法条款1外观和附件6.2.12传输速率6.2.23幅值衰减6.2.34误码率6.2.45上升时间6.2.5通过目检或手动等方法对加载板的外观进行检查。被校准的加载板外观应完好无码型发生器被校加载板接口适配器探针台码型发生器被校加载板接口适配器探针台高速示波器4对加载板进行操作时，应采取防静电措施，如使用防静电手镯等，以避免静电对被校PogoviaPogopinDUTI/O图3传输速率校准连接图a)将码型发生器和高速示波器分别连接到被校加载板的输入和输出端。被校加载板输入端通过弹簧针接口与码型发生器连接，安装接口适配器，将探针台上的探针-f据信号的幅度、频率计算出该矩形面积，矩形的长为信号传输周期，图中表示为JJF（鄂）109—2024B’AB’FCDED’C’图4眼图等效示意图Seye=（Weye-Tr）×Heye(2)TSrec=Wrec×Hrec(3)Hrec——标准源幅值，V。h)将六边形以及矩形的面积的比值与给定的阈值进行比较，将眼图与其外接矩形面PogoviaPogopinDUTI/O码型发生器被校加载板接口适配器探针台高速示波器图5幅值衰减校准连接图接口适配器JJF（鄂）109—2024接口适配器6a)利用码型发生器跟随器功能将标准源信号分为幅值相等、相位相同的两路信号，将码型发生器和高速示波器分别连接到被校加载板的输入和输出端。被校加载板输入端通过弹簧针接口与码型发生器连接，输出端安装接口适配器，将探针台上少选取三个校准点，测量两路信号波形的幅值，通过信号衰减对数比公式计算出PogoviaPogopinDUTI/O码型发生器码型发生器被校加载板图6误码率校准连线图a)将码型发生器和误码检测仪分别连接到被校加载板的输入和输出端。被校加载板输入端通过弹簧针接口与码型发生器连接，输出端安装接口适配器，将探针台上JJF（鄂）109—2024a)将码型发生器和高速示波器分别连接到被校加载板的输入和输出端。被校加载板输入端通过弹簧针接口与码型发生器连接，输出端安装接口适配器，将探针台上 22r=tr1-tr022tr1——示波器所采集到快沿的上升时间，s。），JJF（鄂）109—20248l)如果与校准结果的有效性和应用有关时，应对校准过程中被校对象的设置和操作JJF（鄂）109—2024附录A测量不确定度评定示例（1ns）校准的测量不确定度评定为例，说明加载板校准项目的测量不确定度评定的程序。由于校准方法和所用设备相同或近似，其他项目校准测量不确定度评定程序类传输速率校准采用直接测量的方法，用示波器直接测量码型发生器输出占空比为-fJJF（鄂）109—2024表A.1传输速率重复性数据记录次数12345次数6789幅度衰减校准采用直接测量的方法，用示波器直接测量码型发生器输出占空比为JJF（鄂）109—2024A.3.4.1示波器测量直流电压的准确度uB1由示波器的说明书得知，测量200mV幅度的准确度为±2%。按BA.3.4.2测量重复性引入的不确定度uA表A.2信号幅度重复性数据记录次数12345测量值（mV）202.5200.6201.0204.5202.5次数6789测量值（mV）202.4204.0202.7203.5203.5VA.4上升时间校准的测量不确定度上升时间校准采用直接测量的方法，用示波器直接测量码型发生器输出占空比为JJF（鄂）109—2024A.4.4.1示波器跳变时间引入的不确定度分量uB1视为均匀分布，k1=5,示波器A.4.4.2示波器分辨力引入的不确定度分量uB2A.4.4.3测量重复性引入的不确定度uA表A.3上升时间重复性数据记录次数12345测量值（ns）0.99次数6789测量值（ns）0.99JJF（鄂）109—2024校准记录格式表B.1外观与附件记录表检查项目检查结果不正常情况说明外观检查正常□不正常□表B.2传输速率记录表通道测试速率/